• 제목/요약/키워드: Pt thin-film

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The Doping and Plasma Effects on Gas Sensing Properties of α-Fe2O3 Thin Film

  • Choi, J.Y.;Jang, G.E.
    • Transactions on Electrical and Electronic Materials
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    • 제5권5호
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    • pp.189-193
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    • 2004

  • Pure and Sn or Pt doped $\alpha-Fe_2O_3$ thin films were prepared on $Al_2O_3$ substrates by RF-magnetron sputtering method and the sensitivities were compared. It was found that pure $\alpha-Fe_2O_3$ thin films did not exhibit much selectivity in CO and $i-C_4H_{10}$ gases while it showed the high sensitivity in proportion to the gas concentration of $C_2H_{5}OH$ gas. Pt-doped $\alpha-Fe_2O_3$ showed to be alike sensing properties as pure $\alpha-Fe_2O_3$ thin film in $C_2H_{5}OH$ gas. However, Sn-doped $\alpha-Fe_2O_3$ thin films exhibited the excellent sensitivity and selectivity in Hz gas. After microstructure modification by plasma etching on pure $\alpha-Fe_2O_3$ thin films, the gas sensing characteristics were dramatically changed.

  • https://doi.org/10.4313/TEEM.2004.5.5.189 인용 PDF KSCI

RF Magnetron Sputtering 으로 제작된 Co-based MnSbPt 합금박막의 자기광학적 성질 (Magneto-Optical Properties of Co-based MnSbPt Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputtering)

  • 윤현묵;홍연기;이경재;김종오
    • 한국재료학회지
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    • 제8권3호
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    • pp.195-199
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    • 1998

  • R.F. Magnetron Sputtering 법으로 Co를 base로 MnSbPt 합금박막의 최적 열처리 조건은 $300^{\circ}C$-4시간 이었으나, 종래의 MnSbPt 합금박막의 경우와 같이 수직자화막은 얻을 수 없었다. 보자력은 Co의 두께가 $250\AA$에서 최대를 나타냈으나 약 500 Oe이하로 실용적 측면에서 불충분 하였다. 진공중에서 $300^{\circ}C$ 4시간 열처리한 합금박막의 경우, 700nm의 입사파장에서 약 $0.78^{\circ}$에 이르는 Kerr 회전각을 보이므로 고보자력을 지닌 수직자화막을 제조할 수 있다면 우수한 차세대 고밀도 자기 기록매체로서 유망하다.

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