Measurement and Correction of Phase Shift in Simultaneous Phase Shifting Interferometer Using Pixelated Phase Mask (위상마스크를 사용하는 동시위상천이 간섭계의 위상천이 값 측정 및 보정방법)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 2013.05a
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- pp.1079-1080
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- 2013