• 조명전기설비학회논문지
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• 제22권1호
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• pp.33-39
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• 2008

직류방전이 추가로 인가된 용량결합고주파(CCRF)여기에 의한 아연증기레이저에서 6개의 레이저선들이 방출되었다. 이들의 파장은 491.162[nm]와 492.403[nm]의 청색선과 589.433[nm]의 오렌지선 그리고 747.979[nm], 758.848[nm], 773.25[nm]의 적외선 영역에 분포되어 있다. 최적의 레이저운전을 위해서 방전파라미터들이 결정되었다. 13.56[MHz]의 고주파전력 400[W]에서 오븐온도 $780{\sim}800[K]$, 헬륨압력 $3.5{\sim}5.5[kPa]$로 최적화되었다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2000년도 하계학술대회 논문집 C
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• pp.1957-1959
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• 2000

The PD measurement method is very useful to detect insulation degradation. Recently, the HFPD(High Frequency Partial Discharge) measurement testing is widely used in partial discharge measurement of HV machines because HFPD measurement testing receives less influence of external noise and has a merit of good sensitivity. Therefore it is very useful method compare to previous conventional PD testing method and effective diagnosis method in power transformer that requires in-service diagnosis. But partial discharges have very complex characteristics of discharge pattern so it is required continuous research to development of precise analysis method. In this study, simulated transformer is manufactured and HFPD occurred from simulated transformer is measured with broad band antenna and active-line RF measurement system in real time, the degradation grade of transformer is analyzed through produced patterns in simulated transformer according to applied voltages. Also the PD pattern which was measured with EMC analyzer and RF measurement system is compared.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 1994년도 추계학술대회 논문집 학회본부
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• pp.228-230
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• 1994

A Spotter ion Plating(SIP) system with a r. f. coil electrode and the Facing Target Sputter(FTS) source was designed for high-quality thin film formation. The rf discharge was combined with DC facing target sputtering in order to enhance ionization degree of a sputtered atoms. The discharge voltage-discharge characteristics curves of a FTS source could be characterized by the fern of $I{\propto}V^n$ with n in the range of $8{\sim}12$. The energy of ions incident on the substrate depended on the sheath potential of DC biased substrate. The mean impact ion energy increased with negative bias voltage and rf power. The adhesive force of the TiN film formed was in the range of $30{\sim}50N$, and markedly influenced by substrate bias voltage.

• 한국표면공학회지
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• 제41권5호
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• pp.214-219
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• 2008

Indium tin oxide (ITO) films were deposited on PET substrate by RF superimposed DC magnetron sputtering using ITO (doped with 10 wt% $SnO_2$) target. Substrate temperature was maintained below $750^{\circ}C$ without intentionally substrate heating during the deposition. The discharge voltage of DC power supply was decreased from 280 V to 100 V when superimposed RF power was increased from 0 W to 150 W. The electrical properties of the ITO films were improved with increasing of superimposed RF power. In the result of cyclic bending test, relatively high mechanical property was obtained for the ITO film deposited with RF power of 75 W under DC current of 0.75 A which could be attributed to the decrease of internal stress caused by decrease in both deposition rate and plasma impedance.

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 한국정보디스플레이학회 2000년도 제1회 학술대회 논문집
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• pp.169-170
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• 2000

The conventional AC PDP has a relatively low efficiency which is close to 1.5 lm/W. If the AC sustain period is replaced by the RF sustain period, due to oscillating and low electric field, almost 60% of the supplied energy is spent by Xe excitation [1]. The efficiency of RF PDP can be $4{\sim}5$ times higher than that of AC PDP. In this paper, we will present the RF PDP that is a new type of PDP. A new display method in PDP using RF pulses is suggested and applied on a 4-inch-diagonal Panel (hereinafter 4" panel). Even though there were many researches in RF discharge, there was not enough research for display application. Now we propose the RF PDP that is a new display field and we will expect to do more research in this field.

• 대한토목학회논문집
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• 제29권4B호
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• pp.329-337
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• 2009

본 연구에서는 GPS와 RF 통신을 이용하여 개발한 전자부자 시스템을 간략하게 설명하고 현장 실측 결과를 분석하고 제시 하였다. 개발된 시스템은 15개의 전자부자를 동시에 이용하여 유량측정에 활용할 수 있다. 전자부자는 GPS를 이용하여 실제 유하경로를 측정할 수 있으며, 이를 통해 기존 부자법에 비해 10% 정도의 유속 측정 정확도의 개선이 가능하였다. 또한 ADCP와 유속 측정값을 비교한 결과 대체로 일치하는 결과를 보였다. 전자부자와 일반 부자법에 의해 계산된 소단면별 단면적 차이는 -79~71%에 달하였으며, 특히 부자의 중앙 수렴 경향으로 인해 좌우안 부근의 단면적 차이가 증가하였다. 부자의 유하경로와 단면의 배치가 불규칙한 지점에서 전자부자는 댐 방류량 대비 5~6%의 유량 개선 효과를 가지는 것으로 나타났다. 전자부자는 GPS에 기반한 측위 정보를 제공함으로써 정확한 유속과 단면적 산정이 가능하며, 현장 여건과 관계없이 적은 인력으로 측정과 분석, 유량계산을 신속하게 실시간으로 수행함으로써 홍수 유량측정의 효율성을 높일 수 있을 것으로 기대된다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2006년도 추계학술대회 논문집 광주전남지부
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• pp.43-47
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• 2006

In this paper, parameters of electron temperature and density for the mercury-free lighting-source were measured to diagnosis and analyze in Xe based inductively coupled plasma (ICP). As results at several dependences of 20~100mTorr Xenon pressure, the brightness of discharge tube was higher (4,900 $cd/m^2$) than other conditions when Xe pressure was 20mTorr and RF power was 200W. In that case, the electron temperature and density were 3.58eV and $3.56{\times}10^{12}cm^2$, respectively. The key parameters of Xe based ICP depended on Xe pressure more than RF power that could be verified. A high electron temperature and low electron density with a suitable Xe pressure are indispensible parameters for Xe based ICP lighting-source.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제21권5호
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• pp.481-485
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• 2008

In stator windings of 6.6 kV rotating machine, corona discharge, surface discharge and internal discharge are caused mainly by internal voids and insulation degradation. Also, if partial discharge occurs in inner-part of stator windings, it will be happened electromagnetic pulses at wide frequency range. In case of discharge spark, electromagnetic pulse generated from discharge source, and we can detect it by using various RF resonators as an EM sensor. In order to detect these kind of electromagnetic sources, we have designed and fabricated planar patch sensor using CST MWS simulation, and also PD signals from artificial defected cable were measured by our proposed sensor. Furthermore, HFCT was used as a reference sensor and compared with our proposed new planar patch sensor.

• 한국진공학회지
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• 제21권3호
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• pp.121-129
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• 2012

진공을 기초로 한 극판 전력이 인가된 유도 결합 플라즈마 소스에 관한 대부분의 연구는 자기 바이어스 효과에만 한정되어 있으며, 다양한 반도체 및 디스플레이 식각 공정에서 공정 결과와 소자 품질에 결정적인 역할을 하는 플라즈마 변수들(전자 온도, 플라즈마 밀도)과 극판 전력의 상관관계에 대한 연구는 거의 없는 실정이다. 본 연구에서는 극판 전력이 플라즈마 변수에 미치는 영향에 관한 내용을 다루고 있으며, 최근의 연구 결과에 대한 리뷰를 포함하고 있다. 플라즈마 밀도는 극판 전력 인가에 의하여 감소 또는 증가하였으며, Fluid global model에 의한 결과와 잘 일치하는 경향을 보였다. 전자 온도는 RF 바이어스에 의하여 증가하였으며, 전자 에너지 분포 측정을 통하여 전자 가열 메커니즘을 관찰하였다. 또한, 플라즈마 밀도의 공간 분포는 극판 전력에 의하여 더욱 균일해짐을 알 수 있었다. 이러한 극판 전력과 플라즈마 변수들의 상관관계와 전자 가열 메커니즘에 대한 연구는 방전 특성의 물리적 이해뿐만 아니라, 반도체 식각 공정에서 소자 품질 및 공정 개선을 위한 최적의 방전조건 도출과 외부 변수 제어에 큰 도움을 주리라 예상된다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2001년도 하계학술대회 논문집
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• pp.481-484
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• 2001

High voltage induction motors are widely used in industrial factory because have many benefits. But the insulated materials of induction motor are aged by using time, electrical, thermal, circumstantial stresses and so on. Motor failures are occurred by these deterioration phenomena and give rise economic problems to user. In many motor failures, insulated material problems of stator winding happen frequently and occupy high percentages in the failure source. In this paper, the testing specimen(motorette) is manufactured by modeling of stator winding of high voltage induction motor and accelerating test is carried out. Partial discharge signals detected by RF sensor are used to analyze deterioration condition of stator windings. According to aging time, the 3D ( ${\Phi}$-Q-N) distribution and skewness of partial discharge signals are changed.