대한전자공학회 2001년도 The 6th International Symposium of East Asian Resources Recycling Technology
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pp.259-263
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2001
There are several steps such as slicing, lapping, chemical etching and mechanical polishing in the silicon wafer production process. The chemical etching step is necessary to remove damaged layer caused In the slicing and lapping steps. The typical etching liquor is the acid mixture comprising nitric acid, acetic acid and hydrofluoric acid. At present, the waste acid is treated by a neutralization method with a high alkali cost and balky solid residue. A solvent extraction method is applicable to separate and recover each acid. Acetic acid is first separated from the waste liquor using 2-ethlyhexyl alcohols as an extractant. Then, nitric acid is recovered using TBP(Tri-butyl phosphate) as an extractant. Finally hydrofluoric acid is separated with the TBP solvent extraction. The expected recovered acids in this process are 2㏖/l acetic acid, 6㏖/1 nitric acid and 6㏖/l hydrofluoric acid. The yields of this process are almost 100% for acetic acid and nitric acid. On the other hand, it is important to recover and reuse the metal values contained in various industrial wastes in a viewpoint of environmental preservation. Most of industrial products are made through the processes to separate impurities in raw materials, solid and liquid wastes being necessarily discharged as industrial wastes. Chemical methods such as solvent extraction, ion exchange and membrane, and physical methods such as heavy media separation, magnetic separation and electrostatic separation are considered as the methods for separation and recovery of the metal values from the wastes. Some examples of the application of solvent extraction to the treatment of wastes such as Ni-Co alloy scrap, Sm-Co alloy scrap, fly ash and flue dust, and liquid wastes such as plating solution, the rinse solution, etching solution and pickling solution are introduced.
본 연구에서는 최근 원자력 발전소에서 이종금속용접 접합 소재로 많이 사용되고 있는 SA 508과 Type 304 스테인리스강의 이종금속 용접잔류응력 분포특성을 살펴보기 위하여 이종금속 용접시편을 제작하여 직접 용접을 실시하고 X-선 회절법을 이용하여 용접시험편의 표면에서 용접 잔류응력을 측정하였다. 또한 3차원 유한요소해석을 통하여 이종금속 맞대기용접을 전산모사하고 시편의 용접잔류응력 분포를 구하였다. 측정한 잔류응력과 유한요소해석 결과 계산된 잔류응력을 고찰함으로써 3차원 평판 이종금속 맞대기 용접부의 잔류응력분포 특성을 살펴보았다.
본 연구에서는 316L 스테인리스강 테스트 시편으로 직선 슬롯(slot) 용접을 수행하고 X-선 회절법을 이용하여 용접 잔류응력을 측정하였다. 또한 3차원 유한요소해석을 통하여 슬롯용접을 모사하고 시편의 용접잔류응력 분포를 구하였다. 슬롯용접은 용접잔류응력 특성을 고찰하는데 있어 맞대기 용접에 비하여 고려할 변수가 적으며, 용접 시작부터 종료까지 용접잔류응력 분포 특성을 쉽게 파악할 수 있는 장점이 있다. 테스트 시편의 표면에서 용접잔류응력을 용접 시작부와 중간부분, 종료부의 세 위치에서 측정값과 해석값을 비교하였고 용접잔류응력 분포특성을 고찰하였다. 유한요소해석 결과로부터 시편 내부의 용접잔류응력 분포특성을 살펴보았다.
A light beam reflected from a machined surface generally containes information concerning about its surface roughness. This study examines and proposes a surface roughness measurement technique for on-machine measurement of machined surfaces. The technique is based on the measurement of a reflected laser beam pattern and the statistical analysis of its light intensity distribution. The surface roughness was found to be closely related to the standard deviation of the light intensity on the primary axis of the reflected pattern. An image acquisition device is made up of a laser diode, a half mirror, a screen, and a CCD camera. The exact image with the primary and secondary axes of a reflected laser beam pattern is calculated through such image processing algorithm as thresholding, edge detection, image rotation, segmentation, etc. A median filter and a surrounding light correction algorithm are improve the image quality and reduce the measuring error. Using the developed measuring device the effect of screen materials and workpiece and workpiece materials was investigated. Experimental results regarding to relatively high-quality surfaces machined by grinding, polishing, lapping processes have shown the measurement error is within 10% in the range of $0.1{mu}m~0.8{\mu}m R_q.$Therefore, the proposed method is thought to be effectively used when quick measurements is needed with workpieces fixed on the machine.
Boron-doped diamond (BDD) electrode has an extremely wide potential window in aqueous and non-aqueous electrolytes, very low and stable background current and high resistance to surface fouling due to weak adsorption. These features endow the BDD electrode with potentially wide electrochemical applications, in such areas as wastewater treatment, electrosynthesis and electrochemical sensors. In this study, the characteristics of the BDD electrode were examined by scanning electron microscopy (SEM) and evaluated by accelerated life test. The effects of manufacturing conditions on the BDD electrode were determined and remedies for negative effects were noted in order to improve the electrode lifetime in wastewater treatment. The lifetime of the BDD electrode was influenced by manufacturing conditions, such as surface roughness, seeding method and rate of introduction of gases into the reaction chamber. The results of this study showed that BDD electrodes manufactured using sanding media of different sizes resulted in the most effective electrode lifetime when the particle size of alumina used was from $75{\sim}106{\mu}m$ (#150). Ultrasonic treatment was found to be more effective than polishing treatment in the test of seeding processes. In addition to this, BDD electrodes manufactured by introducing gases at different rates resulted in the most effective electrode lifetime when the introduced gas had a composition of hydrogen gas 94.5 vol.% carbon source gas 1.6 vol.% and boron source gas 3.9 vol.%.
본 논문은 Si기판 직접접합기술과 전기화학적 식각정지를 이용하여 마이크로 시스템용 매몰 공동을 갖는 SOI 구조물의 일괄제조에 대한 새로운 공정기술에 관한 것이다. 저비용의 전기화학적 식각정지법으로 SOI의 정확한 두께를 제어하였다. 핸들링 기판 위에서 Si 이방성 습식식각으로 공동을 제조하였다. 산화막을 갖는 두 장의 Si기판을 직접접합한 후, 고온 열처리($1000^{\circ}C$, 60분)를 시행하고 전기화학적 식각정지로 매몰 공동을 갖는 SDB SOI 구조를 박막화하였다. 제조된 SDB SOI 구조물 표면의 거칠기는 래핑과 폴리싱에 의한 기계적인 방법보다도 우수했다. 매몰 공동을 갖는 SDB SOI 구조는 새로운 마이크로 센서와 마이크로 엑츄에이터에 대단히 효과적이며 다양한 응용이 가능한 기판으로 사용될 것이다.
The purpose of this study was to observe corrosion characteristics of six dental amalgams and was to analyse corrosion products electrochemically. After each amalgam alloy and Hg was triturated as the direction of the manufacturer by using mechanical amalgamator, the triturated mass was inserted into the cylinderical metal mold ($12{\times}10mm$) and was condensed with 160kg/$cm^2$ by using the hydrolic press. The specimen was removed from the mold and was stored at room temperature for 1 week, and was polished with amalgam polishing kit. The anodic and cathodic polarization curve was obtained by using cyclic voltammetric method with 3-electrode potentiostat in saline for each amalgam and Ag, Sn, Cu plate specimen at $37{\pm}0.5^{\circ}C$. The potential sweep range was -1.7V~0. 4V(vs SCE) in working electrode and scan rate was 50mV/s and the exposed surface area of each specimen to the electrolytic solution was $0.79cm^2$. The results were as follows. 1. In anodic-cathodic polarization curve of amalgam specimens, two anodic current rising areas and two cathodic current peaks were obtained at the low Cu amalgam(CF, CS) specimen and three anodic current rising areas and three cathodic current peaks were obtained at the high Cu amalgam (TY, DS, HV) specimen. 2. As this compared with the anodic and cathodic current peak potentials of Sn, Cu and Ag specimen, the first cathodic current peak I c was caused by the reduction of divalent tin salt, second cathodic current peak IIIc results from the reduction of quadravalent tin salt, and third cathodic current peak me results from the reduction of copper salt. 3. As reverse potential sweeping was done repeatedly, anodic current was decreased slightly in all amalgam specimens.
Compared to one made of glass, an aluminum mirror features light weight, compact design, low cost, and quick manufacturing. Reflective mirrors and supporting structures can be made from the same material, to improve the athermal performance of the system. With the rapid development of ultraprecise machining technologies, the field of applications for aluminum mirrors has been developed rapidly. However, most of them are rotationally symmetric in shape, and are used for infrared applications. In this paper, the design and manufacture of an off-axis aluminum mirror used for a three-mirror-anastigmat (TMA) optical system at visible wavelengths is presented. An optimized, lightweight design provides a weight reduction of more than 40%, while the surface deformation caused by earth's gravity can meet the required tolerance. The two pieces of an off-axis mirror can be diamond-turned simultaneously in one setup. The centrifugal deformation of the off-axis mirror during single-point diamond turning (SPDT) is simulated through the finite-element method (FEM). The techniques used to overcome centrifugal deformation are thoroughly described in this paper, and the surface error is reduced to about 1% of the original value. After post-polishing, the form error is $1/30{\lambda}$ RMS and the surface roughness is better than 5 nm Ra, which can meet the requirements for visible-light imaging.
PURPOSE. The aim of this study was to evaluate effect of different surface treatment methods on the bond strength between aged composite-resin core and luting agent. MATERIALS AND METHODS. Seventy-five resin composites and also seventy-five zirconia ceramic discs were prepared. 60 composite samples were exposed to thermal aging (10,000 cycles, 5 to $55^{\circ}C$) and different surface treatment. All specimens were separated into 5 groups (n=15): 1) Intact specimens 2) Thermal aging-air polishing 3) Thermal aging- Er:YAG laser irradiation 4) Thermal aging- acid etching 5) Thermal-aging. All specimens were bonded to the zirconia discs with resin cement and fixed to universal testing machine and bond strength testing loaded to failure with a crosshead speed of 0.5 mm/min. The fractured surface was classified as adhesive failure, cohesive failure and adhesive-cohesive failure. The bond strength data was statistically compared by the Kruskal-Wallis method complemented by the Bonferroni correction Mann-Whitney U test. The probability level for statistical significance was set at ${\alpha}$=.05. RESULTS. Thermal aging and different surface treatment methods have significant effect on the bond strength between composite-resin cores and luting-agent (P<.05). The mean baseline bond strength values ranged between $7.07{\pm}2.11$ and $26.05{\pm}6.53$ N. The highest bond strength of $26.05{\pm}6.53$ N was obtained with Group 3. Group 5 showed the lowest value of bond strength. CONCLUSION. Appropriate surface treatment method should be applied to aged composite resin cores or aged-composites restorations should be replaced for the optimal bond strength and the clinical success.
The purpose of this study is to evaluate the effect of additional enamel etching with phosphoric acid on the microleakage of the adhesion of self-etching primer system. Class V cavity($4mm{\times}3mm{\times}1.5mm$) preparations with all margins in enamel were prepared on buccal surface of 42 extracted human upper central incisor teeth. Prepared teeth were randomly divided into 3 groups. Group 1:no additional pretreatment with 37% phosphoric acid (NE). Group 2:additional pretreatment with 37% phosphoric acid for 10 seconds (E10s). Group 3:additional pretreatment with 37% phosphoric acid for 20 seconds (E20s). The adhesives(Clearfil SE $Bond^{\circledR}$, Kuraray, Osaka, Japan) and composite resins(Clearfil $AP-X^{\circledR}$, Osaka, Kuraray, Japan) were applied following the manufacturer's instructions. All the specimens were finished with the polishing disc(3M dental product, St Paul, MN, USA), thermocycled for 500 cycles between $5^{\circ}C$ and $55^{\circ}C$ and resected apical 3-mm root. 0.028 stainless steel wire was inserted apically into the pulp chamber of each tooth and sealed into position with sticky wax. Surrounding tooth surface was covered with a nail varnish 2 times except areas 1mm far from all the margins. After drying for one day, soaked the samples in the distilled water. Microleakage was assessed by electrochemical method(System 6514, $Electrometer^{\circledR}$), Keithley, USA) in the distilled water. In this study, the microleakage was the lowest in group 1 (NE) and the highest in group 3(E20s)(NE
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[게시일 2004년 10월 1일]
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