Plasma Characteristics and Substrate Temperature Change in Al:ZnO Pulse Sputter Deposition: Effects of Frequency (Al:ZnO의 펄스 스퍼터 증착에서 주파수에 따른 플라즈마의 특성과 기판 온도 변화)
-
- Journal of the Korean institute of surface engineering
- /
- v.40 no.5
- /
- pp.209-213
- /
- 2007