1 |
M. Yamashita, J. Vac. Sci. Technol A, 7 (1989) 151.
DOI
|
2 |
S. M. Rossnagel, J. Hopwood, J. Vac. Sci. Technol. B, 12 (1994) 449.
DOI
|
3 |
Y. H. Han, S. J. Jung, J. J. Lee, J. H. Joo, Surf. and Coatings Technol., 174-175 (2003) 235.
DOI
|
4 |
D. H. Kang, D. K. Lee, K. B. Kim, J.-J. Lee, J. H. Joo, Appl. Phys. Lett., 84 (2004) 3283.
DOI
ScienceOn
|
5 |
Z. H. Li, S. J. Kwon, J. Kor. Vac. Soc., 17 (2008) 96.
DOI
|
6 |
H. C. Lee, C. W. Chung, J. Kor. Vac. Soc., 21 (2012) 121.
DOI
|
7 |
S. W. Lee, J. Kor. Vac. Soc., 18 (2009) 176.
DOI
ScienceOn
|
8 |
S. H. Kim, J. H. Joo, S. Y. Lee, K. W. Lee, S. J. Oh, J. Kor. Inst. Surf. Eng., 37 (2004) 185.
|
9 |
S. H. Bae, S. R. Lee, K. H. Jung, Y. B. Lee, Y. H. Shin, "Vacuum Engineering, Hankook Daily News Technology Series 11", (2000) 281.
|
10 |
J. H. Joo, J. Vac. Sci. Technol. A, 18 (2000) 2006.
DOI
ScienceOn
|
11 |
Y. Matsuda, Y. Koyama, K. Tashiro, H. Fujiyama, Thin Solid Films, 435 (2003) 154.
DOI
ScienceOn
|