프로브 카드는 반도체 제조 공정 전에 반도체 소자 및 필름의 기능과 성능을 검사하기 위한 테스트 장비이다. 반도체 산업의 급속한 기술 발전과 반도체 소자의 고집적화로 인하여 반도체 소자의 패드 간격과 패드의 수가 증가하고 있다. 따라서 반도체 소자의 크기 및 배열의 형태가 계속 축소됨에 따라 미세 피치를 갖고 검사용 핀의 수가 많은 프로브 카드가 필요하다. 본 논문에서는 수직형 프로브 카드의 적용을 위하여 MEMS 기술을 이용한 프로브 팁을 개발하였다. 프로브 팁의 설계를 위해서 유한요소해석을 이용하여 프로브 팁의 구조 및 기계적 특성에 대한 구조설계를 수행하였다. 또한 구조 설계를 적용한 프로브 팁을 제작하여 유한요소해석의 결과와 실제 시험을 통한 접촉력의 평가를 수행하였다. 이에 따라 피치 간격이 약 $50{\mu}m$이하의 프로브 카드를 제작하였다.
Objectives This study was performed to compare the electrical methods of motor points mapping using surface EMG and electric probe (Pointer Excel II). Methods 32 healthy adults (male 16, female 16) were selected. and classified into two groups; surface EMG group, electric probe (Pointer Excel II) group. In surface EMG group, motor points were searched by recoding the compound muscle potentials. In electric probe (Pointer Excel II) group, motor points were searched by scanning the skin with Pointer Excel II at low level stimulation. The locations of the motor points were expressed as X and Y values in relation to the reference line. The horizontal reference line was set as elbow crease and the vertical reference line was set as the line connecting coracoid process to the center of the horizontal reference line. The data was analyzed by 'Independent T-test' and 'equivalence test'. Results 1. The motor points of short head and long head of biceps brachii muscle were located at about 2/3 length of the vertical reference line from coracoid process and about 1/5~1/4 length of the half of the horizontal reference line from the vertical reference line in both group. 2. The motor points of the short head were located more distally and close to the vertical reference line (p<0.001). 3. In surface EMG group, the motor points of the long head were located more laterally in the female than male. And the motor points of the long head were located more distally in the left side than right side (p<0.05). In electric probe (Pointer Excel II) group, similar tendency was observed but there was no statistically significant difference (p>0.05). 4. As a result of the equivalence test between surface EMG group and electric probe (Pointer Excel II) group, the confidence intervals of the difference were within the equivalence limit. Therefore, the locations of the motor points searched by two ways are equa l (p>0.05, equivalence interval=3%). Conclusions The results indicate that electric probe (Pointer Excel II) can be used to search the motor points instead of surface EMG. This might improve the clinical efficiency when using the motor points to treat muscle dysfunction.
The quality prediction of the semiconductor industry has been widely recognized as important and critical for quality improvement and productivity enhancement. The main objective of this paper is to predict the final quality of semiconductor chips based on fail bit count information obtained from probe tests. Our proposed method consists of solving the data imbalance problem, non-parametric variable selection, and adjusting the parameters of the model. We demonstrate the usefulness and applicability of the proposed procedure using a real data from a semiconductor manufacturing.
For the accurate interpretation and objective measurement of textural characteristics of fermented vegetables, first of all, the studies on the microstructure and chemical compositions of vegetable cell, and the changes in the textural properties of vegetables during salting, blanching and fermentation should be carried out. And the mechanical textural parameters were needed to compare with and analyze in relation to the sensory parameters. In this review, the thypical force-distance curves of fermented vegetables were obtained from the compression, cutting and puncture test. And it was showed that the compression force was a more effective textural parameter to express the hardness of fermented vegetables, and the sensory chewiness and toughness were related to the changes in cutting force. In the puncture test, the puncture force was related to the hardness and varied with the size and form of puncture probe; the changes in puncture force by small probe could express the decrease in hardness and crispness, whereas those by large probe could represent the changes in toughness. And the brittleness and crispness could be measured by the break point and the numbers of peak obtained from the force-distance curves.
We designed the hot wind tunnel to reproduce the conditions of utility boiler and carried out its performance test, in order to investigate the particulate two-phase flow behaviour, the fouling and heat transfer characteristics to the heat exchanger. The hot wind tunnel introduces the control system to control the temperature in the test section. The particle is injected into the hot gas stream. The fouling probe (cylindrical tube) is positioned normal to the particulate gas-particle two-phase flow and cooled by the air. The temperature of gas and cooling air, and temperature in the fouling probe are measured as a function of time, giving the local and averaged heat transfer and fouling factor. The shape of particulate deposition adhered to the fouling probe is also observed.
In this paper, the difference between the S-parameter and the characteristic impedance according to the structural change of the fine pitch coaxial socket was analyzed. A pitch of the probe pin was applied to 0.20mm, and ground pins of different conditions were placed on each of the five signal pins. Insertion loss and reflection loss were analyzed for the coaxial socket of normal structure and the two sockets of the proposed structure. In addition, the difference in characteristic impedance was analyzed using time domain reflectometry. Through the analysis, it was confirmed that the characteristic impedance was improved applying the new structures of the socket at the same pitch
도로포장구조체에서 하부구조의 함수비는 포장공용성에 중요한 영향을 미칠 수 있다. 최근 들어 많은 연구자들이 현장 계측을 통한 포장하부구조의 함수비를 주기적으로 측정하기 위해서 TDR(Time-Domain Reflectometry) 함수량계를 사용하고 있다. 일반적으로 TDR 함수량계는 흙의 타입, 입도, 밀도, 온도 등에 의해 오차가 유발된 수 있기 때문에, 현장의 흙을 사용하여 TDR 함수량계의 실내보정실험을 반드시 수행해야 한다. 본 연구에서는 LTPP(Long Term Pavement Performance) 구간의 노상재료와 보조기층재료에 대하여 TDR 함수량계(CS616) 실내보정실험을 수행하였으며, 이 결과로부터 TDR 함수량계의 보정모델을 개발하였다. 또한 현장데이터의 분석을 통해, 함수량계가 동결의 발생여부, 부동수의 양, matric suction 등을 판단하는데 활용될 수 있음을 확인하였다.
지반의 강성도 또는 전단파 속도는 지반의 내진 설계 및 해석에서 중요한 인자 중의 하나이다. 현장 강성도를 측정하기 위한 탄성파 기법은 서로 다른 그만의 장단점을 갖고 있다. 이 연구에서는 데이터의 질과 시험의 수월성을 증진시키기 위해 벤더 엘리먼트의 특성과, 탄성파 기법 중 크로스홀과 탄성파 콘의 장점을 조합하여 새로운 프로브를 개발하였다. 머드포오크(MudFork)로 명명한 이 프로브이 기본 구조는 두 개의 블레이드(blade)로 이루어진 포오크 형태이다. 두 블레이드에 발진자와 감지기 엘리먼트가 각각 장착되었다. 실내 카올리나이트 토조에서 이 프로브가 지반에 관입될 때 야기되는 교란도를 규명하였다. 이 프로브를 인천의 한 연약지반에 일반 시추기를 이용하여 SPT(standard penetration test) 롯드로 관입하고 깊이별 전단파를 계측하였다. 이 계측된 전단파를 실내 시험과 콘 관입시험의 데이터로 검증한 결과 이 프로브는 데이터의 질과 시험의 수월성면에서 탁월한 현장 전단파 계측 장비로 평가된다.
Duan, Chongfei;Ishibashi, Koji;Senoo, Shigeki;Bosdas, Ilias;Mansour, Michel;Kalfas, Anestis I.;Abhari, Reza S.
International Journal of Fluid Machinery and Systems
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제9권1호
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pp.85-94
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2016
An experimental study is conducted for unsteady wet steam flow in a four-stage low-pressure test steam turbine. The measurements are carried out at outlets of the last two stages by using a newly developed fast response aerodynamic probe. This FRAP-HTH probe (Fast Response Aerodynamic Probe - High Temperature Heated) has a miniature high-power cartridge heater with an active control system to heat the probe tip, allowing it to be applied to wet steam measurements. The phase-locked average results obtained with a sampling frequency of 200 kHz clarify the flow characteristics, such as the blade wakes and secondary vortexes, downstream from the individual rotational blades in the wet steam environment.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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