• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2006년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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• pp.103-104
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• 2006

$Pb(Zr,Ti)O_3(PZT)$ is very attractive ferroelectric materials for ferroelectric random access memory (FeRAM) applications because of its high polarization ability and low process temperature. However, Chemical Mechanical Polishing (CMP) pressure and velocity must be carefully adjusted because FeRAM shrinks to high density devices. The contaminations such as slurry residues due to the absence of the exclusive cleaning chemicals are enough to influence on the degradation of PZT thin film capacitors. The surface characteristics of PZT thin film were investigated by the change of process parameters and the cleaning process. Both the low CMP pressure and the cleaning process must be employed, even if the removal rate and the yield were decreased, to reduce the fatigue of PZT thin film capacitors fabricated by damascene process. Like this, fatigue characteristics were partially controlled by the regulation of the CMP process parameters in PZT damascene process. And the exclusive cleaning chemicals for PZT thin films were developed in this work.

• 한국정밀공학회지
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• 제33권3호
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• pp.167-172
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• 2016

The computer controlled optical surfacing (CCOS) technique provides superior fabrication performance for optical mirrors when compared to the conventional method, which relies heavily on the skill of the optician. The CCOS technique provides improvements in terms of mass production, low cost, and short polishing time, and are achieved by estimating and controlling the moving speed of the tool and toolpath through a numerical analysis of the tool influence function (TIF). Hence, the exact estimation of various TIFs is critical for high convergence rates and high form accuracy in the CCOS process. In this paper, we suggest a new model for TIFs, which can be applied for various tool shapes, different velocity distributions, and non-uniform tool pressure distributions. Our proposed TIFs were also verified by comparisons with experimental results. We anticipate that these new TIFs will have a major role in improving the form accuracy and shortening the polishing time by increasing the accuracy of the material removal rate.

• Nuclear Engineering and Technology
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• 제51권3호
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• pp.877-883
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• 2019

Superconducting multi-spoke cavities are outstanding alternative choice for acceleration of heavy ions in medium velocity regimes. Based on the scheme of China ADS, several researches on the superconducting double-spoke cavities were done and two prototype cavities have been developed. In this paper, the RF design, the mechanical design and fabrication considerations of the bare cavity will be described in detail. After Buffered Chemical Polishing and High Pressure Rinsing, one of the prototype cavities was installed into the Vertical Test Stand for high gradient RF testing at 4.2 K. The measurement results of the quality factor as a function of the accelerating field and the maximum surface field will be presented. An accelerating gradient of more than 15 MV/m is achieved during the test, with maximum surface electric field of 58 MV/m, and maximum surface magnetic field of 117 mT.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제19권6호
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• pp.160-166
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• 2018

세계적으로 반도체장비 시장은 오래전부터 성장하고 있다. 유체제어시스템은 반도체 제조 장비에 사용되어지는 배관을 집적화시켜 유체의 공급을 제어할 수 있도록 모듈화, 소형화한 시스템이다. 반도체의 제조공정은 여러 종류의 맹독성 가스를 필수적으로 다루어야 한다. 특히 실제 작업 공정에서는 이러한 맹독성 가스의 정밀한 제어가 필요하다. 이러한 맹독성가스를 제어하는 시스템은 피팅, 밸트, 튜브, 필터, 레귤레이터 등 다양한 부품들로 구성되어 있다. 이 부품들은 누출 없이 고압 가스를 계속 제어해야 하기 때문에 정밀하게 제조되어야 하고 내부식성이 있어야 한다. 이를 위해 금속 블록 및 금속 가스킷의 표면 가공 및 경화 기술을 연구해야 한다. 본 논문에서는 이러한 유체제어시스템에서 가장 기본이 되는 V-Block의 직경, 유량, 각도를 다르게 설계하여 내부에서 어떠한 유동흐름을 보이는지 파악하고자 하며, 유체제어시스템에서 가장 기본이 되는 유체제어벨브 시스템의 내부 유동해석을 통하여 안정적인 유량을 공급할 수 있는 설계의 최적화에 대해 연구하고 분석하였다.

• Transactions on Electrical and Electronic Materials
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• 제8권1호
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• pp.5-10
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• 2007

Using a reference slurry, ammonium dodecyl sulfate (ADS), an anionic and environmentally friendly surfactant, was investigated as an alternative to BTA for its inhibition and lubrication characteristics. Results demonstrated that the inhibition efficiency of ADS was superior to that of BTA. Coefficient of friction (COF) was the lowest when the slurry contained ADS. This suggested that adsorbed ADS on the surface provided lubricating action thereby reducing the wear between the contacting surfaces. Temperature results were consistent with the COF and removal rate data. ADS showed the lowest temperature rise again confirming the softening effect of the adsorbed surfactant layer and less energy dissipation due to friction. Spectral analysis of shear force showed that increasing the pad-wafer sliding velocity at constant wafer pressure shifted the high frequency spectral peaks to lower frequencies while increasing the variance of the frictional force. Addition of ADS reduced the fluctuating component of the shear force and the extent of the pre-existing stick-slip phenomena caused by the kinematics of the process and collision event between pad asperities with the wafer. By contrast, in the case of BTA, there were no such observed benefits but instead undesirable effects were seen at some polishing conditions. This work underscored the importance of real-time force spectroscopy in elucidating the adsorption, lubrication and inhibition of additives in slurries in CMP.

• 한국물환경학회지
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• 제22권2호
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• pp.222-229
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• 2006

The treatment performance and operational parameters of a tertiary wastewater treatment process a biological filtration system were investigated. The biological filtration system consisted of a nitrification filter (Fiter 1) and a polishing filter with anoxic and aerobic parts (Filter 2). SS, T-C-BOD, and T-N in effluent were kept stable at less than 3, 5 mg/L, and 5 mgN/L, respectively, under a HRT in Filter (filter-bed) of 0.37~2.3 h. T-N at the outlet of Filter 2 were about 1~5 mgN/L under the condition of LV of 50~202 m/d. In Filter 2, denitrification was accomplished under LV of 50~168 m/d in a 1 m filter-bed. However, the denitrification capacity reached the maximum when the linear velocity was increased to 202 m/d. Relationship between increase in microorganism and headloss was clearer in Filter 2. As a result, the denitrification rate increased from 1.0~2.3 kgN/($m^3-filter-bed{\cdot}d$) as the headloss increased. The COD removal rate was 6.0~9.6 kgCOD/($m^3-filter-bed{\cdot}d$) when operated with Filters 1 and 2. These results mean that captured bacteria contributed a part of COD consumption and denitrification. The maximum nitrification and denitrification rate was 0.5 and 4 kgN/($m^3-filter-bed{\cdot}d$) in Filter 1 and 2.The ratio of backwashing water to the treated water was about 5~10 %. In Filter 1, wasted sludge in backwashing was only 0.7~5.3 gSS/($m^3$-treated water). In Filter 2, added methanol was converted into sludge and its value was 8.0~24 gSS/($m^3$-treated water). These results proved that this process is both convenient to install as tertiary treatment and cost effective to build and operate.

• 대한환경공학회지
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• 제34권2호
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• pp.91-96
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• 2012

본 연구에서는 하천의 수질오염물질을 처리하는 다단식 토양여과 시스템의 주요 운전인자인 여재 충전깊이, 선속도 및 연속 또는 간헐운전이 오염물질의 제거에 미치는 영향을 살펴보았다. 여재 충전깊이의 증가는 오염물질과 여재와의 접촉시간을 증가시켜 모든 항목의 제거효율을 증가시키는 역할을 하였다. 특히 물리화학적 제거에 기인하는 TP와 $NH_4$-N 항목의 제거효율이 상부의 생물학적 활성층에서의 제거에만 주로 기인하는 COD에 비하여 더 큰 증가를 보였다. 한편 선속도의 증가는 여재 내에서의 체류시간을 감소시키는 역할을 함에 따라 전반적인 제거효율의 저하를 가져왔으며, 특히 전체 여재층에 걸친 접촉시간에 영향을 받는 TP와 $NH_4$-N 항목에 비하여 표층부의 생물학적 제거에만 기인하는 COD의 경우는 상대적으로 큰 영향을 받는 것으로 나타났다. 따라서 오염물질의 효율적인 제거를 위해서는 체류시간을 증가시키는 방향으로 운전인자들을 조절하는 것이 중요할 것으로 판단된다. 연속운전과 간헐운전으로 운전방법을 달리하는 것은 모든 항목에서 큰 영향을 미치지는 않았으나, 안정적 운전을 위해서는 생물학적 조건의 유지와 막힘 현상의 가속화 등을 고려할 필요가 있다.

• 한국지반환경공학회 논문집
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• 제15권6호
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• pp.17-29
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• 2014

경기도 ${\bigcirc}{\bigcirc}$지역 군 사격장에서 환경으로 유출되는 화약물질 현장저감시설의 설계 자료 확보를 위해 토양오염조사를 실시하였다. 설계에 필요한 자료는 (i) 주 오염 화약물질 종류 파악, (ii) 배출/이동 경로, (iii) 토양 입경별 화약물질 농도조사 및 침강특성이다. 현장 조사 및 분석결과, TNT와 RDX가 사격장 토양에서의 주 오염물질이지만, 군 훈련 종류와 사격장 지형에 따라 오염도는 변화하였다. 화약물질은 표토이외의 심토와 인근 개울에서도 검출되어, 피탄지에서 하천으로의 유출이 있음을 확인하였다. 피탄지에 화약물질 농도가 높은 hot spot이 다수 존재하였으나, 전반적으로 오염농도가 20 mg/kg을 넘지는 않았다. 피탄지 토양 내 점토 함량은 대조군 12 %에 비해 현저히 낮은 5 % 미만이며, 이는 사격으로 인해 식피가 제거되어 강우 시 토사의 표면유출이 증가하였기 때문이라 판단된다. 토양 입경별 화약물질 분포 분석 결과, 토양 입경 0.075 mm 미만의 세립토에는 화약물질 총량의 약 10 % 이하만이 존재하였다. 침강관 실험결과, 유출수 내 액상으로 유출되는 화약물질량이 고상에 있는 화약물질량보다 많았다. 그러므로 사격장에서 표면 유출되는 강수 내 입자상 물질을 간단한 침전지로 처리하고, 다음으로 정화식물을 식재한 인공습지로 액상 내 화약물질을 처리하는 방안이 자립적이며 지속적으로 유지 가능한 녹색 정화방법이 될 것이다.