• 제목/요약/키워드: Photo-Oxidation

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Evaluation of Mechanical Backside Damage of Silicon Wafer by Minority Carrier Recombination Lifetime and Photo-Acoustic Displacement Method

  • Park, Chi-Young;Cho, Sang-Hee
    • 한국결정성장학회:학술대회논문집
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    • 한국결정성장학회 1997년도 Proceedings of the 13th KACG Technical Meeting `97 Industrial Crystallization Symposium(ICS)-Doosan Resort, Chunchon, October 30-31, 1997
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    • pp.155-159
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    • 1997
  • We investigated the effect of mechanical backside damage in Czochralski silicon wafer. The intensity of mechanical damage were evaluated by minority carrier recombination lifetime by a laser excitation/microwave reflection photoconductance decay method, photo-acoustic displacement method, X-ray section topography, and wet oxidation/preferential etch methods. The data indicate that the higher the mechanical damage intensity, the lower the minority carrier lifetime, and the photoacoustic displacement values are also increased proportionally.

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PHOTO-FENTON 공정을 이용한 축산폐수처리시 운전인자의 최적조건 (Optimal Condition of Operation Parameter for Livestock Wastewater Treatment using Photo-Fenton Process)

  • 박재홍;장순웅;조일형
    • 한국물환경학회지
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    • 제21권3호
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    • pp.284-288
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    • 2005
  • In this study, photochemical advanced oxidation processes (AOPs) utilizing the Photo Fenton reaction ($Fe^{2+}+H_2O_2+UV$) were investigated in lab-scale experiments for the treatment of livestock wastewater. For the experimets, the livestock wastewater was pretreated by coagulation with $3,000mg/L\;FeCl_3$. The optimal conditions for Photo-Fenton processes were determined: pH was 5, the concentration of ferrous ion (Fe II) was 0.01 M. The concentration of hydrogen peroxide was 0.1 M, and molar ratio ($Fe^{2+}/H_2O_2$) was 0.1. The optimal reaction time was 80 min. Under the optimal condition of Photo-Fenton process, chemical oxygen demand (COD), color and fecal coliform removal efficiencies were about 79, 70, and 99.4%, respectively and sludge production was 7.5 mL from 100 mL of solution.

Removal of Volatile Organic Compounds by Photo-Catalytic Oxidation

  • Lee, Byeong-Kyu;Jung, Kwang-Ryun
    • Journal of Korean Society for Atmospheric Environment
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    • 제16권E호
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    • pp.39-46
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    • 2000
  • Volatile Organic Compounds (VOCs) are considered as the precursors of atmospheric ozone and photochemical smog formation. In particular, chemical plants have produced a lot of VOCs and thus they have been forced to reduce or remove air emissions from the on-site chemical facilities. For the effective removal of VOCs produced in the chemical plants, the authors employed a titanium oxide(TiO$_2$) mediated photo-catalytic oxidation method. The initiation methods employed in this study to produce oxygen radicals for th photo-catalytic oxidation of the VOCs were Ultra-Violet(UV), Non-Thermal Plasma(NTS), and a combination of Uv and NTP. This study focused on a comparison of the removal efficiencies of VOCs as a function of the initiation method such as NTP and/or UV techniques. Removal efficiency change of VOCs as was investigated as a function of the wavelength of the UV lamp(254, 302, and 365 nm) and the degree of TiO$_2$ coating (10 and 30%). In this study, it was identified that removal efficiencies if the VOCs under the normal air environment were much better than those under the nitrogen gas environment containing small amount of oxygen. Removal efficiency by NTP technique was much better than the UV or the combination of UV and NTP techniques. In a comparison if UV wavelengths employed, it was found that shorter wavelength showed better removal efficiency, compared with longer ones. When the removal efficiencies of VOCs were compared in terms of the degree of TiO$_2$ coating, the higher TiO$_2$coating showed better removal efficiency that the lower TiO$_2$ coating

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관형 세라믹 정밀여과와 광촉매 첨가 PES 구의 혼성 수처리 : 질소 역세척 시 유기물 및 흡착, 광산화의 영향 (Hybrid Water Treatment of Tubular Ceramic MF and Photocatalyst Loaded Polyethersulfone Beads : Effect of Organic Matters, Adsorption and Photo-oxidation at Nitrogen Back-flushing)

  • 홍성택;박진용
    • 멤브레인
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    • 제23권1호
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    • pp.61-69
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    • 2013
  • 고도정수처리를 위한 관형 세라믹 정밀여과와 이산화티타늄($TiO_2$) 광촉매 첨가 PES (polyethersulfone) 구의 혼성공정에서 유기물질의 영향 및 정밀여과(MF), PES 구 흡착, 광산화의 역할을 막오염에 의한 저항($R_f$) 및 투과선속(J), 총여과부피($V_T$)를 통해서 비교 및 고찰하였다. 휴믹산의 농도가 증가함에 따라 급격한 막오염으로 인해 $R_f$는 증가하고 J는 감소하였으며, $V_T$는 휴믹산의 농도가 2 mg/L인 조건에서 가장 높았다. 광산화와 흡착의 영향을 알아보기 위해 휴믹산의 농도 4 mg/L와 6 mg/L에서의 결과를 비교하였다. 두 가지 조건에서 공통적으로 정밀여과(MF)만의 단독공정에서 막오염이 급격하게 진행되어 $R_f$값이 가장 높게 나타났고, 총여과부피($V_T$)는 광촉매와 자외선의 혼성공정(MF + $TiO_2$ + UV)에서 가장 높은 값을 나타내었다. 탁도와 유기물질의 평균처리효율은 MF + $TiO_2$ + UV 공정에서 가장 높은 값을 나타내었다.

광촉매 및 다채널 세라믹 정밀여과 혼성공정에 의한 고탁도 원수의 고도정수처리: 유기물의 영향 (Advanced Water Treatment by Hybrid Process of Multi-channel Ceramic MF and Photocatalyst: Effect of Organic Materials)

  • 볼러 암말사나;박진용
    • 멤브레인
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    • 제21권4호
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    • pp.351-359
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    • 2011
  • For advanced drinking water treatment of high turbidity water, we used the hybrid process that was composed of photocatalyst packing in space of between outside of multi-channel ceramic microfiltration membrane and membrane module inside. Photocatalyst was polypropylene (PP) beads coated $TiO_2$ powder by CVD (chemical vapor deposition) process. Instead of natural organic matters (NOM) and fine inorganic particles in natural water source, standard NOM solution was prepared with humic acid and kaolin. Water-back-flushing of 10 sec was performed per every period of 10 min to minimize membrane fouling. Resistance of membrane fouling ($R_f$) increased and J decreased as concentration of humic acid changed from 2 mg/L to 10 mg/L, and finally the highest total permeate volume ($V_T$) could be obtained at 2 mg/L. Then, treatment efficiency of turbidity and $UV_{254}$ absorbance were above 96.4% and 78.9%, respectively. As results of treatment portions by membrane filtration, photocatalyst adsorption, and photo-oxidation in (MF), (MF + $TiO_2$), (MF + $TiO_2$ + UV) processes, turbidity was treated little by photocatalyst adsorption, and photo-oxidation. However, treatment portions of $UV_{254}$ absorbance by adsorption (MF + $TiO_2$) and photo-oxidation (MF + $TiO_2$ + UV) at humic acid of 4 mg/L and 6 mg/L were above 9.0, 9.5 and 8.1, 10.9%, respectively.

관형 세라믹 정밀여과와 광촉매 첨가 PES 구의 혼성 수처리: 물 역세척 시 유기물 및 흡착, 광산화의 영향 (Hybrid Water Treatment of Tubular Ceramic MF and Photocatalyst Loaded Polyethersulfone Beads: Effect of Organic Matters, Adsorption and Photo-oxidation at Water Back-flushing)

  • 박성우;박진용
    • 멤브레인
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    • 제23권2호
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    • pp.159-169
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    • 2013
  • 고도정수처리를 위한 관형 세라믹 정밀여과와 이산화티타늄($TiO_2$) 광촉매 첨가 PES (polyethersulfone) 구의 혼성공정에서 주기적 물 역세척 시 유기물질의 영향 및 정밀여과(MF), PES 구 흡착, 광산화의 역할을 막오염에 의한 저항($R_f$) 및 투과선속(J), 총여과부피($V_T$) 측면에서 기존의 질소 역세척 결과와 비교하였다. 휴믹산 농도가 증가함에 따라 급격한 막오염으로 $R_f$는 증가하고 J는 감소하여, $V_T$는 휴믹산 농도 2 mg/L에서 가장 높았다. 탁도 처리효율은 물과 질소 역세척 모두 휴믹산 농도와 상관없이 비슷하였다. 유기물질 처리효율은 물 역세척 경우 최대 휴믹산 10 mg/L에서 최소 71.4%이었으나, 질소 역세척에서는 거의 일정하였다. 물과 질소 역세척 모두 MF 및 PES 구, 자외선의 혼성공정(MF + $TiO_2$ + UV)에서 $R_f$가 최소이고, J와 $V_T$는 최대였다. 탁도 및 유기물질의 처리효율도 물과 질소 역세척에 상관없이 MF + $TiO_2$ +UV에서 최대였고, 공정이 MF로 단순화 될수록 처리효율도 점차 감소하였다. 하지만 물 역세척에서는 광산화 보다 흡착이, 질소 역세척에서는 흡착 보다 광산화가 더 주요한 역할을 하였다.

탄소 한외여과막 및 광촉매 코팅 폴리프로필렌 구의 혼성 수처리: 물 역세척 시 유기물 및 광산화, 흡착의 영향 (Hybrid Water Treatment of Carbon Ultrafiltration Membrane and Polypropylene Beads Coated with Photocatalyst: Effect of Organic Materials, Photo-oxidation, and Adsorption in Water Back-flushing)

  • 박진용;정충호
    • 멤브레인
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    • 제22권5호
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    • pp.359-368
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    • 2012
  • 탄소 한외여과막 및 광촉매 혼성 수처리를 위해 관형 여과막 외부와 원통형 막 모듈 내부 사이 공간에 광촉매를 충전하였다. 광촉매는 PP (polypropylene) 구에 이산화티타늄 분말을 플라즈마 화학증착 공정으로 코팅한 것이다. 휴믹산과 카올린 모사용액을 대상으로 막오염을 최소화하기 위해 10분 주기로 10초 동안 물 역세척을 시행하였다. 기존 결과와 동일하게 휴믹산을 10 mg/L부터 2 mg/L로 변화시킴에 따라, 막오염에 의한 저항($R_f$)이 감소하여 2 mg/L에서 최대 총여과부피 ($V_T$)를 얻었다. 탁도와 휴믹산의 처리효율은 각각 98.9%와 88.7% 이상이었다. UF 및 UF + $TiO_2$, UF + $TiO_2$ + UV 공정의 처리 분율 결과, 광촉매 흡착과 광산화에 의해 탁도는 거의 처리되지 않았으나, 광촉매 흡착 및 광산화에 의한 휴믹산 처리 분율은 각각 2.5%, 12.3%이었다. 기존 결과와 비교하면, 분리막의 재질과 기공의 크기에 따라 광촉매 흡착과 광산화에 의한 휴믹산의 처리 분율이 다르게 나타났다. 공정이 단순화될수록 180분 운전 후 막오염 저항($R_{f,180}$)은 증가하였고, 최종 투과선속($J_{180}$)은 소폭 감소하였다.

폴리에스테르 중합 공정에서 발생되는 1,4-dioxane의 분해를 위한 파일럿 규모의 광펜톤산화처리 (Photo-Fenton Oxidation Treatment of Pilot Scale for the Decomposition of 1,4-dioxane Generated in a Polyester Manufacturing Process)

  • 소명호;한지선;한티힙;서장원;김창균
    • 대한환경공학회지
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    • 제31권1호
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    • pp.9-14
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    • 2009
  • 본 연구에서는 폴리에스테르 중합폐수의 배출 원수에 약 600 mg/L의 고농도로 존재하는 1,4-dioxane을 5 mg/L 이하까지 (2011년 규제 시행) 제거할 수 있는 고급산화공정의 현장 적용 기술을 개발하고자 구미지역 폴리에스테르 제조회사 중 K사의 폐수처리 시설을 선정하여 연구를 하였다. 공기의 공급 하에 광펜톤산화반응을 K사에 설치된 pilot에서 운전하였다. 막대형 산기관을 통해 공기를 공급하면서 10개의 UV-C 램프(240 ${\mu}W/cm^2$)의 조사 하에 과산화수소(2,800 ppm)와 철염(1,400 ppm)을 주입하였을 때 1,4-dioxane의 제거 효율이 2시간 만에 90%까지 나타나는 결과를 도출할 수 있었다. 그러나 처리수의 1,4-dioxane 농도는 약 60 mg/L으로 여전히 높았다. 그리하여 후속 처리로 bench-scale의 활성슬러지공정(V=8.9 L)을 이용하여 광펜톤산화 처리수 내의 1,4-dioxane 제거 가능성을 평가하였다. 그 결과로서 활성슬러지공정의 유출수내의 1,4-dioxane의 농도는 약 2~3 mg/L까지 저감되었으며 이를 통해, 광펜톤산화공정과 활성슬러지공정의 연계처리를 통해 1,4-dioxane 배출 허용기준(5 mg/L, 2011년)에 부합될 수 있는 효과적인 처리공정임을 입증하였다.