• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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• pp.256-256
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• 2012

Cu가 기존 배선물질인 Al을 대체함에 따라 resistance-capacitance delay와 electromigration (EM) 등의 문제들이 어느 정도 해결되었다. 그러나 지속적인 배선 폭의 감소로 배선의 저항 증가, EM 현상 강화 그리고 stability 악화 등의 문제가 지속적으로 야기되고 있다. 이를 해결하기 위한 방법으로 Cu alloy seed layer를 이용한 barrier 자가형성 공정에 대한 연구를 진행하였다. 이 공정은 Cu 합금을 seed layer로 사용하여 도금을 한 후 열처리를 통해 $SiO_2$와의 계면에서 barrier를 자가 형성시키는 공정이다. 이 공정은 매우 균일하고 얇은 barrier를 형성할 수 있고 별도의 barrier와 glue layer를 형성하지 않아 seed layer를 위한 공간을 추가로 확보할 수 있는 장점을 가지고 있다. 또한, via bottom에 barrier가 형성되지 않아 배선 전체 저항을 급격히 낮출 수 있다. 합금 물질로는 초기 Al이나 Mg에 대한 연구가 진행되었으나, 낮은 oxide formation energy로 인해 SiO2에 과도한 손상을 주는 문제점이 제기되었다. 최근 Mn을 합금 물질로 사용한 안정적인 barrier 형성 공정이 보고 되고 있다. 하지만, barrier 형성을 하기 위해 300도 이상의 열처리 온도가 필요하고 열처리 시간 또한 긴 단점이 있다. 본 실험에서는 co-sputtering system을 사용하여 Cu-V 합금을 형성하였고, barrier를 자가 형성을 위해 300도에서 500도까지 열처리 온도를 변화시키며 1시간 동안 열처리를 실시하였다. Cu-V 공정 조건 확립을 위해 AFM, XRD, 4-point probe system을 이용하여 표면 거칠기, 결정성과 비저항을 평가하였다. Cu-V 박막 내 V의 함량은 V target의 plasma power density를 변화시켜 조절 하였으며 XPS를 통해 분석하였다. 열처리 후 시편의 단면을 TEM으로 분석하여 Cu-V 박막과 $SiO_2$ 사이에 interlayer가 형성된 것을 확인 하였으며 EDS를 이용한 element mapping을 통해 Cu-V 내 V의 거동과 interlayer의 성분을 확인하였다. PVD Cu-V 박막은 기판 온도에 큰 영향을 받았고, 200도 이상에서는 Cu의 높은 표면에너지에 의한 agglomeration 현상으로 거친 표면을 가지는 박막이 형성되었다. 7.61 at.%의 V함량을 가지는 Cu-V 박막을 300도에서 1시간 열처리 한 결과 4.5 nm의 V based oxide interlayer가 형성된 것을 확인하였다. 열처리에 의해 Cu-V 박막 내 V은 $SiO_2$와의 계면과 박막 표면으로 확산하며 oxide를 형성했으며 Cu-V 박막 내 V 함량은 줄어들었다. 300, 400, 500도에서 열처리 한 결과 동일 조성과 열처리 온도에서 Cu-Mn에 의해 형성된 interlayer의 두께 보다 두껍게 성장했다. 이는 V의 oxide formation energy가 Mn 보다 작으므로 SiO2와의 계면에서 산화막 형성이 쉽기 때문으로 판단된다. 또한, $V^{+5}$이온 반경이 $Mn^{+2}$이온 반경보다 작아 oxide 내부에서 확산이 용이하며 oxide 박막 내에 여기되는 전기장이 더 큰 산화수를 가지는 V의 경우 더 크기 때문으로 판단된다.

• 분석과학
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• 제15권3호
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• pp.236-242
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• 2002

RF 글로우 방전 원자 방출 분광법을 사용하여 다층 도금강판 두께분석을 하였다. 일반적으로 gas jet boosted 글로우 방전은 플라스마 안정성과 스퍼터링 효율이 우수하여 기존의 두께 분석법에서 측정이 어려운 다층 두께분석이 가능하며, RF를 사용하여 비전도성 실리콘-수지계열의 다층 도금강판 두께분석이 가능하였다. RF gas-jet boosted 글로우 방전은 방전전원과 가스 흐름량 그리고 방전압력에 의해 스퍼터링을 조절할 수 있다. 그래서 스퍼터링 효율에 의해 다층 도금된 강판의 경우 소재에 따라 서로 다른 조건에서 측정할 수가 있었다. 본 연구에서 두께 $20{\mu}m$의 아연층을 가진 아연 도금강판의 두께 및 조성을 분석하기 위해서 최적조건에 대한 연구를 하였고, 두 가지 기준물질로 구성된 수지 도금강판을 이용해서 검량선을 측정하였다. 본 연구에 최적조건 및 검량을 하기 위해서 아연합금 도금강판 및 실리콘-수지 도금강판은 포항 산업 과학 기술원(RIST)에서 제공하였다.

• 한국항공우주학회지
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• 제43권8호
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• pp.699-705
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• 2015

항공기가 적은 동력으로 장시간 체공을 하기 위해서는 높은 양항비(Lift Drag Ratio)와 구조경량화가 요구된다. 일반적으로 고고도 장기체공 비행기에는 가로세로비가 큰 날개가 적용된다. 또한 기체의 주요 구조물에 고강도, 고강성 탄소섬유복합재료를 사용하고, 날개의 표피(Skin)에 박막(Membrane) 소재인 얇은 마일러(Mylar)를 사용된다. 그 결과 날개 구조물이 다른 구조물에 비하여 유연해진다. 그리고 박막 소재인 얇은 마일러의 강성이 동적 안정성에 영향을 미치게 된다. 본 연구에서는 비선형 갭(Gap) 요소를 사용하여 마일러의 박막 특성을 모사하였다. 그리고 비선형해석 결과를 이용하여 등가강성을 갖는 선형 쉘(Shell) 요소로 등가모델링 하는 방법을 제시하였다. 선형 등가 쉘 모델은 멤브레인 요소법를 이용한 비선형해석 결과와 비교하여 결과의 타당성을 검증하였다. 제안된 선형등가 쉘 모델은 모드 해석에 적용하여 마일러의 기계적 물성이 고유진동수에 미치는 영향을 평가하였다.

• 한국식품과학회지
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• 제12권4호
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• pp.229-234
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• 1980

라면을 실험실(實驗室) 규모(規模)로 제조(製造)하여 일부(一部)는 Cellophane-PE필름(40 micron)에 (Control), 일부(一部)는 가스 불투과성(不透過性) Nylon-PVC-PE필름(40 micorn)에 탈산소제(脫酸素劑)(Fe-분말형(粉末型)) 및 150 ml의 공기와 함께, 또다른 일부(一部)는 같은 필름에 진공포제(眞空包製)(74 mmHg)하였다. 이상(以上)의 Control 및 시료(試料)를 항온기(恒溫器)$(45.0{\pm}0.5^{\circ}C)$에서 장기저장(長期貯藏)하여 탈산소제(脫酸素劑)의 산소제거능력(酸素除去能力), 각 시료(試料)의 유지성분(油脂成分)의 과산화물(過酸化物)값과 TBA값의 변화(變化)를 조사(調査)하였다. 그 결과(結果)는 다음과 같다. 1. 탈산소제(脫酸素劑)를 사용한 시료(試料)의 경우, 저장(貯藏) 48시간(時間) 후의 포제내(包製內)의 잔존산소량(殘存酸素量)은 포장직후(包裝直後)의 21%에서 0. 5%로 감소하였다. 2. Control, 탈산소제(脫酸素劑)를 사용한 시료(試料) 및 진공포제(眞空包製)한 시료(試料)들의 저장(貯藏) 45일(日) 후의 과산화물값은 $12.4{\pm}0.4$, $5.7{\pm}0.2$와 $6.8{\pm}0.1\;meq/㎏$이었으며, TBA값은 $1.31{\pm}0.04$, $0.60{\pm}0.04$와$0.72{\pm}0.07$로써 Control과 기타 시료(試料)들의 과산화물값 및 TBA값에는 큰 차이가 있었다. 특히 탈산소제(脫酸素劑)를 사용한 시료(試料)의 과산화물값과 TBA값은 Control은 물론(勿論) 진공포제(眞空包製)한 시료(試料)의 경우보다 낮았으며, 따라서 산패(酸敗)에 대해서 더 큰 안전성(安全性)을 갖았었다고 볼 수 있다.

• 대한감각통합치료학회지
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• 제11권2호
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• pp.1-11
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• 2013

목적 : 본 연구는 감각통합중재가 취학 전 자세조절장애 아동의 자세조절과 작업수행(놀이)에 미치는 영향을 알아보고자 하였다. 연구방법 : 대상은 2012년 대한감각통합치료학회 임상과정에 참여한 만 5세 8개월의 남아이다. 평가결과에 따라 치료목표, 치료계획을 제시하였고 11회기 동안 치료가 진행 되었으며 아동의 활동과 적응반응을 기술하였다. 각 회기별 목표를 목표성취척도(Goal Attainment Scale)를 이용해 측정하였으며 2012년 12월 재평가하였다. 결과 : 치료 후기 아동은 배와위굴곡자세를 20초 이상 유지하여 신체근위부 안정성이 향상되었고, 신체활동놀이 한 가지에 지속적으로 주의집중하여 노는 것이 향상되었다. 결론 : 본 연구를 통하여 고유-전정감각 중심의 감각통합 중재가 취학 전 자세조절장애 아동의 자세조절 향상과 함께 작업수행('신체활동놀이')에도 긍정적인 영향을 미치는 것을 알 수 있었다.

• 한국식품조리과학회지
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• 제15권5호
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• pp.500-506
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• 1999

완두 전분입자의 형태 및 완두 복합분의 반죽구조, 조리직후의 복합면의 내부구조를 SEM으로 조사한 결과는 다음과 같다. 완두전분은 타원형으로 그 크기가 불규칙적이고 다른 전분에 비해 크고 구부러지거나 들어간 모양이었다. 95$^{\circ}C$에서 가열하였을 때 완두전분은 부분적으로 중첩되었을 뿐 그 형태는 거의 유지하였다. P20과 C20의 반죽 구조는 밀가루 반죽에서의 큰 전분 입자들이 전체적으로 분포되어 있는 것에 비해 작은 전분입자들이 많아졌으며, P30은 다른 복합분 반죽의 구조보다 좀 더 많고 작은 전분입자들이 엉켜 있었다. 국수를 조리한 직후와 조리한 후 30분이 지난 뒤의 형태 변화를 관찰한 결과 P30과 P20의 조리된 직후의 형태는 각각 상이한 형태를 나타내었고 조리 30분후의 형태도 매우 다르게 나타났다. SEM으로 관찰된 P20과 C20의 구조는 밀가루 반죽과 큰 차이를 보이지 않아 제면시 영향을 주지 않을 것으로 보였으며 P30 역시 P20과 큰 차이를 나타내지 않아 제면적성으로는 문제가 없는 것으로 나타났다. Farinogram에 나타난 P20과 P30은 밀가루와 유사한 반죽시간과 중간정도의 안정도를 보이는 반면에 C20은 짧은 반죽시간과 낮은 안정도를 보였다. 대체로 C20이 P20, P30에 비해 도착시간과 반죽형성시간, 안정도가 짧게 나타났다. 또한 P20은 밀가루와 유사한 안정도와 반죽 저항도(MTI)를 나타냄으로서 제면적성에 적합함을 입증하였다.

• 한국건설순환자원학회논문집
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• 제6권3호
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• pp.207-213
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• 2018

최근 환경오염물질의 배출을 감소시킬 수 있는 순환유동층 보일러가 화력발전시설로서 점차 많이 사용되고 있다. 그러나 순환유동층보일러에서 발생하는 플라이 애시는 낮은 $SiO_2$와 상대적으로 높은 MgO와 $SO_3$ 함유량을 갖고 있으며, 또한 플라이 애시에 포함된 free CaO는 시멘트의 초기팽창 또는 급격한 초기응결을 발생시킬 수 있는 위험이 있다. 따라서 기존의 미분탄연소 (PCC) 플라이 애시와 순환유동층(CFBC) 플래이애시를 콘크리트분야에서 같이 활용할 수 있도록 KSL5405가 개정 발표되었다. 본 연구에서는 PCC와 CFBC 플라이 애시를 사용한 혼합시멘트를 제조하여 화학적성질과 역학적 성질을 분석하였다. CFBC 플라이 애시만을 혼합된 시멘트의 경우에는 OPC와 비교하여 강도는 낮아지는 반면, 높은 경시변화 특성을 나타내었으나, PCC와 CFBC를 혼합한 시멘트의 경우에는 PCC 플라이 애시만을 사용한 경우와 비교하여 강도가 높은 것으로 분석되었다. 실험결과로부터 CFBC 플라이 애시는 재료안전성과 요구되는 재료성능을 확보하기 위해 PCC와 같이 사용하여야 하는 것으로 판단된다.

• Journal of Radiation Protection and Research
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• 제39권2호
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• pp.89-95
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• 2014

원전의 인허가 승인을 위한 사고결말평가에서 경수로는 미국의 규제지침에서 제시한 바와 같이 방사성물질의 지표침적의 고려를 허용하지 않고 있는데 반해 중수로의 규제지침에서는 이의 고려를 허용하고 있다. 이러한 배경에 따라 본 연구에서는 방사성물질의 지표침적에 의한 피폭영향의 민감도를 정량적으로 고찰, 분석하였다. 가상사고 시나리오를 구성하여 Cs-137과 I-131의 환경방출에 따른 총 피폭선량을 평가한 결과, 방사성물질의 지표침적과 이로 인한 공기중 농도의 감손을 고려치 않는 경우에 보다 보수적 결과를 나타냈다. 이는 지표침적에 의한 피폭선량이 총 피폭선량에 미치는 기여는 상대적으로 적은데 비해 지표침적으로 인한 공기중 농도의 감손이 총 피폭선량에 미치는 기여는 상대적으로 크기 때문이다. 대기안정도, 방출기간, 평가거리 등에 따라 차이는 있지만 두 핵종 모두 총 피폭선량에 대해 흡입에 의한 피폭이 90% 이상을 차지했으며, 지표침적에 의한 피폭은 기껏해야 10% 미만을 나타냈다. 지표침적의 고려에 따른 총 피폭선량의 감소는 $^{137}Cs$ 보다는$^{131}I$의 경우에 보다 컸으며, 대기가 안정하고 방출기간이 길수록, 그리고 방출점으로부터 평가지점이 멀수록 감소경향은 보다 뚜렷하게 나타났다.

• Spatial Information Research
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• 제22권3호
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• pp.9-21
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• 2014

공간정보 환경이 최근 플랫폼 중심으로 급격히 전환되고 있다. 플랫폼을 기반으로 공간정보 인프라를 구축할 경우 비용과 시간을 절약할 수 있을 뿐 아니라 공간정보 인프라의 일관성과 안정성을 유지하는데도 기여할 수 있다. 이에 우리나라도 공간정보 오픈플랫폼(V-World)을 구축 운영하고 있으며, 해외 수출 가능성을 모색하고 있다. 이 연구의 목적은 개발도상국가인 캄보디아와 신흥선진국인 아부다비 에미리트의 공간정보 인프라 현황을 구성요소별로 비교하여 국가별 해외 수출 전략을 도출하는데 있다. 캄보디아는 해외 원조를 통해 공간정보 사업을 수행하는 개발도상국이며, 아부다비 에미리트는 풍부한 오일머니의 자금력으로 해외 선진기술과 고급 인력의 적극적인 유치를 통해 공간정보 사업을 수행하는 신흥선진국이다. 이 연구에서는 두 개의 국가별 공간정보의 특성을 고려하여 캄보디아 모델과 아부다비 모델이라는 수출 모델을 정립하고, 각각의 모델에 대한 공간정보 오픈플랫폼 수출 방식과 해외 진출 전략 및 재원조달 방안을 제시하였다.

• 대한기계학회논문집B
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• 제40권7호
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• pp.441-448
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• 2016

프로펠러에 의한 추력은 유체의 유입 속도와 익의 회전속도에 의해 생성되며 그 성능을 전진비, 추력계수, 동력계수와 같은 무차원수로 나타내고 있다. 이 연구에서 회전체의 성능을 분석하기 위한 수치적 방법으로 STL형식의 회전체 형상을 인식할 수 있는 가상경계법을 적용한 격자볼쯔만법을 제안한다. 이 가상경계법으로 프로펠러의 회전에 의한 유동을 구현하기 위해서 프로펠러의 표면 격자점에서 속도와 유동장의 격자점에서 유속의 차를 이용하여 계산한 체적력을 볼쯔만방정식의 외력항으로 적용하게 된다. 제안한 방법을 검증하기 위하여 4개의 익을 가지고 있는 프로펠러를 이용해 레이놀즈수가 100, 500, 1000이고 전진비가 0.2~1.4일 때 유동해석을 수행하였으며 그 결과로 부터 전형적인 프로펠러의 성능특성을 얻을 수 있었다. 높은 레이놀즈수와 전진비를 갖는 유동에서 해석 안정성을 확보하기 위해서는 익의 표면에 구성한 최대 격자의 크기와 유동장에 구성한 격자 크기의 비가 3 이하로 유지해야 하며 충분히 긴 후류영역을 확보할 필요가 있다.