• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 논문개요집
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• pp.152-152
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• 1999

1Gb급 이상 기억소자의 캐패시터 재료로 주목받고 있는 (Ba,Sr)TiO3 [BST] 박막의 전극재료로는 Pt, Ru, Ir과 같은 금속전극과 RuO2, IrO2와 산화물 전도체가 유망한 것으로 알려져 있다. 그런데, DRAM의 집적도가 증가하게 되면, BST같은 고유전율 박막을 유전재료로 사용한다 하더라도, 3차원적인 구조가 불가피하게 때문에 기존의 sputtering 방법으로는 우수한 단차피복성을 얻기 힘들므로, MOCVD법이 필수적이다. 본 연구에서는 기존에 연구되었던 Pt에 비해 식각특성이 우수하고, 비교적 낮은 비저항을 갖는 Ru 박막증착에 대한 연구를 행하였다. 본 연구에서는 수직형의 반응기와 저항 가열 방식의 susceptor로 구성된 저압 유기금속 화학증착기를 사용하여 최대 6inch 직경을 갖는 기판 위에 Ru박막을 증착하였다. Precursor로는 기존에 연구된 적이 없는 bis-(ethyo-$\pi$-cyclopentadienyl)Ru (Ru(C5H4C2H5)2, [Ru(EtCp)2])를 사용하였으며, bubbler의 온도는 85$^{\circ}C$로 하였다. Si, SiO2/Si를 사용하였으며, 증착온도 25$0^{\circ}C$~40$0^{\circ}C$, 증착압력 3Torr의 조건에서 Ru 박막을 증착하였다. Presursor를 운반하는 수송기체로는 Ar을 사용하였으며, carbon과 같은 불순물의 제거를 위해 O2를 첨가하였다. 증착된 박막은 XRD, SEM, 4-point probe등을 통해 구조적, 전기적 특성을 평가하였으며, 열역학 계산을 위해서는 SOLGASMIX-PV프로그램을 사용하였다. Ru 박막의 증착에 있어서 산소의 첨가는 필수적이었으며, Ru 박막의 증착속도는 30$0^{\circ}C$~40$0^{\circ}C$의 온도 영역에서 200$\AA$/min으로 일정하였으며, 첨가된 산소의 양이 적을수록 더 치밀하고 평탄한 표면형상을 보였으며, 또한 더 낮은 전기 전도도를 보였다. 그리고 증착된 박막은 12~15$\mu$$\Omega$cm 정도의 낮은 비저항 값을 나타냈으며 이것은 기존의 sputtering 법에 의해 증착된 Ru 박막의 비저항 값들과 비교될만하다. 한편, 높은 온도, 높은 산소분압 조건에서 RuO2의 형성을 관찰하였으며, 이것은 열역학적인 계산을 통해서 잘 설명할 수 있었다.

• Korean Chemical Engineering Research
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• 제48권2호
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• pp.275-282
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• 2010

아염소산나트륨($NaClO_2$)의 무격막 전기분해(un-divided electrolysis)에 의한 이산화염소(chlorine dioxide; $ClO_2$) 제조에서 양전극(anode) 재질에 따른 이산화염소수 발생특성을 조사하였다. 양전극으로는 $IrO_2$-coated Ti, $RuO_2$-coated Ti, DSA(dimensionally stable anode) 전극을 사용하였으며, 음전극으로는 Pt-coated Ti 전극을 사용하였다. 다양한 양전극을 사용한 무격막 전해셀(un-divided electrochemical cell) 시스템에서 이산화염소의 전구체인 아염소산나트륨 ($NaClO_2$) 농도, 전해질로 사용된 염화나트륨(NaCl) 농도 그리고 전구체 용액의 전해셀 체류시간(cell residence time;$t_R$), 전구체 용액의 초기 pH 그리고 무격막 전해셀에 공급된 전류(current; A)와 같은 운전 파라미터가 이산화염소수 발생에 미치는 영향을 조사하고 최적 운전조건을 도출하였다. $IrO_2$-coated Ti, $RuO_2$-coated Ti 그리고 DSA 양전극 시스템에서 최적 전해셀 체류시간은 각각 약 2.27, 1.52, 1.52 s, 전구체 용액의 초기 pH는 약 2.3, 최적 아염소산나트륨 농도는 $IrO_2$-coated Ti와 $RuO_2$-coated Ti 양전극 시스템이 약 0.43 g/L, DSA 양전극 시스템이 약 0.32 g/L 그리고 최적전해질 농도는 약 5.85 g/L로 나타났으며 무격막 전해셀에 공급된 최적 전류는 약 0.6 A로 나타났다. 산출된 최적 무격막 전해셀 조건에서 이산화염소수 발생을 위한 $IrO_2$-coated Ti, $RuO_2$-coated Ti 그리고 DSA 양전극 시스템의 전류효율(current efficiency; C.E.%)과 에너지 소모율(energy consumption; E.C. $W{\cdot}hr/g-ClO_2$)은 각각 약 79.80, 114.70, 70.99% 그리고 1.38, 1.03, $1.61W{\cdot}hr/g-ClO_2$로 나타났다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
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• pp.252-252
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• 2008

The microhotplates consisting of a Pt-ased heating element on AlN/poly 3C-SiC layers were fabricated. The microhotplate has a $600{\mu}m{\times}600{\mu}m$ square shaped membrane which made of $1{\mu}m$ thick ploycrystalline 3C-SiC suspended by four legs. 3C-SiC is known for excellent chemical durability, mechanical strength and sustaining of high temperature. The membrane is fabricated by surface micromachining using oxidized Si sacrificial layer. The Pt thin film is used for heating material and resist temperature sensor. The fabrication methodology allows intergration of an array of heating material and resist temperature detector. For reasons of a short response time and a high sensitivity a uniform temperature profile is desired. The dissipation of microhotplate was examined by a IR thermoviewer and the power consumption was measured. Measured and simulated results are compared and analyzed. Thermal characterization of the microhotplates shows that significant reduction in power consumption was achieved using suspended structure.

• Korean Chemical Engineering Research
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• 제55권4호
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• pp.503-509
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• 2017

The present experimental study proposed two ionic liquids (ILs) namely [Aliquat 336] [$HSO_4$] (prepared and characterized at our laboratory) and Cyphos 101 IL (supplied by Cytec Company) dissolved in two different diluents such as DCM (di-chloro-methane) and toluene applied for PMs extraction. The first IL [Aliquat 336] [$HSO_4$] prepared and confirmed the formation of final product by using FT-IR and TGA studies. The primary experiment in solvent extraction processing is kinetic effect; 0 to 30 time varied for PMs by using two ILs and confirmed the optimized extraction equilibrium time. This study was conducted for PMs (Pt, Rh and Cu) extraction and separation from each other by using proposed ILs. This is the primary study of the utilizing green solvents such as ILs as an extractant system for Pt, Rh and Cu extraction and possible separation.

• 전기화학회지
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• 제11권1호
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• pp.11-15
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• 2008

The composite membrane for direct methanol fuel cell (DMFC) was developed using $H_3O^+-{\beta}"-Al_2O_3$ powder and perfluorosulfonylfluroride copolymer (Nafion) resin. The perfluorosulfonylfluroride copolymer (Nafion) resin was mixed with $H_3O^+-{\beta}"-Al_2O_3$ powder and it was made to sheet form by hot pressing. The electrodes were prepared with 60 wt% PtRu/C and 60wt% Pt/C catalysts for anode and cathode, respectively. The morphology and the chemical composition of the composite membrane have been investigated by using SEM and EDXA, respectively. The composite membrane and $H_3O^+-{\beta}"-Al_2O_3$ were analyzed by using FT-IR and XRD. The methanol permeability of the composite membranes was also measured by gas chromatography (GC). The performance of the MEA containing the composite membrane (2wt% $H_3O^+-{\beta}"-Al_2O_3$) was higher than that of normal pure Nafion membrane at high operating temperature (e.g. $110^{\circ}C$), due to the homogenous distribution of $H_3O^+-{\beta}"-Al_2O_3$, which decreased the methanol permeability through the membrane and enhanced the water contents in the composite membrane.

• 센서학회지
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• 제18권5호
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• pp.349-352
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• 2009

This paper describes the fabrication and characteristics of micro heaters built on AlN($0.1{\mu}m$)/3C-SiC($1{\mu}m$) suspended membranes by surface micromachining technology. In this work, 3C-SiC and AlN films are used for high temperature environments. Pt thin film was used as micro heaters and temperature sensor materials. The resistance of temperature sensor and the power consumption of micro heaters were measured and calculated. The heater is designed for operating temperature up to about $800^{\circ}C$ and can be operated at about $500^{\circ}C$ with a power of 312 mW. The thermal coefficient of the resistance(TCR) of fabricated Pt resistance of temperature detector(RTD)'s is 3174.64 ppm/$^{\circ}C$. A thermal distribution measured by IR thermovision is uniform on the membrane surface.

• 한국추진공학회:학술대회논문집
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• 한국추진공학회 2008년도 제31회 추계학술대회논문집
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• pp.371-374
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• 2008

고농도 과산화수소를 분해시킬 수 있는 다양한 촉매의 성능을 비교하였다. 감마 알루미나에 산화망간, 백금, 이리듐을 각각 코팅하여 펠렛 촉매를 제작하였다. 50 Newton 급 추력기를 이용하여 펄스 응답 특성을 비교하였다. 그 결과 이리듐 촉매가 가장 빠른 응답성을 나타내었으나, 연속모드에서 반응 실패 경향을 보여 과산화수소 분해용 촉매로는 부적절하였다. 백금, 산화망간 촉매 또한 우수한 반응성을 보여 높은 가능성을 보였으며, 고추력 추력기와 같이 촉매양이 많이 요구되는 경우, 비용문제를 고려한다면 산화망간 또한 과산화수소 분해에 적합할 것으로 판단된다.

• 한국식품영양과학회지
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• 제33권8호
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• pp.1262-1267
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• 2004

한약재의 재료로 사용되는 옥발에서 항응고물질(anticoagulant)을 추출하여 정제하였다. 정제된 항응고물질의 분자량은 135 kDa으로 측정되었고 옥발로부터 정제된 항응고물질의 회수율은 11%이고, 24배 농축되었다. 옥발의 항응고물질은 열에 안정하고 비특이적 단백질 가수분해 효소 처리 후에도 활성을 유지하였으나, periodate 산화 처리시 현저하게 활성이 소실되어 항응고물질의 성분은 당류인 것으로 추정된다. 옥발의 항응고물질을 thin layer chromatography(TLC)와 Bio-LC로 구성당을 분석한 결과 galactose, glucose, mannose, glucosamine, galactosamine, fucose로 구성되어있고, IR을 통하여 확인된 OH, N-H bond가 확인되어 항응고물질이 중성당과 아미노당으로 구성된 것을 뒷받침해주고 있다. 옥발의 항응고물질은 thrombin time(TT)에 가장 민감하고, TT에서 항응고 활성을 2배, 3배 지연시키는 농도는 60 nM와 88 nM이었다. Prothrombin time(PT)에도 민감하였지만, snake venom activity와 activated partial thromboplastin time(APTT)의 clotting activity에는 상대적으로 별 영향을 끼치지 않았다. 옥발의 항응고물질을 정제된 fibrinogen을 이용하여 thrombin과의 반응 시 fibrinogen의 농도가 증가함에 따라 응고 저해 정도가 감소하여 thrombin에 대해fibrinogen과 결합자리를 경쟁하고, 이 때 Ki 값은 23 nM이다.

• 대한화학회지
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• 제58권2호
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• pp.169-178
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• 2014

A new series of metal complexes of V(IV), Pd(II), Pt(IV), Ce(IV) and U(VI) with 3-[(3-chlorophenyl)-hydrazono]-pentane-2,4-dione (Cphpd) were synthesized and characterized by elemental analysis, molar conductivity, magnetic moment measurements, UV-vis, FT-IR and $^1H$ NMR as well as TG-DTG techniques. The data indicated that the Cphpd acts as a bidentate ligand through the hydrazono nitrogen and one keto oxygen. The kinetic parameters have been evaluated by using Coats Redfern (CR) and Horowitz-Metzeger (HM) methods. The thermodynamic data reflected the thermal stability for all complexes. The calculated bond length and the bond stretching force constant, F(U=O), values for $UO_2$ bond are $0.775{\AA}$ and $286.95Nm^{-1}$. The bond lengths, bond angles, dipole moment and the lowest energy model structure of the complexes have been determined with DFT calculations. The antimicrobial activity of the synthesized ligand and its complexes were screened.

• 공학논문집
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• 제3권1호
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• pp.235-242
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• 1998

곁가지에 탄소-탄소 이중결합과 탄소-탄소 삼중결합을 포함한 미생물 폴리($\beta$-하이드록시알카노에이트)에 실리콘 화합물과 브롬의 첨가반응을 수행하였다. IR spectrometer와 DSC를 이용하여 생성된 고분자를 분석한 결과, 실리콘 화합물이 첨가된 고분자는 결정성이 증가하였으며, 브롬이 첨가된 고분자는 유리전이 온도가 올라갔다. 브롬의 탄소-탄소 이중결함과 탄소-탄소 삼중결합에 대한 반응속도는 탄소-탄소 이중결합이 더 빠른 것으로 나타났다. 폴리($\beta$-하이드록시알카노에이트)에 코발트 화합물을 반응시킨 결과, 착물을 형성하여 가교반응이 일어났다.