Three-dimensional monte carlo modeling and simulation of point defect generation and recombination during ion implantation (이온 주입 시의 점결함 발생과 재결합에 관한 3차원 몬테 카를로 모델링 및 시뮬레이션)
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- Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics D
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- v.34D no.5
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- pp.32-44
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- 1997