Fabrication and Characteristics of Micro PZT Cantilever Energy Harvester Using MEMS Technologies (MEMS 공정을 이용한 마이크로 PZT 외팔보 에너지 수확소자의 제작 및 특성)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.24 no.6
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- pp.515-518
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- 2011