The semiconductor, which is precision product, requires many inspection processes. The surface conditions of the semiconductor chip affect on the functions of the semiconductors. The defects of the chip surface are cracks or voids. As general inspection method requires many inspection procedure, the inspection system which searches immediately and precisely the defects of the semiconductor chip surface is required. We suggest the detection algorithm for inspecting the surface defects of the semiconductor surface. The proposed algorithm first regards the semiconductor surface as random texture and point spread function, and secondly presents the character of texture by linear estimation theorem. This paper assumes that the gray level of each pixel of an image is estimated from a weighted sum of gray levels of its neighbor pixels by linear estimation theorem. The weight coefficients are determined so that the mean square error is minimized. The obtained estimation window(two-dimensional estimation window) characterizes the surface texture of semiconductor and is used to discriminate the defects of semiconductor surface.
광학설계 시리즈 마지막회로 3. 광학설계의 평가를 게재한다. (7월호-1. 광학계의 형상설계, 9월호-2. 광학설계의 최적화 기법) 광학계의 수차 평가(Spot Diagram Analysis, 파면수차) 및 광학계의 결상특성 평가(Point Spread Function, Optical Transfer Function)에 사용되는 일반적인 방법에 대하여 정리하였다. 지금까지 소개했던 시리즈가 광학실무 종사자들에게 조금이라도 도움이 되기를 바란다.
Pre-launch calibration data have been analyzed for evaluating the point spread function (PSF) of Yohkoh Soft X-ray Telescope (SXT). Especially, it is found crucial that the effect of undersampling should be treated properly. The best fit solution of the SXT PSF, which is modeled by an elliptical Moffat function, has been derived by the comparison with the ground experiment data. In order to examine the off-axis variation of the SXT PSF, we need to define in advance the location of the optical axis on the CCD. According to the previous studies, the off-axis variation of effective area (the vignetting function) may be approximated either by two non-concentric cones or by a cone with some flat distortions. There have been, however, no fully approved representations for the SXT vignetting effect. The effect of the shift of the optical axis from the geometrical center of the telescope is investigated by numerical simulation. It is revealed from our study that the full width at half maximum (FWHM) of the SXT PSF stays nearly constant within an error bound over the central area of the CCD where the solar disk is located.
Today, much terminologies such as noise spectrum, Sharpness, contrast, MTF had been defined for Image quality revaluation of radiation Image. Since development of Xeroradiography In the 1970s, Digital radiation detector that use amorphous selenium was developed. The aim of this research is to analyze physical phenomenon of digital radiation detector that use amorphous selenium. Result of Monte Carlo simulations on amorphous selenium based on physical properties(creation of electron-hole pairs) by induced x-ray are described. From the simulation, intrinsic point spread function(PSF) was found and used to observe modulation transfer function(MTF). We investigated how PSF and MTF changed with various x-ray energy. This result can be used to design digital x-ray detector based on a-Se.
NEMA IEC body phantom으로 PET/MR 스캐너를 이용해 MR 영상 기반의 감쇠보정 된 PET 영상을 얻고, 반복재구성 기반의 점 확산 함수(PSF)에 적용 유무에 따라 PET 영상을 Contrast recovery 와 SNR 의 평가 인자를 적용해 평가하였다. 또한, 동일한 재구성 방법에 따라 본원의 내원한 환자의 영상도 평가하였다. 데이터는 임상환자 와 팬텀 실험 모두 PSF를 적용해 재구성한 영상이 모두 영상의 질이 향상됨을 확인하였다. MR 기반으로 얻어진 PET 영상 평가가 추후에도 계속해서 필요하다고 사료된다.
점확산 함수(point spread function: PSF)의 정확한 주정은 복원결과가 원 영상에 얼마나 근접할 수 있는가를 결정한다는 점에서 영상처리의 중요한 연구 주체중의 하나가 된다. 본 논문에서는 PSF를 추정하기 위한 새로운 알로리즘을 제안하고, 이를 영상복원에 적용한 후 이를 기반으로 완전 디지털 자동초점 시스템을 제안한다. 자동초점시스템을 구현하기 위한 과정은 두 단계로 구성되어 있는데, 즉 에지 분류을 통한 PSF측정과, 이를 이용한 영상복원이다. 보다 구체적으로, 입력 영상을 다수의 소 영상 혹은 블록으로 분할한 뒤, 에지를 포함하고 있는 블록들로부터 단위계단응답을 구하여 평균한 후, 2차원 등방성 PSF를 추정한다. 마지막으로 추정된 PSF를 사용하여 영상복원을 수행함으로써 맞는 영상을 구한다.
MTF(modulation transfer function)는 광학 시스템의 성능을 평가하기 위하여 사용되는 중요한 파라미터 중 하나이다. 또한 열악한 우주 환경(방사능, 극한 열조건 및 전자기장 등), 대기 영향 및 시스템 성능의 저하 등으로 저하된 영상품질을 복원시켜주기 위한 파라미터로 사용될 수도 있다. 본 논문에서는 소형 지구관측위성인 DubaiSat-1이 발사된 후, 위성영상의 품질을 평가하기 위하여 MTF를 측정하였다. 일반적으로 MTF는 point source 혹은 knife-edge 방법 등과 같은 다양한 방법을 이용하여 측정되어왔다. 그러나 본 논문에서는 ISO에서 line source에 의한 MTF 측정을 표준화한 slanted-edge 방법을 이용하여 MTF를 측정하였다. Slanted-edge 방법은 전자 스틸 카메라(electronic still-picture camera)의 MTF를 측정하기 위한 ISO 12233 표준으로써, 라인스캐닝 망원경(line-scanning telescope)의 MTF를 추정하기 위하여 사용된 방법이다. 또한 PSF(point spread function) 기반으로 제작된 MTF 회선 커널(MTF convolution kernel)에 의한 MTF 보상(MTF compensation)과 영상의 노이즈 제거(image denoising)를 수행하여 영상의 품질 저하(degradation)를 완화시켰다.
Defocussed된 정지화상은 그 PSF(point spread fufction)이 rectangular 혹은 Gaussian등의 2차함수가 되며 이것과 입력화상과의 convolution으로 모델링 할 수 있음이. 알려져 있다. 그런데 이를 TV카메라의 주사선을 이용한 analog 방식으로 개선코자 할 경우에는 매 수평주사선에 관한한 1차원적인 처리가 가능하며 이 defocussed된 화상은 원래의 화상과 일정한 폭을 가진 펄스와의 수평방향으로 convolution된 결과로 해석 할 수 있음을 밝혔다. 또한 TV 카메라의 analog compound high pass filter를 사용한 복구 실험으로써 현저히 개선된 사진을 얻을 수 있있다.
방사선영상의 충실도를 저하시키는 것에는 여러가지 물리적현상이 있다. 가장 보편적인 저하타입은 해상력의 상실과 노이즈의 증가이다. 본 논문은 해상력과 해상력에 미치는 인자, 그리고 그 인자들의 특성을 다룬다. 영상을 흐리게 하는 일반적인 현상때문에 생기는 해상력 상실을, 일차원및 이차원 신호를 대상으로 그림과 수학으로 설명한다. 점분산함수, 선분산함수, 컨볼루션 적분함수및 모둘전달함수등을 논의한다. 또한 퓨리에 변환을 사용해서 주파수영역의 연산개념을 언급한다.
Digital Radiography(DR) 시스템은 임상현장에서 아날로그 시스템을 대체하고 널리 이용되고 있다. DR을 이용하여 얻어진 X선 영상의 해상력을 결정짓는 요소에는 이용되는 검출기의 고유 해상력, 피사체의 대조도 및 특성, X선 선질, X선원의 산란, DR 검출기의 성능, X선 변환효율 및 초점의 크기, 피사체의 움직임 등이 있다. DR 검출기를 구성하는 요소에는 X선 포획 요소, 커플링 요소, 정보수집 요소가 있는데 이들은 시스템의 성능에 영향을 미치며, 그 성능은 해상력으로 평가된다. 의료영상 시스템의 해상력은 촬영대상물의 조직 간의 해부학적 영상을 구분하는 능력을 나타낸다. 해상력 평가를 위해 Modulation Transfer Function(MTF)이 보편적으로 이용되고, MTF는 입력 공간주파수 성분에 대한 출력 공간주파수 성분의 비를 나타내는데, 수학적으로 MTF는 Point Spread Function(PSF) 입력에 대한 시스템의 주파수 응답이며 Edge Phantom을 이용한 결과 영상에서 추출된 Line Spread Function(LSF)을 Fourier Transform하면 얻을 수 있다. 일반적으로 임상현장에서 의료영상시스템의 이용 및 관리의 책임은 방사선사가 맡고 있지만, MTF를 측정하기 위해서는 공학적, 수학적 기초 및 C, Fortran, Matlab등의 프로그램 작성 능력이 필요하기 때문에 비 공학도는 정확한 측정이 불가능하다. 의료영상 시스템의 성능 관리 및 최상의 상태를 유지하기 위해 시스템의 성능평가가 이뤄져야 하는데, 이를 위해 본 연구에서는 비공학도가 해상력 성능평가를 할수 있도록 ImageJ 및 Excel을 이용하여 해상력 평가를 할 수 있도록 방법을 제시하고, 제안된 방법을 이용해 계산된 결과와 프로그래밍을 이용해 계산된 결과의 비교를 통해 본 논문에서 제시하는 방법의 유용성을 확인하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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