• The Journal of the Korea Contents Association
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• v.7 no.12
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• pp.231-237
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• 2007

Recently, numerous government institutions and information service organizations have shown interests in employing ISO 9001 Quality Management System(QMS) to increase their organizational performances. However, due to the gap between the system requirements and the process oriented goals in reality, they have not been able to merit from the ISO 9001 QMS. So, Korea Institute of Science and Technology Information(KISTI) has been designed a process oriented system by incorporating the process analysis results into the existing ISO 9001 system requirements for enhancing organizational competitiveness and promoting productivity through a process standardization. As a result, KISTI has been ISO 9001:2000 certificate in November 11, 2003. And we obtain a improvement of customer satisfaction and efficiency of work, reduction of work processing time using KQMS.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.218.2-218.2
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• 2014

그래핀은 높은 전기 전도도와 열전도도, 기계적 강도를 가지고 있고 동시에 높은 전자이동도($200,000cm^2{\cdot}V{\cdot}^1{\cdot}s{\cdot}^1$) 특성을 갖는 물질로써 차세대 소재로 각광받고 있다. 하지만 그래핀을 소자에 응용하기 위해서는 전사공정과 lithography 공정 과정에서 발생되는 PMMA(Poly methyl methacrylate) residue를 완벽하게 제거해야 하는 문제점이 있다. 특히, lithography 공정 중 완벽하게 PMMA residue 가 제거되지 않고 잔류해 있을 경우에 소자의 life time, performance에 악영향을 준다는 보고가 있다. 이와같은 문제를 해결하기 위해 화학적 cleaning, 열처리를 통한 cleaning, 전류 인가에 의한 cleaning과 같은 방법들을 이용하여 그래핀의 PMMA residue를 제거하는 공정들이 보고되고 있지만, 화학적 cleaning 방법의 경우 chloroform 이라는 독성물질 사용으로 인해 산업적으로 응용이 어렵고, 열처리 방법은 전극 등의 금속이 $200^{\circ}C$ 이상의 높은 온도에서 장시간 노출될 경우 쉽게 손상을 입으며, 전류 인가에 의한 cleaning 방법은 국부적으로만 효과를 볼 수 있기 때문에 lithography 공정 후 PMMA residue를 효과적으로 제거하기에는 한계를 보이고 있다. 본 연구에서는 Ar을 이용하는 Ion beam 시스템을 통해 beam energy를 제어함으로써 PMMA residue를 효과적으로 제거하는 연구를 진행하였다. 최적화된 플라즈마 발생 조건을 찾기 위해 QMS(Quadrupole Mass Spectrometer)를 이용하여 입사하는 ion energy와 flux 양을 컨트롤 하였고, 250 W에서 최적화된 ion energy distribution 영역이 존재한다는 것을 확인할 수 있었다. 또한, 25 Gauss 정도의 electro-magnetic field를 이용하여 Ar의 ion energy를 10 eV 이하로 낮추어 damage를 최소화함으로써 효과적으로 그래핀을 cleaning 할 수 있었다. Cleaning과정에서 ion bombardment에 의해 발생한 damage는 $250^{\circ}C$에서 6시간 동안 annealing 공정을 거치면서 회복되는 것을 Raman spectroscopy의 D peak ($1335cm{\cdot}^1$) / G peak ($1572cm{\cdot}^1$) ratio 로 확인할 수 있었고, PMMA residue의 cleaning 여부는 G peak ($1580cm{\cdot}^1$)의 blue shift와 2D peak ($2670cm{\cdot}^1$)의 red shift를 통해 확인하였다. 그리고 AFM (Atomic Force Microscopy)을 이용하여 cleaning 공정과정에서 RMS roughness가 4.99 nm에서 2.01 nm로 감소하는 것을 관찰하였다. 마지막으로, PMMA residue의 cleaning 정도를 정량적으로 분석하기 위해 XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy)를 이용하여 sp2 C-C bonding이 74.96%에서 87.66%로 증가함을 확인을 할 수 있었다.

• Korean Journal of Construction Engineering and Management
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• v.10 no.2
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• pp.34-45
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• 2009

In domestic, the Quality Management system of construction work has been compounded of the association of regulation which is ground for relevant law and operation of Quality Management system by ISO/KS A 9001(QMS) established by the contractor. Two quality guaranteed systems must be operated with complementary and integrated system, but we can not make full use of QMS of contractor and only run routinized quality management system in all construction project by the standard, methods, process provided in the law. These problems were demanded better condition in the past ten years, since the ISO standards have been introduced. Establishing preventive consideration of quality management by setting a goal of drastic quality guarantee is an urgent problem of construction industry. This study is quick to fellow, which should do three things. 1. The attitude survey related quality management of staff in charge in construction site has run. 2. Base on these results, we adjust satisfaction measurement about operation of construction quality management system. 3. Subsequently, we want to offer our thesis about advanced opinion for the next.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2007.11a
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• pp.459-459
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• 2007

VHF ICP (Very High Frequency Inductively Coupled Plasma) 반응기에서 반응기 압력, 수증기 유량, 플라즈마 출력, 반응기온도 등의 공정변수에 따른 수증기 분해특성과 수소생성거동을 실험하였다. 플라즈마 분해 특성은 OES(Optical Emission Spectroscopy)를 사용하여 분석하였으며, QMS(Quadrapole Mass Spectroscopy)를 이용하여 배기가스 성분을 분석하여, 수증기 분해거동 및 수소생성 효율을 조사하였다. 본 연구실에서 설계한 초고주파 유도결합 플라즈마는 고밀도 플라즈마 생성과 낮은 압력에서도 안정된 플라즈마 발생 특징을 나타내었다. 플라즈마 출력의 증가에 따른 수증기의 분해와 수소생성 거동은 개시영역, 선형증가영역, 포화영역의 세 영역으로 구분되는 특징을 나타내었다. 유량 및 압력의 증가에 따라 포화에 필요한 플라즈마의 출력이 증가되는 경향을 나타내었다. 본 실험의 온도범위에서는 온도 증가에 따른 수증기 분해 및 수소생성 증가효과는 플라즈마 출력의 영향에 비하여 매우 미미한 정도로 플라즈마의 높은 에너지 전달효과를 확인할 수 있었다. 따라서, 낮은 반응기 온도에서도, 유량 및 압력에 따른 포화 플라즈마조건을 설정할 경우, 높은 에너지 효율의 수소 제조가 가능함을 알 수 있었으며, 물분해 플라즈마를 이용한 저온 산화물 박막증착에의 적용도 기대된다.

• International conference on construction engineering and project management
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• 2011.02a
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• pp.149-156
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• 2011

The performance measurement of construction firms is considered as a competitive advantage to develop and improve their performance to have place in the market and stay able to face the continuous challenge. Egyptian construction firms (ECF) started recently to adopt quality management system (QMS) as a way to develop and improve their performance as previous studies showed. However, measuring that performance to include all the firm's aspects in a competitive way is a crucial process for the ECF's culture. The research is trying to indicate the role of the QMS implementation in measuring performance (MP) through developing a model for measuring performance on the organization level, and explore its impact on the organization that adopt quality management system. This model is based on specific elements and their related indicators which have been derived from national approaches and models of measuring performance (benchmarking, quality awards and six sigma).Elements determination and the status of their real practice has been investigated through a questionnaire to a representative sample of ECF. This model determines the performance level (PL) of the organization that measured by a mean of a point system. Weights of the elements in the point system considered both the elements' importance in the international models and its real practice in the Egyptian construction firms. So, the final outcome of the model reveals the level of firm performance that helps the firm to identify the weak points against the strong ones, Confirm the priorities and identify new opportunities for developing, and Check the position of the company in the market among the others. Another questionnaire has been developed to be distributed on a group of Experts on measuring performance for the purpose of model validation. The majority of surveyed experts agreed that the proposed model can be applied effectively.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.18 no.3
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• pp.197-202
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• 2009

The long term stability of ion current of QMS has been one of key parameters for monitoring gas process in vacuum. The time dependence of ionic current was monitored while the pressure of nitrogen gas was kept at a fixed pressure by introducing the gas into vacuum chamber. The chamber was evacuated to ${\sim}3{\times}10^{-9}\;Torr$ to reduce background signals before the measurement. Two ion sources were tested; one had brownish or black color due to gas contamination and the other one was new, i.e. cleaner. At a nitrogen pressure of $1{\times}10^{-5}\;Torr$, the ionic currents measured by the contaminated ion source decreased faster with time. The decrease rate was respectively ${\sim}46%$ for cleaner one and ${\sim}84%$ for contaminated one after ${\sim}5.5%$ hours. In order to test the effect of filament material on the ion current decrease, we fabricated a tungsten(W) filament which consisted of two parts; one half was made of W and the other was coated with yttria. The similar decrease of ionic currents were shown for the two types of filaments, indicating that slight change of temperature of filament due to material difference i.e. baking effect could not improve the origin of ionic current decrease. Overall the decreasing rate of ionic current is more closely associated with contaminated ion source of QMS rather than its filament materials.

• Applied Science and Convergence Technology
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• v.24 no.5
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• pp.142-150
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• 2015

A failure analysis of tungsten filaments used in quadrupole mass spectrometer for plasma process monitoring was carried by using SEM and EDS. Failed at high temperature, filaments showed two kinds of failure modes. The one is that diameter of filament became thinner gradually and finally snapped. The other is that filament abruptly snapped almost at a right angle. The EDS analysis showed Fe and C, including W and Fe, on the surface of failed filament. when failed filaments were treated with plasma in mixture of Ar and $CF_4$, the amount of Fe and C decreased. The failure analysis of filament showed that the cause of filament failure is thermal evaporation and grain growth of tungsten at high temperature.

• Journal of Korean Society for Quality Management
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• v.40 no.4
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• pp.577-588
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• 2012

Purpose: This paper aims to evaluate the quality of Small & Medium Enterprises(SMEs) Survey and to provide some desirable directions and improvements for the future SMEs Survey, conducted by the Government. Methods: The diagnosis were performed by employing the quantitative and qualitative approaches with the official guideline provided by the Ministry of Statistics. Results: Results show that follow-up management are evaluated relatively low in specific processes, and timeliness are evaluated relatively lower than accuracy, accessibility, relevance, comparability and consistency in statistical qualities. Conclusion: we propose the alternatives which enhance the quality level of SMEs by using the 6 tools of Quality Management for Statistics.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.95-95
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• 2016

반도체 및 디스플레이 공정용 플라즈마 장치에서 플라즈마 변수를 측정하기 위한 방법들이 많이 개발되어 왔다. 전자 밀도와 온도는 정전 탐침이나 컷오프 프로브 등을 사용하여 활성종이나 중성종에 비해 상대적으로 쉽게 측정할 수 있고, 활성종과 중성종은 LIF (Laser Induced Fluorescence) 방법, OES (Optical Emission Spectrometry) 방법, 그리고 QMS (Quadrupole Mass Spectrometry) 방법 등을 이용하여 측정할 수 있으나 절대적인 크기를 측정할 수 있는 경우는 제한적인 것으로 알려져 있다. 이러한 문제를 극복하기 위해 측정한 전자 밀도와 전자 온도를 기반으로 하여 고려되는 종들의 밀도를 계산할 수 있는 프로그램도 제작된 바 있다. 개발된 프로그램의 입력 값으로 사용되는 플라즈마 화학반응 데이터베이스는 계산 결과의 정확성과 밀접한 관계가 있으며, 이런 이유로 신뢰성 높은 데이터베이스를 확보하기 위한 연구도 진행되었다. 개발된 프로그램을 이용하여 계산한 플라즈마 변수의 장비 변수에 대한 의존성이 진단 데이터와도 잘 부합하는 것으로 확인되었다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.92-92
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• 2016

전기방전의 기본적인 특성을 가지고 있는 플라즈마를 이용하여 재료를 가공하는 증착, 식각, 표면처리 공정에 있어서 플라즈마 내의 전자 충돌 반응에 의한 이온, 라디칼의 생성과 재료 표면의 반응을 분석하는 도구로써 분압 측정은 일반적인 화학 조성 분석에 기원한 오랜 역사를 가지고 있다. 1 amu 정도의 분해능을 가지고 있고 크기가 30 cm 정도에 불과한 사중극자 질량 분석기는 적절한 질량 스캔 시간과 넓은 이온 전류 측정 범위를 가지므로 소형 차등 배기 시스템과 조합하면 1 mTorr 영역의 스퍼터링 시스템에서 1 Torr 영역의 PECVD/PEALD 시스템 진단에도 쉽게 적용이 가능하다. Inficon사의 CPM-300과 Pfeiffer사의 Prisma80을 이용한 플라즈마 식각 공정 분석 결과를 보면 동위원소까지 분석이 가능하다. 또한 전자충돌 이온화 에너지를 조절하여 m/q(질량전하비율)가 중첩되는 경우의 해석도 가능하다. 다중 오리피스를 갖는 compact design의 밸브 블록을 이용한 설계에서는 line-of-sight 입사가 불가능하여 이온 전류를 분석할 수 없다는 단점이 있으나 표준 가스를 이용한 정량화 등의 큰 장점들이 있다. 최근 이루어진 연구의 내용으로는 유도 결합 플라즈마 장치에서 전도성 메쉬를 이용한 라디칼 거동 관찰을 위해서 두 대의 CPM-300을 메쉬 전 후에 설치하여 라디칼의 양 변화를 전류 프로브와 같이 사용하여 조사하였다.