• 제목/요약/키워드: Purge Process

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원자층 증착에 있어서 아르곤 펄스 시간이 Al2O3 박막에 미치는 효과 (Effects on the Al2O3 Thin Film by the Ar Pulse Time in the Atomic Layer Deposition)

  • 김기락;조의식;권상직
    • 반도체디스플레이기술학회지
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    • 제20권4호
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    • pp.157-160
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    • 2021
  • As an insulator for a thin film transistor(TFT) and an encapsulation material of organic light emitting diode(OLED), aluminum oxide (Al2O3) has been widely studied using several technologies. Especially, in spite of low deposition rate, atomic layer deposition (ALD) has been used as a process method of Al2O3 because of its low process temperature and self-limiting reaction. In the Al2O3 deposition by ALD method, Ar Purge had some crucial effects on the film properties. After reaction gas is injected as a formation of pulse, an inert argon(Ar) purge gas is injected for gas desorption. Therefore, the process parameter of Ar purge gas has an influence on the ALD deposited film quality. In this study, Al2O3 was deposited on glass substrate at a different Ar purge time and its structural characteristics were investigated and analyzed. From the results, the growth rate of Al2O3 was decreased as the Ar purge time increases. The surface roughness was also reduced with increasing Ar purge time. In order to obtain the high quality Al2O3 film, it was known that Ar purge times longer than 15 sec was necessary resulting in the self-limiting reaction.

활성탄을 충전한 흡착탑에서 벤젠 회수를 위한 세정공정의 연구 (A Study on Cleaning Process for Benzene Recovery in Activated Carbon Bed)

  • 강성원;민병훈;서성섭
    • 한국응용과학기술학회지
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    • 제19권2호
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    • pp.108-116
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    • 2002
  • Experimental Study was carried out for benzene desorption by purge gas or evacuation in an activated carbon bed. As purge gas flow rate increased, desorption rate increased due to the higher interstitial linear gas velocity. For various purge gas flow rates, desoption curves almost got together if they were plotted against dimensionless time. At a higher flow rate, mass transfer zone became narrower. Temperature drop in the bed was more fast and severe at higher flow rates and higher outer temperature. It was found out that desorption was almost completed when the temperature in the drop of the bed returned to the initial temperature before temperature drop. Desorption by vacuum purge was completed in shorter time than desorption by purge gas. Countercurrent purge was more effective than cocurrent purge.

수소 데드 앤드 연료전지의 특성 및 맥동을 이용한 성능 향상에 관한 실험적 연구 (A study on the characteristic of the anodic dead-end mode PEM fuelcell and performance improvement by pulsation effect)

  • 최종원;황용신;김성일;하정훈;박준호;차석원;김민수
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 한국신재생에너지학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.336-340
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    • 2009
  • This paper presents experimental results carried out on the purge characteristic of the anodic dead-end mode fuelcell and how to improve the cell performance by pulsation effects. The dead-end mode fuelcell has some merits that a fuel supplying device is not needed and the cell power is higher than that in the open mode fuelcell. However, the purge is necessary for preventing the porous media from being flooded by liquid water formed in the channel. At this time, the un-reacted fuel is discharged with the liquid water together in purge process. The discharged fuel can make the fuel efficiency lower. Therefore, the number of purge times should be decreased for the better fuel efficiency. In this study, the outlet of the anode channel was equipped with a purge solenoid valve and a pulsation generator. The purge times was decreased when the current density decreased and operation pressure increased without the pulsation effects. In addition, when the pulsation effects such as various frequencies or amplitudes were applied, purge times was alleviated up to 40%.

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반도체공정의 Tubing 내 잔여가스제거 지적결정시스템 (Intelligent Decision System for Purging a Residual Gas inside Tubing in Semiconductor Process)

  • 임사환;허용정;최성주;이종락
    • 반도체디스플레이기술학회지
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    • 제5권4호
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    • pp.23-27
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    • 2006
  • Semiconductor industry has been dramatically developed with the information era of 21C, and the trend now is to consider that the technology of management system of the computer utility that has a high efficiency is important. This study investigated the intelligent decision system for residual gas purge process to effectively remove the residual gas in the tube after replacing the cylinder that is used for the gas cabinet or BSGS(Bulk Specialty Gas Supply System) of the semiconductor process. It was suggest from this study that it is possible to decide the type, frequency and volume of purge gas using various toxic gases which is necessary for each process. Also, this result will be utilized for operating the system, increasing the efficiency of management and saving energy.

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자동차 PCSV (Purge Control Solenoid Valve) 제조공정의 누적수율 개선을 위한 6시그마 적용연구 (A Six Sigma Application Case Study to Improve a Rolled Throughput Yield of an Automobile PCSV(Purge Control Solenoid Valve))

  • 양성남;노성호;서종현
    • 대한안전경영과학회지
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    • 제14권1호
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    • pp.179-187
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    • 2012
  • This paper presents a six sigma application case study for an automobile PCSV manufacturing process using rolled throughput yield improvement activity. Hidden factor and first yield concept is introduced and DMAIC procedure is implemented to maximize the first pass yield. The result of the six sigma project amounts to the reduction of failure cost of 0.1 billion won per year in the PCSV manufacturing process. This paper can benefit six sigma practitioners in some ways.

바이오가스로부터 고순도 CH4 회수를 위한 PSA 공정의 실험적 연구 (Experimental Study on PSA Process for High Purity CH4 Recovery from Biogas)

  • 김영준;이종규;이종연;강용태
    • 설비공학논문집
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    • 제23권4호
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    • pp.281-286
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    • 2011
  • The objective of this study is to optimize the four-bed six-step pressure swing adsorption(PSA) process for high purity $CH_4$ recovery from the biogas. The effects of P/F(purge to feed) ratio and cycle time on the process performance were evaluated. The cyclic steady-states of PSA process were reached after 12 cycles. The purity and recovery rate of product gas, pressure and temperature changes were constant as the cycle repeated. It was shown that the P/F ratio gave significant effect on the product recovery rate by increasing the amount of purge gas in purge and regeneration step. The optimal P/F ratio was found to be 0.08. As the cycle time increased, the product purity decreased by increasing the feed gas flow rate. It was found that the optimal operating conditions were P/F ratio of 0.08 and total cycle time of 1,440 seconds with the purity of 97%.

반응표면 분석에 의한 볶음들기름의 향기성분 포집조건 최적화 (Optimization of Dynamic Headspace Purge Conditions for Concentration of Volatile Flavor Compounds of Roasted Perilla Seeds Oil by Response Surface Methodology)

  • Kim, Suk-Ju
    • 한국식품영양학회지
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    • 제17권2호
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    • pp.220-228
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    • 2004
  • Tenax-TA와 동적 headspace 향 포집방법을 이용하여 볶음들기름의 향기성분을 농축하였다. 이때 반응표면분석법을 이용하여 Tenax-TA에 결합한 향기성분의 탈착에 의한 손실을 최소화하고 휘발성이 낮은 화합물의 포집 효율을 극대화시키는 최적조건을 결정하였다. 독립변수로 향 포집 온도와 시간 및 시료량을 설정하였고 총 peak 면적, 탈착율, 휘발성이 가장 낮은 화합물인 perilla ketone의 면적을 종속변수로 하였다. 등고선 그림을 겹친 결과 0.6 g의 볶음들기름을 48$^{\circ}C$에서 12분 동안 포집시키는 것이 최적조건이었으며 Tenax-TA에서 탈착되는 주요한 휘발성 화합물은 2-propanone, 2-butanone, acetic acid 및 2-methyl propanal이었다.

Lustre 파일 시스템을 위한 Purge 기능의 병렬화 구현 (A Parallel Implementation of Purge Process for Lustre File System)

  • 권민우;윤준원;홍태영;박찬열
    • 한국정보처리학회:학술대회논문집
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    • 한국정보처리학회 2016년도 추계학술발표대회
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    • pp.64-65
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    • 2016
  • 슈퍼컴퓨터는 대용량의 데이터를 효율적으로 관리하기 위해 Lustre 파일 시스템과 같은 고성능의 병렬 파일 시스템을 이용한다. 한국과학기술정보연구원의 슈퍼컴퓨터 4호기 Tachyon 2차 시스템과 같이 다수의 사용자가 접속하는 슈퍼컴퓨터는 사용자의 데이터가 한없이 누적됨으로 Lustre 파일 시스템의 성능이 저하되는 이슈가 있다. 본 논문에서는 사용자의 데이터가 누적되는 것을 방지하기 위해 장기간 사용하지 않는 데이터를 자동 삭제하는 기능인 Purge기능을 구현하였다. 특히, 기하급수적으로 늘어나는 병렬 파일 시스템의 용량에 대처하기 위해 병렬 컴퓨팅 기술을 이용해 고속 Purge 기능을 구현하였다. 단일 컴퓨팅 노드와 병렬 환경에서 구현한 결과를 비교하였을 때, 단일 컴퓨팅 노드에서는 1,517GB 용량을 지우는데 221.2초가 걸렸으며 16개의 컴퓨팅 노드를 이용한 병렬 환경에서는 49.9초가 걸렸다. 이 결과를 비교했을 때 단일 컴퓨팅 노드에서 구현한 결과 대비 병렬 환경에서 구현했을 때 약 4.4배의 성능향상을 얻을 수 있었다.

수치해석을 통한 탈황반응기용 촉매의 재생공정 분석 (Numerical Simulation of Catalyst Regeneration Process for Desulfurization Reactor)

  • 최창용;권상구;유준;임도진
    • 청정기술
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    • 제23권2호
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    • pp.140-147
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    • 2017
  • 본 연구에서는 연료전지용 디젤 흡착 탈황 반응기에 사용된 촉매를 재생하는 공정을 수치해석을 통해 모사하고 분석하여 관련된 기초 공정 정보를 도출하였다. 촉매 재생에 사용되는 질소 퍼지가스의 유량, 충전된 탈황촉매의 투과율, 반응기의 크기, 반응기의 단열 성능에 따른 정상상태 해석을 통해 각각의 요소가 촉매 재생에 미치는 영향들을 살펴보았다. 온도의 영향을 거의 받지 않았던 탈황공정과 달리 촉매의 재생 공정에서는 온도 변화에 따라 영향을 크게 받았으며 이전 탈황 연구에서 중요한 공정 변수였던 충전된 촉매의 투과도, 충전층의 공극률 등은 큰 영향을 미치지 못했다. 비정상상태 해석을 수행하여 재생에 소요되는 시간을 예측하였으며 퍼지가스의 유량과 온도를 변화시키며 재생에 소요되는 시간을 분석한 결과, 퍼지가스의 유량을 높이는 것 보다 온도를 높이는 것이 재생에 더 효율적임을 확인하였다. 본 연구 결과는 선박 연료전지용 디젤의 흡착 탈황 반응기의 재생 공정 개발에 활용될 것으로 기대된다. 또한 본 결과는 연료전지뿐 아니라 일반적으로 정유사에서 생산되는 디젤유의 황 함유량을 감소시키는 저황 시스템 디자인에 활용될 수 있으며 이러한 의미에서 석유화학 산업의 청정화 기술 확보에 이바지할 것으로 기대된다.