• 제목/요약/키워드: Pressure Sensors

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압저항 효과를 이용한 실리콘 압력센서 제작공정의 최적화 (Optimization on the fabrication process of Si pressure sensors utilizing piezoresistive effect)

  • 윤의중;김좌연;이석태
    • 대한전자공학회논문지SD
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    • 제42권1호
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    • pp.19-24
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    • 2005
  • 본 논문에서는 압저항 효과를 이용한 Si 압력센서 제작을 최적화하였다. Si 압저항형 압력센서의 제작공정에 있어서 압저항과 알루미늄 회로 패턴 이후에 Si 이방성 식각을 통하여 수율이 개선되었다. 압저항의 위치와 공정 파라메터는 각각 ANSYS와 SUPREME 시뮬레이터를 이용하여 결정하였다. Boron-depth 프로파일 측정으로부터 p-형 Si 압저항의 두께를 측정한 결과 SUPREME 시뮬레이션으로부터 얻은 결과와 잘 부합하였다. 다이아프램을 위한 Si 이방성 식각 공정은 암모늄 첨가제 AP(Ammonium persulfate)를 TMAH(Tetra-methyl ammonium hydroxide) 용액에 첨가함으로써 최적화되었다.

고압용 박막형 압력센서의 특성 (Characteristics of thin-film type pressure sensors for high pressure)

  • 서정환;최성규;정찬익;류지구;남효덕;정귀상
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2001년도 하계학술대회 논문집
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    • pp.737-740
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    • 2001
  • This paper describes the fabrication and characteristics of CrN thin-film type pessure sensors, which the sensing elements were deposited on SUS. 630 diaphragm by DC reactive magnetron sputtering in an argon-nitride atmosphere(Ar-(10%)N$_2$). The optimized condition of CrN thin-film sensing elements was thickness range of 3500${\AA}$ and annealing condition(300$^{\circ}C$, 3 hr) in Ar-10 %N$_2$deposition atmosphere. Under optimum conditions, the CrN thin-films for strain gauges is obtained a high resistivity, $\rho$=1147.65 ${\mu}$$\Omega$cm, a low temperature coefficient of resistance, TCR=-186 ppm/$^{\circ}C$ and a high temporal stability with a good longitudinal, 11.17. The output sensitivity of fabricated CrN thin-film type pressure sensors is 2.36 mV/V, 4∼20 mA and the maximum non-linearity is 0.4 %FS and hysteresis is less than 0.2 %FS.

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전압력센서를 적용한 초고속 유동데이터 산출 알고리즘 (Supersonic air data acquisition algorithm using total pressure sensors)

  • 최종호;이재윤;윤현걸;임진식
    • 한국추진공학회:학술대회논문집
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    • 한국추진공학회 2011년도 제36회 춘계학술대회논문집
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    • pp.215-218
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    • 2011
  • 초기 설계단계에서 세 개의 전압력센서와 두 개의 정압력센서로 구성된 압력획득 장치를 이용하여 초고속 유동 상태에서 공력 데이터 산출 알고리즘 개발에 대하여 기술하였다. 개발 알고리즘으로부터 마하수, 받음각 및 사이드슬립각을 미리 정의된 테이블 데이터 및 내삽법(interpolation)을 적용하여 손쉽게 얻을 수 있다. 초기 설계 단계에서 개발 프로그램을 검증하기 위해 사용된 테이블 데이터는 Taylor-Maccoll 관계식으로부터 획득한 자료로 구성하였다. 또한 데이터는 CFD 해석에 기초한 계산결과와 비교 및 수정되었다. 금번에 제시된 알고리즘은 다양한 항공기 와 시험에 필요한 초음속 유동데이터 획득에 유용하게 적용될 것으로 기대된다.

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상수도관망의 피해율 저감을 위한 가압장 최적운영기법 개발 (Development of optimum pump operation technique for the damage rate reduction of water distribution system)

  • 권혁재
    • 한국수자원학회논문집
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    • 제52권5호
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    • pp.373-380
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    • 2019
  • 본 연구에서는 상수도관망의 피해율 저감을 위한 최적의 펌프운영기법을 제안하였다. 펌프운영시스템은 효과적인 펌프운영을 위하여 개발되었다. 이를 위해 펌프와 소통할 수 있는 압력센서가 상수도관망의 관말단부에 설치되었다. 펌프운영시스템은 관말단의 센서로 부터 수신된 데이터를 통하여 펌프를 제어하게 된다. 따라서 펌프운영시스템은 관말단부에 충분한 유량을 전달할 수 있는 압력을 유지할 수 있고 불필요한 압력을 줄일 수 있다. 펌프운영시스템의 효과를 입증하기 위해 신뢰성해석모형이 사용되었고 기존의 펌프운영시스템과 새로운 펌프운영시스템의 운영결과를 통하여 상수도관의 파괴확률을 정량적으로 비교하였다. 이를 위해서 부정류해석을 수행하였고 그 결과는 파괴확률을 산정하는데 사용되었다. 그 결과, 새로 제시된 펌프운영시스템은 상수도관의 파괴확률을 현저히 낮출 수 있음을 확인할 수 있었다.

체압센서를 장착한 의료용 침대 시스템의 개발 (Development of medical bed system equipped with body pressure sensors)

  • 선민주;이영대
    • 문화기술의 융합
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    • 제7권1호
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    • pp.646-653
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    • 2021
  • 본 연구에서 개발된 의료용 침대는 N개의 건반으로 이루어져 각각이 엑츄에이터에 의해 수직으로 구동된다. 각 건반에는 M개의 센서가 실장되어 체압을 측정하므로 체압지도의 해상도는 MN에 의해 결정된다. 각 건반에는 센서 제어기가 실장되어 M개의 센서로부터 측정한 체압값을 CAN(Car Area Network)와 같은 직렬 통신 네트워크를 통해 메인제어기로 전달한다. 각 건반에는 모터를 구동하는 서보 드라이버가 하나씩 장착되며 메인 제어기와 CAN으로 연결되어 메인 제어기에서 지시된 변위값대로 건반의 높낮이를 제어하며 향후 개발될 인공지능 제어 알고리즘을 위해 신체 각부의 편안도를 조사하여 건반의 높낮이를 맞추었다. 또한, 건반 각부에 걸리는 최대 체압값과 체압비를 계산하여 인공지능에 의한 침대 편안도 제어를 위해 기초 데이터로 활용한다. 결과적으로 제시된 시스템은 향후 개발될 인공지능에 의한 신체의 안락함과 욕창 방지 제어를 위해 활용될 수 있는 토대가 될 수 있다.

Mciro-flown 속도센서를 이용한 흡음률 측정 (Sound Absorption Measurement by Using Micro-Flown Velocity Sensor)

  • 정성수;조문재;김용태
    • 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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    • 한국소음진동공학회 2004년도 춘계학술대회논문집
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    • pp.692-693
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    • 2004
  • We introduce a new velocity sensor, micro-flown sensor, which was developed by H-E de Bree. The sound absorption coefficients of a fiber material with the conventional pressure microphones and the micro-flown sensors were measured and compared. The experimental results show that both sensors could be well applied to measure the sound absorption coefficient but the pressure sensor was rather stable than micro-flown sensor

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탄소섬유강화복합소재의 고압수지이송성형공정에서 금형 내 캐비티의 압력 및 온도신호에 따른 성형특성 (Forming Characteristics with Cavity Pressure and Temperature Signal Inside Mold in High-Pressure Resin Transfer Molding Process of Carbon Fiber Reinforced Composite Material)

  • 한범정;정용채;김성렬;김노원;강명창
    • 한국기계가공학회지
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    • 제16권6호
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    • pp.81-86
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    • 2017
  • The high-pressure resin transfer molding (HP-RTM) process has a very effective for the mass production of carbon fiber reinforced plastic (CFRP) for light weight in the automotive industry. In developing robust equipment, new process and fast cure matrix systems reduces significantly the cycle time less than 5 minutes in recent years. This paper describes the cavity pressure, temperature and molding characteristics of the HP-RTM process. The HP-RTM mold was equipped with two cavity pressure sensors and three temperature sensors. The cavity pressure characteristics of the HP-RTM injection, pressurization, and curing processes were studied. This experiment was conducted with selected process parameters such as mold cap size, maximum press force, and injection volume. Consequently, this monitoring method provides correlations between the selected process parameters and final forming characteristics in this work.

접촉식 센서를 이용한 고속 활주선 선미부 압력 계측 시험 (Pressure Measurement of Planing Hull Stern Bottom by Tactile Sensors)

  • 박세용;박종열;이신형;김동진
    • 대한조선학회논문집
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    • 제55권5호
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    • pp.431-437
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    • 2018
  • The running attitude of a planing hull is determined by the pressure distribution on the hull bottom, and it significantly affects hydrodynamic performance of the ship, i.e., resistance, maneuverability, and seakeeping ability. Therefore, it is essential to investigate pressure distribution on the hull bottom in order to improve hull design. In the present study, a novel pressure measurement system using tactile sensors was introduced for a planing hull. The test model was a 23 m-class planing hull with a hard chine. The pressure measurement showed that the pressure at the transom was lower than the atmospheric pressure, owing to flow separation at the transom.

유체 충격 압력 측정용 압전 센서 특징 (Characteristics of Piezoelectric Sensor for Fluid Impact Pressure)

  • 최영명;김현이;박준수;권순홍;김동진
    • 한국해양공학회지
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    • 제23권6호
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    • pp.17-22
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    • 2009
  • This study presents an investigation of the characteristics of piezoelectric sensors whose main utilization is to measure impact pressure. The piezoelectric sensors were tested from several points of view. Their characteristics were investigated for repeatability, the effect of the diameter, temperature effect, water purity, flush mounting, and AC and DC coupling. Out of these, it was revealed that the temperature effect is very significant. The characteristics of the AC and DC coupling are also very important in understanding the time history of the impact pressure.

압력센서를 이용한 자세 판별에 대한 연구 (A Study on the Sittring Posture Identification Using Pressure Sensors)

  • 김경현;남현도;김경호
    • 전기학회논문지
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    • 제67권7호
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    • pp.940-945
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    • 2018
  • In this study, we make a study on a system to determine a person's sitting posture by measuring the distribution of pressure in the floor of a chair or in a cushion using pressure sensors. If the wrong sitting posture is detected, a warning message is given through the vibration motor in real time to correct the imbalance of the wrong habits and posture, and prevent Bulging disc or Herniated disc.