가스터빈 고온부품 소재로 사용되는 Ni기 초합금 CM247LC 소재에 대한 최적 후처리 조건을 도출하기 위해 일방향 응고 주조법을 통한 봉상시험편을 제작하였다. 제작된 시험편은 HIP (Hot Isostatic Pressing) 처리 및 후열처리를 통해 기계적 특성과 미세 구조를 분석하여 최적의 HIP처리 조건을 도출하고자 하였다. CM247LC 소재의 경우 가스터빈 블레이드의 대체 소재로써 시제품 제작을 위한 다양한 연구가 진행되고 있다. 특히 블레이드의 경우 고속의 회전체로 고온 및 고압의 운전 환경에 노출되어 손상 시 후단의 블레이드와 베인에 대해 추가적인 설비 파손을 야기하여 막대한 경제적 손실을 초래할 수 있다. 따라서, CM247LC 소재가 블레이드 시제품 제작에 사용되기 위해서는 미세구조와 기계적 특성에 대한 신뢰성이 확보되어야 한다. 따라서 본 연구에서는 CM247LC 소재에 대한 기계적 특성 향상을 위해 전력연구원에서 설계한 기준에 따라 HIP처리 및 열처리를 수행하고 미세조직 특성 및 기계적 특성 분석을 통해 기존 1,300℃급 가스터빈 블레이드에 소재로 활용되고 있는 GTD111DS 소재와 기계적 특성을 비교 평가하였다.
Currently existing high-accuracy and high-speed die sets used in reciprocal press create scratches at the surface of guide posts, steel balls, and bushes due to vertical movement of balls with point-contacts between inner surface of bushes and guide posts. Consequently, accuracy of the die set and the life span of the metal mold are reduced. However, those scratches could reduce the pre-load of the steel ball. This research designed and developed a groove-type die set which improves life span of the die set by eliminating point-contacts of steel balls with guide posts. The guide post consisted of a steel-ball retainer, a steel-ball retainer stopper, a guide bush, a guide pin, a snap ring, and a spring. The steel-ball retainer has 72 holes with 8 columns of 9 holes in each column. The inner surface of the guide bush was grinded(surface roughness: $Ra\;\\;0.2{\mu}m$, accuracy: $0\;{\sim}\;-0.002mm$) after NC turning and heat treatment. Also, a line of small intermediate pocket was processed inside of the guide bush for lubrication and elimination of foreign materials. Guide grooves of steel balls were processed using a wire EDM(Electrical Discharge Machining) after heat treatment. With such a design of the guide post stated above, loads against steel balls could be dispersed greatly by the line contacts through the guide groove between the guide post and the guide bush, and the life span of the guide post could be expanded semi-permanently.
본 연구에서는 e-beam evaporator를 사용하여 제조한 CoCrTa/CrNi 박막시편의 자성층 두께에 따른 부식특성과 열처리에 따른 부식특성의 변화를 알아보았다. Potentiodynamic scan을 이용하여 알아본 결과, 자성층 두께가 증가함에 따라 부식전위가 낮아지고, 부동태 전류밀도가 감소함을 알 수 있었다. XRD를 이용한 분석결과에 따르면, 이것은 자성층 두께가 증가함에 따라 (100)면보다 수소과전압이 큰 (0002)면으로 우선 성장했기 때문이다. 열처리에 따른 CoCrTa(400$\AA$) 자성박막의 부식특성 변화를 potentiodynamic scan과 accelerated corrosion chamber test를 이용하여 알아본 결과, 열처리후 박막시편의 내부식성이 우수해짐을 알 수 있었다. 이것은 열처리에 의해 자성층위에 Cr 산화물층이 형성되고, 이 산화물층이 자성층의 보호막으로 작용했기 때문이다.
Thin copper films were grown by electrodeposition on copper seed layers which were grown by sputtering of an ultra-pure copper target on tantalum nitride-coated silicon wafers and subsequently, cleaned in ECR plasma. The copper films were then subjected to ⅰ) vacuum annealing, ⅱ) rapid thermal annealing (RTA) and ⅲ) rapid thermal nitriding (RTN) at various temperatures over different periods of time. XRD, SEM, AFM and resistivity measurements were done to ascertain the optimum heat treatment condition for obtaining film with minimum resistivity, predominantly (111)-oriented and smoother surface morphology. The as-deposited film has a resistivity of ∼6.3 $\mu$$\Omega$-cm and a relatively small intensity ratio of (111) and (200) peaks. With heat treatment, the resistivity decreases and the (111) peak becomes dominant, along with improved smoothness of the copper film. The optimum condition (with a resistivity of 1.98 $\mu$$\Omega$-cm) is suggested as the rapid thermal nitriding at 400oC for 120 sec.
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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제25권2호
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pp.409-409
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2001
해양구조물은 점점 대형화되어 가고 있는 추세에 있으며 또한 이들 구조물의 대형화에 따른 구조물의 보수, 유지관리가 매우 중요한 사안으로 등장하게 되었다. 뿐만 아니라, 이러한 구조물 등이 손상또는 파괴되었을 경우는 그에 따른 인적, 경제적 손실 또한 막대할 것으로 사료되며 이러한 구조물의 파괴사례중 상당 부분이 용접부의 부식문제 및 수소취화와 관련된 사고인것으로 보고되고 있다. 한편 용접은 급속가열, 급속냉각의 공적으로 인한 경도와 열적, 조직적 변화를 일으켜 용접부 각 미세부위별 전위차가 발생하게 되며, 이로 인해 갈바낙부실을 일으키는 것으로 보고 있다. 그리고 갈바닉 부식에 의한 용접부의 부식성을 억제하기 위해 용접후열처리(post weld heat treatment PWHT)를 시행하여 내식성을 향상시키는 경우도 있다. 본 연구에서는 고장력강인 RE36강 시험편을 전기화학적 측면에서 최적의 용접후열처리 온도를 규명하였으며, 용접방법(FCAW, SMAW), 용접후 열처리 유무에 따른 용접부위의 저변형을 인장실험을 통한 기계적 특성, 전기화학적 특성 및 수소취화 감수성을 등을 규명하였다. 따라서 본 연구 결과는 해양구조물 선박의 설계시공시에 용접부 주위의 기계적. 전기화학적 특성 평가 및 수소취화 방지대책에 좋은 참고자료가 될 것으로 기대된다.
The ZTO single layer and ZTO/Ag/ZTO tri-layer films were deposited on glass substrates by using the radio frequency (RF) and direct current (DC) magnetron sputtering and then rapid thermal annealed (RTA) in a low pressure condition for 10 minutes at 150 and $300^{\circ}C$, respectively. As deposited tri-layer films show the 81.7% of visible transmittance and $4.88{\times}10^{-5}{\Omega}cm$ of electrical resistivity, while the films annealed at $300^{\circ}C$ show the increased visible transmittance of 82.8%. The electrical resistivity also decreased as low as $3.64{\times}10^{-5}{\Omega}cm$. From the observed results, it is concluded that rapid thermal annealing (RTA) is an attractive post-deposition process to optimize the opto-elecrtical properties of ZTO/Ag/ZTO tri-layer films for the various display applications.
$SnO_2$ thin films were prepared by radio frequency magnetron sputtering on glass substrates and then vacuum annealed for 30 minutes at 100, 200, and $300^{\circ}C$, respectively. The thickness of films kept at 100 nm by controlling the deposition rate. While the optical transmittance and electrical resistivity of as deposited $SnO_2$ films were 82.6% in the visible wavelength region and $1.9{\times}10^{-3}{\Omega}cm$, respectively, the films annealed at $200^{\circ}C$ show the increased optical transmittance of 84.5% and the electrical resistivity also decreased as low as $8.5{\times}10^{-4}{\Omega}cm$. From the observed results, it is concluded that post-deposition vacuum annealing at $200^{\circ}C$ is an attractive condition to optimize the opto-elecrtical properties of $SnO_2$ thin films for the opto-electrical applications.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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