Acceleration sensors have widely been used in the various fields of industry. In recent years, micromachining accelerometers have been developed and commercialized by the micromachining technique or MEMS technique. Typical structure of such sensors consist of a cantilever beam and a vibrating mass fabricated on Si wafers using etching. This study investigates the feasibility of powder blasting technique for microfabrication of sensor structures made of the pyrex glass alternating the existing Si based acceleration sensor. First, as preliminary experiment, effect of blasting pressure, mass flow rate of abrasive and no. of nozzle scanning on erosion depth of pyrex and soda lime glass is studied. Then the optimal blasting conditions are chosen for pyrex sensor. Structure dimensions of designed glass sensor are 2.9mm and 0.7mm for the cantilever beam length and width and 1.7mm for the side of square mass. Mask material is from aluminium sheet of 0.5mm in thickness. Machining results showed that tolerance errors of basic dimensions of glass sensor ranged from 3um in minimum to 20um in maximum. This results imply the powder blasting can be applied for micromachining of glass acceleration sensors alternating the exiting Si based sensors.
Kim, Seon-Hye;Choa, Yong-Ho;Shim, Kwang-Bo;Cho, Byung-Won;Kim, Chang-Sam
한국세라믹학회지
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제41권11호
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pp.793-796
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2004
Process Parameters were studied in synthesis of LiCoO$_2$ Powder by ultrasonic spray Pyrolysis. Concentration of the mixed solution influenced the size, shape, and yield of the synthesized powder. The yield was affected primarily by the height of the solution, and then by the flow rate of a carrier gas. The temperature of the reactor governed the crystallinity and morphology of the powder. LiCoO$_2$ powders were synthesized as a layered high temperature phase above 800$^{\circ}C$. The synthesized powders were sphere and secondary Particles consisted of primary particles of 55-70 nm. The secondary Particles became bigger from 0.28 to 1.43 $\mu\textrm{m}$ as the concentration of the solution was increased from 0.05 to 2.0 M. The 2.0 M solution provided the highest production rate.
The Zn-Al composite electroplating was studied by using chloride zinc bath containing metal hydroxides $(Zn(OH)_2,\;Al(OH)_3))$ and aluminium powder. The size of Al powder codeposited in the beaker bath with Al powder of-400 mesh was under 10${\mu}m$. The Zn-Al composite was electro-deposited at 40$^{\circ}C$ in the ranges of current density of 5-50 A/$dm^2$ in the flowing electrolyte. The content of aluminium particles codeposited increased slightly with increasing flow rate of electrolyte from 0.5 m/sec to 1.0 m/sec, and decreased with increasing current density from 5 A/$dm^2$ to 50 A/$dm^2$. The content of aluminium particles codeposited by using the electrolyte containing zinc hydroxide(0.1M) was 2~4 wt%. The Al powder was codeposited mainly near the surface layer of the electrodeposits. The dissolution rate of aluminium particles in the electrolyte containing 0.1M $Zn(OH)_2$ and Boric acid was 0.41 g/l. day in comparison with 1.5 g/l. day dissolution rate in pure chloride bath.
This study was performed to evaluate the characteristics which are slump, air content and time of set in fresh concrete and compressive strength of hardened concrete containing slag powder and fly-ash. Replacement rate of FA is fixed on 10$\%$ and replacement rate of slag powder are 0$\%$, 20$\%$ and 30$\%$. Also AE water-reducing agents(standard type, accelerating type) are used. The results were as follows. (1)Slump flow of concrete using AE water-reducing agents is similar. Flowability is incresed when replacement rate of slag powder is increased due to slag powder's ball bearing reaction.(2)Time of set of concrete using accelerating type agent is more faster than that of concrete using standard type agent because of ettringite generation that promote setting.(3)Early strength of three-component concrete using accelerating type agent is higher than that using standard type agent. Therefore cumulative pore is reduced due to ettringite
Recently, environmental problems have emerged as a major issue all over the world due to an increase in carbon dioxide(CO2). The amount of CO2 generated during cement production accounts for 6% to 8% of domestic CO2 emissions and a solution to reduce CO2 emissions the construction industry is trying to use mineral admixtures to reduce cement. Since digestion has no firing process the advantage of it is that there is no air pollution to occur. In this study, we studied the compressive strength of binary non-cement mortar containing rice husk powder extracted from digestion by the ratio of 10%, 20%, 30%, 40%. As a result, the table flow was increased when the mixing rate of rice husk powder extracted from digestion was higher, and the highest compressive strength was shown when the rice husk powder extracted from digestion mixing rate was 10%.
This study has focused on the possibility for recycling of tailings from the Sangdong tungsten mine as powder of self-compacting concrete(SCC). The experimental tests for slump-flow, reaching time to the slump-flow of 500mm, V-funnel and U-box were carried out in accordance with the specified by the Japanese Society of Civil Engineering(JSCE). The result of this study, in case of SCC mixed with tailings, slump-flow was decreased with increasing mixing ratio. But reaching time slump-flow of 500mm, V-funnel and U-box were satisfied a prescribed range. The mechanical properties including compressive strength, splitting tensile strength and static modulus of elasticity were checked with the requirements specified by Korean Industrial Standard(KS). The compressive strength of SCC was decreased with increasing replacement, splitting tensile strength and static modulus were similar to those of normal concrete.
Graphite-based electrodes were prepared using synthetic graphite (MCMB 1028) or natural graphite (NG) powder using a dimensionally stable anode (DSA) as a substrate. Their electrochemical properties were investigated in vanadiumbased electrolytes to determine how to increase the durability and improve the energy efficiency of redox flow batteries. Cyclic voltammetry (CV) was performed in the voltage range of -0.7 V to 1.6 V vs. SCE at various scan rates to analyze the vanadium redox reaction. The graphite-based electrodes showed a fast redox reaction and good reversibility in a highly concentrated acidic electrolyte. The increased electrochemical activity of the NG-based electrode for the $V^{4+}/V^{5+}$ redox reaction can be attributed to the increased surface concentration of functional groups from the addition of conductive material that served as a catalyst. Therefore, it is expected that this electrode can be used to increase the power density and energy density of redox flow batteries.
Air drying technology was developed as an equipment for reducing of moisture content from wastewater treatment and waterworks sludge cake and reproducing it by reusable matter. Advantage of cyclone type pneumatic dehydrator is simple and excellent drying performance. The air drying equipment was composed to the air ejector which made high-speed fluid field, and cyclone which made circling fluid field. Dewatered cake was crushed at the high-speed zone as first step, and formed with dried powder of sphere shape by the collision between particles at the circling fluid zone. In this study, a CFD analysis has been performed to predict air-sludge particles flow in cyclone and ejector of pneumatic dehydrator. The computational results showed typical Rankine vortex structure which was frequently found in swirling flow phenomena. And the conical type wedge in lower part of a cyclone prevented accumulation of the sludge particles in the cyclone. Therefore, this technology was effective in drying of dehydrated cake of waterworks sludge.
The objective of this paper is to investigate effects of the specific heat and the diameter of suspending particles on the heat transfer coefficient of two phase turbulent flow with suspension of solid particles in a circular tube with constant heat flux. Heat transfer coefficients of two phase turbulent flow in pipe with suspension of graphite powder were measured with variations of particle sizes and solid-gas loading ratio. Measured data were compared with predictions by numerical analysis in which the turbulece models are closed on the first order level. Results show that heat transfer coefficient increases with increasing the solid-gas loading ratio and the specific heat of suspending material, however, it decreases as the average diameter of particles decreases below $24{\mu}m$.
탄소환원질화법을 이용하여 질화알루미늄(Aluminum Nitride: AlN)을 제조하는 연구를 배치당 0.7 ~ 1.5 kg 규모로 규모 확대하여 수행하였다. 고품위 알루미나 분말과 탄소(carbon black)를 배합하여 흑연 도가니에 장입하고, 노내 진공도 $2.0{\times}10^{-1}Torr$에서 온도($1,550{\sim}1,750^{\circ}C$), 시간(0.5 ~ 4 hr), $N_2$유량($10{\sim}40{\ell}/min$)을 변화시키면서 AlN을 합성하였다. 실험결과 합성온도 $1,700{\sim}1,750^{\circ}C$, 합성시간 3시간, 질소유량 $40{\ell}/min$가 적정 조건이었다. 또한, 합성한 AlN에 잔존하는 탄소를 제거하기 위하여 관상로에서 온도 $650-750^{\circ}C$, 1 - 2시간 범위에서 탈탄을 시킨 결과, 알루미나와 탄소 몰배합비 1 : 3.2 로 합성한 시료를 대기 분위기에서 탈탄온도 $750^{\circ}C$, 관상로의 회전속도 1.5 rpm에서 2시간 탈탄하는 것이 적정조건이었다. 시험 제조한 AlN의 성분 분석 결과 C 함량 835 ppm, O 함량 0.77%으로서 순도 99% 이상의 고품위 제품을 제조할 수 있었다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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