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Preparation of Al2O3 Thin Films by Atomic Layer Deposition Using Dimethylaluminum Isopropoxide and Water and Their Reaction Mechanisms

  • An, Ki-Seok;Cho, Won-Tae;Sung, Ki-Whan;Lee, Sun-Sook;Kim, Yun-Soo
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
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    • 제24권11호
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    • pp.1659-1663
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    • 2003
  • $Al_2O_3$ thin films were grown on H-terminated Si(001) substrates using dimethylaluminum isopropoxide [DMAl: $(CH_3)_2AlOCH(CH_3)_2$], as a new Al precursor, and water by atomic layer deposition (ALD). The selflimiting ALD process by alternate surface reactions of DMAI and $H_2O$ was confirmed from measured thicknesses of the aluminum oxide films as functions of the DMAI pulse time and the number of DMAI-$H_2O$ cycles. Under optimal reaction conditions, a growth rate of ~1.06 ${\AA}$ per ALD cycle was achieved at the substrate temperature of $150\;^{\circ}C$. From a mass spectrometric study of the DMAI-$D_2O$ ALD process, it was determined that the overall binary reaction for the deposition of $Al_2O_3\;[2\;(CH_3)_2AlOCH(CH_3)_2\;+\;3\;H_2O\;{\rightarrow}\;Al_2O_3\;+\;4\;CH_4\;+\;2\;HOCH(CH_3)_2]$can be separated into the following two half-reactions: where the asterisks designate the surface species. Growth of stoichiometric $Al_2O_3$ thin films with carbon incorporation less than 1.5 atomic % was confirmed by depth profiling Auger electron spectroscopy. Atomic force microscopy images show atomically flat and uniform surfaces. X-ray photoelectron spectroscopy and cross-sectional high resolution transmission electron microscopy of an $Al_2O_3$ film indicate that there is no distinguishable interfacial Si oxide layer except that a very thin layer of aluminum silicate may have been formed between the $Al_2O_3$ film and the Si substrate. C-V measurements of an $Al_2O_3$ film showed capacitance values comparable to previously reported values.

전기자극과 VOG(Videooculograph)를 이용한 정상인의 전정 안반사 측정 (Measurement of Vestibular Ocular Reflex in Normal Subjects Using Galvanic Stimulator and Videooculograph)

  • 김수찬;정운교;남기창;이원상;김영하;김덕원
    • 대한의용생체공학회:의공학회지
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    • 제22권6호
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    • pp.487-496
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    • 2001
  • 본 연구에서는 PIC(마이크로 컨트롤러)를 이용하여 전정계 기능 검사를 할 수 있도록 앙극 (bipolar) 자극이 가능한 정전류 자극기를 제작하였다. 정전류원이 구동할 수 있는 최대 부하와 최대 전류는 각각 3$k\Omega$. 5mA로 하였다. 그리고 자극 패턴은 직류. 정현파, 혹은 펄스파가 가능하도록 제작하였다. 정상인 20명을 대상으로 전기 자극 방법에 따른 안구 운동을 영상 안구운동 검사기(videooculograph; VOG)를 이용하여 분석하였다. 자극 패턴은 직류. 자극 시간은 30초로 하여. 전류의 세기에 대한 안진 반응을 살펴보기 위해 각 피검자마다 자극 전류가 0.75. 1, 2. 3mA인 경우에 대하여 실험하였다 자극 전류의 세기가 2mA 이상일 때는 검사 대상자 모두에게서 안진이 발생하였다 전류의 세기를 0.75에서 3mA로 증가시켰을 때. 느린 성분의 안구운동 속도의 평균은 1.1에서 4.8 deg/sec로 증가하였고. 안진의 평균 횟수 또한 17회에서 48회로 증가하였다. 전기 자극으로 인한 빠른 성분의 안구운동은 일관되게 음 자극을 가하는 전극이 있는 방향으로 나타났으며 좌우 반응의 타이를 나타내는 비대칭도는 전류가 증가할수록 감소하였다. 본 연구는 전기 자극을 이용한 전정 기능 평가와 전정 안반사의 생리기전 연구의 기초 자료로 활용할 수 있을 것으로 사료된다.

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적외선 레이저에 의한 방전 유도 기술의 방전 가공 장치에의 적용 연구 (A Study on the Discharge Guide Technology by infrared Laser Applied to Discharge Processing Devices)

  • 조정수;이동훈;남경훈
    • 조명전기설비학회논문지
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    • 제13권1호
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    • pp.1-8
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    • 1999
  • 최근 들어 레이저를 이용한 방전 제어 기술에 대한 관심이 여러 분야에서 고조되고 있다. 특히, 레이저의 우수한 특성 때문에 Electro-Discharge Machining(EDM)분야에서 각광을 받고 있다. 본 연구에서는 펄스형 Nd:TAG 레이저를 이용해서 방전 가공 장치에 적용될 수 있는 방전 유도 기술에 관한 기초 데이터의 확보를 위한 실험이 수행되었다. 레이저에 의한 직류 발전 유도 실험의 동작 압력의 범위는 0.2~20 torr였다. 진공조 내의 압력 P와 전극간의 거리 d에 따른 최소 직류 레이저 방전 유도 전압 $V_{G.min}$을 측정하였으며, $V_{G.min}$이 자연 방전전압 VND보다 훨씬 낮고 P.d값에 따른 $V_{G.min}$$V_{ND}$와 유사한 경향을 가짐을 확인하였다. 그리고 레이저 출력 에너지 $E_{out}$은 플래쉬램프의 전류 펄스폭 $t_p$가 증가함에 따라 감소하고 $t_p$값이 증가할수록 $V_{G.min}$은 방전 지속 시간 동안에 조사되는 광자량이 감소하기 때문에 더 높아짐을 알 수 있었다. 또한 레이저에 의한 방전 유도 가능범위와 레이저 출력에 따른 방전 유도 특성을 조사하였다.

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액화석유가스 자동차 엔진의 타이밍벨트, 캠샤프트포지션센서, 점화코일 손상과 관련된 고장사례에 대한 연구 (A Study for Failure Examples Including with Timing Belt, Camshaft Position Sensor and Ignition Coil Damage of LPG Vehicle Engine)

  • 이일권;국창호;함성훈;김지현;이재강;한승민;황우찬;황한섭;문학훈;이정호
    • 한국가스학회지
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    • 제26권3호
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    • pp.54-59
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    • 2022
  • 이 논문은 LPG 자동차 엔진의 타이밍벨트, 캠샤프트포지션센서 및 점화코일에 대한 고장사례에 관련된 연구이다. 첫 번째 사례는, 엔진의 프론트 케이스 브래킷장착을 할 때 12mm 볼트를 조이면서 과대한 토크로 인해, 볼트가 체결부에서 분리되어 크랭크축의 스프로킷에 끼여 타이밍벨트와 스프로킷의 이사이에 벨트 간섭에 의해 벨트가 끊어진 것을 확인하였다. 두 번째 사례는, 실린더 헤드부에 설치되어 있는 캠샤프트 포지션 센서와 캠축 감지부의 간극이 너무 작아 센서의 펄스신호불량에 의한 컴퓨터의 인식불량으로 인해 엔진의 부조화현상이 발생된 것을 확인하였다. 세 번째 사례는, 2번 점화코일의 내부불량으로 인해 점화를 할 때 점화코일에서 불꽃이 누설되어 엔진의 부조화 현상이 발생된 것을 확인하였다. 따라서, 차량관리자는 이러한 현상이 발생되지 않도록 철저한 차량점검을 해야한다.

레이저에 의해 생성된 Si 박막의 주기적 표면 구조에서의 도파모드 공진 연구 (Guided-mode Resonances in Periodic Surface Structures Induced on Si Thin Film by a Laser)

  • 이지혁;이윤주;홍현;조은솔;박지영;김주현;강민진;황의선;정병호
    • 한국광학회지
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    • 제34권6호
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    • pp.241-247
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    • 2023
  • 본 연구에서는 355 nm 파장의 나노초 레이저를 비정질 실리콘 박막에 조사하여 형성된 주기적 laser-induced periodic surface structure (LIPSS) 구조의 분광학적 특성을 연구하였다. 지름 196 ㎛의 가우시안 빔을 단위면적당 레이저 펄스 190-280회, 레이저 빔의 세기는 100-130 mJ/cm2 범위에서 'ㄹ' 자 형태로 2차원 스캔하였다. 그 결과 Si 박막 표면에 ~300 nm 주기의 LIPSS 구조가 레이저 편광에 수직 방향으로 정렬되었다. 시료의 투과율 스펙트럼을 측정하여 transverse-electric 편광과 transverse-magnetic 편광에 대해서 각각 700 nm, 500 nm 근방에서 dip이 관측되었다. 이 현상을 설명하기 위해 1차원 격자구조 모델을 이용하여 rigorous coupled-wave analysis를 이용한 시뮬레이션을 하여 편광에 따른 도파모드 공진에 의한 특성임을 규명하였다.

결합된 초음파-충격 반향 기법 기반의 일반 지하구 구조체의 건전도 평가에 관한 실험적 연구 (Experimental study on structural integrity assessment of utility tunnels using coupled pulse-impact echo method)

  • 김진;방정욱;심승보;조계춘
    • 한국터널지하공간학회 논문집
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    • 제25권6호
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    • pp.479-493
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    • 2023
  • 터널과 공동구와 같은 지하구조물의 공용연수가 증가하고 노후화로 인한 사고로 인하여 안전 관리의 필요성이 대두되고 있다. 다만, 민간이 관리 주체인 일반 지하구의 경우 시설물 안전 및 유지관리 세부지침이 미흡하여 안전 관리가 부실한 상황이다. 또한 일반 지하구는 기본 설계 정보가 부족하고 안전 관리자가 안전 진단을 수행하기 위한 공간이 협소하여 기존 비파괴 검사법들의 적용에 한계가 있다. 따라서 본 연구에서는 박스형 일반 지하구의 안전 진단을 위한 기초 자료로 사용될 수 있는 구조물의 두께·철근 유무와 철근 깊이·내부 결함의 유무 및 깊이 등을 판단할 수 있는 품질 평가를 위한 초음파법과 충격 반향 기법 바탕의 비파괴 검사 방법을 제안하였다. 일반 지하구의 실제 현장 조건에서의 제안한 방법의 유효성을 검토하기 위해 콘크리트 벽체 모형 실험체들을 제작하여, 본 연구를 통해 제안한 방법론을 검증하였다. 초음파 신호와 충격 신호를 활용하여 신호를 인가하여, 다채널로 구성된 가속도계를 통해 신호를 수집하고, 최종적으로 모사된 시편의 두께 및 내부에 삽인 된 철근과 구현된 결함의 깊이를 도출하였으며, 실측치와의 비교를 통해 예측한 깊이가 설계한 깊이와 효과적으로 부합하는 것을 확인하였다. 본 연구 결과를 통해 일반 지하구 현장에서 활용할 수 있는 안전 진단 방법의 도출에 기여할 것으로 기대된다.

Identification of an effective and safe bolus dose and lockout time for patient-controlled sedation (PCS) using dexmedetomidine in dental treatments: a randomized clinical trial

  • Seung-Hyun Rhee;Young-Seok Kweon;Dong-Ok Won;Seong-Whan Lee;Kwang-Suk Seo
    • Journal of Dental Anesthesia and Pain Medicine
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    • 제24권1호
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    • pp.19-35
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    • 2024
  • Background: This study investigated a safe and effective bolus dose and lockout time for patient-controlled sedation (PCS) with dexmedetomidine for dental treatments. The depth of sedation, vital signs, and patient satisfaction were investigated to demonstrate safety. Methods: Thirty patients requiring dental scaling were enrolled and randomly divided into three groups based on bolus doses and lockout times: group 1 (low dose group, bolus dose 0.05 ㎍/kg, 1-minute lockout time), group 2 (middle dose group, 0.1 ㎍/kg, 1-minute), and group 3 (high dose group, 0.2 ㎍/kg, 3-minute) (n = 10 each). ECG, pulse, oxygen saturation, blood pressure, end-tidal CO2, respiratory rate, and bispectral index scores (BIS) were measured and recorded. The study was conducted in two stages: the first involved sedation without dental treatment and the second included sedation with dental scaling. Patients were instructed to press the drug demand button every 10 s, and the process of falling asleep and waking up was repeated 1-5 times. In the second stage, during dental scaling, patients were instructed to press the drug demand button. Loss of responsiveness (LOR) was defined as failure to respond to auditory stimuli six times, determining sleep onset. Patient and dentist satisfaction were assessed before and after experimentation. Results: Thirty patients (22 males) participated in the study. Scaling was performed in 29 patients after excluding one who experienced dizziness during the first stage. The average number of drug administrations until first LOR was significantly lower in group 3 (2.8 times) than groups 1 and 2 (8.0 and 6.5 times, respectively). The time taken to reach the LOR showed no difference between groups. During the second stage, the average time required to reach the LOR during scaling was 583.4 seconds. The effect site concentrations (Ce) was significantly lower in group 1 than groups 2 and 3. In the participant survey on PCS, 8/10 in group 3 reported partial memory loss, whereas 17/20 in groups 1 and 2 recalled the procedure fully or partially. Conclusion: PCS with dexmedetomidine can provide a rapid onset of sedation, safe vital sign management, and minimal side effects, thus facilitating smooth dental sedation.

전기적 융합과 활성화 방법이 돼지 체세포 복제수정란의 체외발달에 미치는 영향 (Effects of Electric Stimulation and Activation Conditions on the Fusion and Development of Porcine Somatic Cell Nuclear Transfer Embryos)

  • 정기화
    • 한국수정란이식학회지
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    • 제19권1호
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    • pp.43-51
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    • 2004
  • 본 연구에서는 체세포를 이용한 돼지 복제수정란의 생산효율을 높이는 최적의 방법을 구명코자 핵이식 수정란에 각기 다른 조건들의 전기적 자극에 의한 융합과 활성화를 유도하여 융합율, 분할율, 후기배로의 발달율 및 배반포기배의 할구수를 비교ㆍ조사하여 다음과 같은 결과를 얻었다. 핵이식 복제 수정란과 전기자극에 의한 단위발생란과의 체외배양후 분할율을 비교한 결과 두 처리간에 유의적인 차이를 나타내지 않았으나, 배양7일째 배반포기배로의 발달율에 있어서는 복제수정란이 7.6%로 나타나 단위발생란의 20.4%에 비해 낮은 후기배로의 발달율을 나타내었다. 핵이식 수정란의 전기적 융합에 있어서 각기 다른 전기자극의 조건에 따른 융합율과 분할율 그리고 후기배로의 발달율에 있어서 110 V/mm의 전기적 자극이 주어진 군에서는 47.1%로 나타나 130 V/mm의 자극과 150 V/mm의 자극이 주어진 두 군에서의 70.2%와 72.6%에 비해 낮은 융합율을 나타내었고, 분할율에 있어서도 각각 48.6%, 72.6%와 70.5%로 나타나 110 V/mm의 자극이 주어진 군에서 두 처리군보다 낮은 성적을 나타내었다. 그러나 배반포기배로의 발달율에 있어서는 각각의 처리군에 있어서 8.1%, 9.7% 및 10.7%로 나타나 유의적인 차이를 나타내지 않았다. 체세포를 이용한 핵이식수정란의 전기적 자극에 의한 융합과 활성화에 있어서 3가지의 각기 다른 처리군(A type, SA 방법; B type, SA 방법과 CB 처리군; C type, DA 방법과 CB 처리군)으로 나누어 조사한 결과 3가지의 처리군에 있어서의 분할율은 각각 71.4%, 74.7% 및 70.8%로 나타나 유의적인 차이를 나타내지 않았으며, 배반포기배로의 발달율에 있어서도 각각 9.7%, 8.0% 및 11.2%로 나타나 유의적인 차이를 나타내지 않았다. 또한 배반포기배의 할구수에 있어서도 3가지 처리군에서 각각 22.5$\pm$12.8, 23.3$\pm$11.2 및 21.6$\pm$10.4로 나타나 유의적인 차이를 나타내지 않았다. 이상의 실험 결과들을 종합해 보면, 본 연구에서는 돼지의 체세포를 이용한 핵이식 수정란의 융합시 130 V/mm 또는 150 V/mm, 50 ${\mu}\textrm{s}$ec, 2 pul-se의 전기적 강도를 이용하고, 활성화 방법으로는 SA 방법 또는 DA 방법을 병행한다면 복제수정란의 생산효율을 향상시킬 수 있음을 시사하였다. 따라서 돼지의 체세포를 이용한 복제수정란의 생산효율을 향상시키기 위해서는 핵이식 수정란의 전기적 자극에 의한 융합과 활성화에 관한 조건이 확립되어야 하며, 또한 후기배로의 발달율 향상을 위한 최적의 체외배양조건이 확립되어야 할 것으로 사료된다.

기관지내시경 검사시 전처치로서 Midazolam의 효과 (The Effect of Midazolam As Sedative Agent in Bronchoscopy)

  • 이상학;현대성;이숙영;김석찬;김영균;김관형;문화식;송정섭;박성학
    • Tuberculosis and Respiratory Diseases
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    • 제53권6호
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    • pp.612-618
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    • 2002
  • 연구배경 : 기관지내시경은 호흡기질환의 진단과 치료에 유용한 도구로 널리 이용되고 있다. 그러나 상당수의 환자가 검사시 고통을 느끼거나 불안감을 느끼고 있어 이를 경감시켜주기 위한 전처치가 필요하다. 저자들은 전처치 약제로 midazolam의 안정성과 효과를 평가하고 또한 적절한 용량을 알아보고자 본 연구를 시행하였다. 방 법 : 연속적으로 기관지내시경을 시행한 180명의 환자를 대조군, midazolam 0.03 mg/kg군, midazolam 0.06 mg/kg군으로 분류하여 검사자와 내시경보조 간호사, 환자의 만족도를 비교하였다. 또한 검사중 혈압과 심박 및 산소포화도의 변화를 측정하였고 기침의 횟수와 lidocaine의 사용량을 측정하였다. 환자의 회복상태는 내시경검사 종료 후 10분간격으로 검사하였다. 결 과 : 각군간에 연령, 성별, 신장, 체중 및 검사시간의 차이는 없었다. 검사 전 및 검사중 혈압과 심박수 및 산소포화도는 각 군간에 유의한 차이가 없었으며 기침의 횟수, lidocaine의 투여량 역시 각 군간에 유의한 차이가 없었다. 기관지내시경 종료후 10분 내에 모든 환자에서 회복이 관찰되었다. 검사자 및 간호사의 만족도는 midazolam 0.03 mg/kg군에서 가장 높았으며 환자의 만족도는 midazolam 투여군 모두에서 대조군보다 높은 결과를 나타냈다. 결 론 : 기관지내시경 검사시 전처치로서 midazolam의 정맥투여는 안전한 방법으로 환자의 만족도를 증가시키며 저용량의 midazolam 투여는 의식하 진정작용을 통해 검사자의 만족도 또한 증가시키는 것으로 생각된다.

중성자 모니터링을 위한 전도성 10B 박막 개발 (The development of conductive 10B thin film for neutron monitoring)

  • 임창휘;김종열;이수현;정용주;최영현;백철하;문명국
    • Journal of Radiation Protection and Research
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    • 제39권4호
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    • pp.199-205
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    • 2014
  • 중성자 검출분야에서$^3He$는 높은 중성자 검출효율 때문에 아주 많이 사용되고 있다. 하지만 2009년 초반부터 발생하고 있는 전세계적인 $^3He$의 품귀현상으로 인하여 가격이 급등하고 수급이 어려워졌기 때문에 대체 중성자 검출물질에 대한 필요성이 높아졌다. 그러므로 중성자 검출물질로 사용될 수는 있지만 $^3He$에 비해 반응효율이 낮아 중성자 검출용으로 주로 사용되지 않던 물질들을 사용하여 검출기를 제작하는 연구가 다시 활발하게 진행되고 있다. $BF_3$, $^6Li$, $^{10}B$, $Gd_2O_2S$ 등과 같은 $^3He$ 대체 물질들 중 하나인 $^{10}B$은 손쉬운 감마선 구별, 무독성, 낮은 가격 등과 같은 여러 장점으로 인하여 여러 연구그룹에서 연구되고 있다. $^{10}B$ 박막을 이용한 중성자 검출은 중성자와 반응하여 발생되는 2차 방사선을 측정하여 간접적으로 중성자를 측정하는 검출기법이다. 반응을 통해 생성된 알파입자의 비정은 고체 내에서 아주 짧기 때문에 $^{10}B$ 층은 박막 형태로 얇게 제작해야 한다. 그러므로 중성자와 박막의 반응을 통해 발생되는 알파입자의 검출효율을 증가시키기 위해서는 $^{10}B$ 박막의 두께를 얇게 제작하는 것이 중요하다. 하지만 박막의 두께를 얇게 제작하는 것은 중성자와 반응하여 생성되는 알파입자의 수집효율을 증가시키는 장점이 있지만 또한 중성자와 반응할 단면적을 감소시키는 단점이 있다. 본 논문에서는 리튬이온전지에 사용되는 초박막 극판 제조 기술을 이용하여 중성자 검출을 위한 대략 $60{\mu}m$ 두께의 얇은 $^{10}B$ 박막을 제작하였다. 그리고 전도성, 분포, 점착력, 유연성와 같은 간단한 물리적 실험을 통해 제작된 $^{10}B$ 박막의 물성을 확인하였다. 또한, 제작된 $^{10}B$ 박막을 사용하여 중성자 모니터링을 위한 비례계수기 제작하고 이를 이용하여 한국원자력연구원의 중성자 조사시설의 중성자 파고 스펙트럼을 측정하였다. 또한, 중성자 검출효율을 증가시킬 수 있는 방법 중 하나인 다층 박막을 이용한 중성자 측정 방법을 이용하여 박막 층수에 따른 중성자 검출효율의 변화를 몬테칼로 전산모사 기법을 이용하여 계산하였고 실험을 통해 박막층의 증가에 따른 신호변화를 측정하였다.