슬러리 종류에 따른 $SnO_2$ 박막의 광역평탄화 특성
(CMP properties of $SnO_2$ thin film by different slurry)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2004년도 하계학술대회 논문집 Vol.5 No.1
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- pp.389-392
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- 2004