• 제목/요약/키워드: PIT process

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금형온도 능동제어 시스템 적용을 위한 고 내구성 마이크로 히터의 설계 및 제작 (Design and Fabrication of Durable Micro Heater for Intelligent Mold System)

  • 노철용;김영민;최용;강신일
    • 정보저장시스템학회:학술대회논문집
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    • 정보저장시스템학회 2005년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.26-30
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    • 2005
  • Stamper surface temperature is very critical in replicating the high density optical disc substrates using injection molding as the pit or land/groove patterns on the optical disc substrate have decreased due to the rapid increase of areal density. During the filling stage, the polymer melt in the vicinity of the stamper surfaces rapidly solidifies and the solidified layer generated during polymer filling greatly deteriorates transcribability and fluidity of polymer melt. To improve transcribability and fluidity of polymer melt, stamper surface temperature should be controlled such that the growth of the solidified layer is delayed during the filling stage. In this study, the effect of heating on replication process was simulated numerically. Then, an injection mold equipped with instant active heating system was designed and constructed to raise the stamper surface temperature over the glass transition temperature during filling stage of the injection molding. Also, the closed loop controller using the Kalman filter and the linear quadratic Gaussian regulator was designed. As a result, the stamper surface temperature was controlled according to the desired reference stamper surface temperature.

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금형온도 능동제어 시스템 적용을 위한 고 내구성 마이크로 히터의 설계 및 제작 (Design and Fabrication of Durable Micro Heater for Intelligent Mold System)

  • 노철용;김영민;최용;강신일
    • 정보저장시스템학회논문집
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    • 제2권2호
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    • pp.100-104
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    • 2006
  • Stamper surface temperature is very critical in replicating the high density optical disc substrates using injection molding as the pit or land/groove patterns on the optical disc substrate have decreased due to the rapid increase of areal density. During the filling stage, the polymer melt in the vicinity of the stamper surfaces rapidly solidifies and the solidified layer generated during polymer filling greatly deteriorates transcribability and fluidity of polymer melt. To improve transcribability and fluidity of polymer melt, stamper surface temperature should be controlled such that the growth of the solidified layer is delayed during the filling stage. In this study, the effect of heating on replication process was simulated numerically. Then, an injection mold equipped with instant active heating system was designed and constructed to raise the stamper surface temperature over the glass transition temperature during filling stage of the injection molding. Also, the closed loop controller using the Kalman filter and the linear quadratic Gaussian regulator was designed. As a result. the stamper surface temperature was controlled according to the desired reference stamper surface temperature.

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극미세 점 구조체 제작을 위한 열간나노압입 공정에서의 평판형 PMMA의 크립현상에 관한 연구 (A study on Creep of Plate PMMA in Thermal-Nanoindentation Process for Hyperfine pit structure Fabrication)

  • 이은경;정유나;강충길
    • 한국소성가공학회:학술대회논문집
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    • 한국소성가공학회 2008년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.273-276
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    • 2008
  • Thermoplastic resin takes place stress relaxation and creep according to temperature and time. In room temperature, time dependent deformation (TDD) of polymer was carried out at previous study. In this study, it evaluates time dependent deformation to relate temperature. Nanoscale indents can be used as cells for molecular electronics and drug delivery, slots for integration into nanodevices, and defects for tailoring the structure and properties. Therefore, it is important to control pattern depth for change of indent depth by creep when using Nanoindenter. For evaluating TDD at high temperature, it is occurred thermal-nanoindentation test by changing hold time at maximum load. Temperature is putted at $90^{\circ}C$, hold time at maximum loads are putted at 1, 10, 50, 100, 200, 300 and 500s.

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Service life prediction of chloride-corrosive concrete under fatigue load

  • Yang, Tao;Guan, Bowen;Liu, Guoqiang;Li, Jing;Pan, Yuanyuan;Jia, Yanshun;Zhao, Yongli
    • Advances in concrete construction
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    • 제8권1호
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    • pp.55-64
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    • 2019
  • Chloride corrosion has become the main factor of reducing the service life of reinforced concrete structures. The object of this paper is to propose a theoretical model that predicts the service life of chloride-corrosive concrete under fatigue load. In the process of modeling, the concrete is divided into two parts, microcrack and matrix. Taking the variation of mcirocrack area caused by fatigue load into account, an equation of chloride diffusion coefficient under fatigue load is established, and then the predictive model is developed based on Fick's second law. This model has an analytic solution and is reasonable in comparison to previous studies. Finally, some factors (chloride diffusion coefficient, surface chloride concentration and fatigue parameter) are analyzed to further investigate this model. The results indicate: the time to pit-to-crack transition and time to crack growth should not be neglected when predicting service life of concrete in strong corrosive condition; the type of fatigue loads also has a great impact on lifetime of concrete. In generally, this model is convenient to predict service life of chloride-corrosive concrete with different water to cement ratio, under different corrosive condition and under different types of fatigue load.

도박중독자의 회복과정 : 수렁에서 빠져나오기 (Recovering Process from Gambling Addiction)

  • 윤명숙;채완순
    • 한국사회복지학
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    • 제62권3호
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    • pp.271-297
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    • 2010
  • 본 연구는 도박중독자들의 회복과정에 대한 실체이론을 개발하기 위하여 실시하였다. '도박중독자의 회복과정은 어떠한가?'의 연구문제를 가지고, Strauss와 Corbin(1990)의 근거이론방법을 적용하여 분석하였다. 전라북도지역에 거주하는 남성 도박중독자 7명을 대상으로 심층 인터뷰하였다. 연구결과 총 97개의 개념과 28개의 하위범주 그리고 16개의 상위범주로 유목화 하였다. 회복과정의 핵심범주는 '대박의 꿈을 포기하고 자유로워지기'로 나타났다. 본 연구는 국내에서 처음으로 도박중독의 수렁에서 빠져나오는 과정과 유형 등을 밝힘으로써 도박중독자의 회복과정에 대한 실제적 이론 구축 및 정책적, 임상적 개입에 중요한 기초자료가 될 것으로 본다.

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나노에멀젼: 화장품을 위한 새로운 제형 (Nanoemulsions: a Novel Vehicle for Cosmetics)

  • 조완구
    • 대한화장품학회지
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    • 제37권1호
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    • pp.1-21
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    • 2011
  • 본 총설에서는 나노에멀젼을 제조하기 위한 다양한 유화방법과 나노에멀젼의 화장품 응용에 대해 논의하고자 한다. 나노에멀젼은 입경이 일반적으로 20 ~ 200 nm의 범위에 있으며 입자 분포도 좁은 영역을 보인다. 많은 논문에서 O/W 또는 W/O 나노에멀젼 제조에 있어서 고압을 이용한 분산 방법을 보고하고 있지만 유화과정 중에 일어나는 상전이에 기초한, 응축 또는 저 에너지 유화 방법에 관심이 증가하고 있다. 상 거동 연구 결과에 의하면 나노에멀젼의 입자 크기는 온도나 구성 성분에 의해 유도되는 전상점에서의 계면활성제 상 구조(이중 연속상 마이크로에멀젼 또는 라멜라 액정)에 의해서 지배된다. PIT 방법에 의해서 제조된 나노에멀젼 연구에서 초기 상평형 상태가 단일상인지 다중상인지 관계없이 유화입자의 크기는 마이크로 에멀젼 이중 연속상에 오일이 완전히 가용화됨에 따른다는 것을 보여준다. 나노에멀젼의 안정성은 나노에멀젼의 입자 크기가 작 기 때문에 크리밍, 침전 또는 합일 현상보다 오스트왈드 라이퍼닝에 의해 지배된다. 나노에멀젼은 나노에멀젼 입자를 마이크로 리엑터로 활용하고 모노머를 이용하여 나노 입자를 제조하거나 화장품 등의 유효성분 전달 등에 이용되고 있다. 본 총설에서는 화장품에의 응용에 초점을 맞췄다.

열간나노압입공정을 이용한 극미세 점구조체 제작을 위한 플라스틱소재 판의 기계적 특성 조사 (A Study on the Plate-Type Polymer Hyperfine Pit Structure Fabrication and Mechanical Properties Measurement by Using Thermal-Nanoindentation Process)

  • 이은경;강충길
    • 소성∙가공
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    • 제17권8호
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    • pp.633-642
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    • 2008
  • It's important to measure quantitative properties about thermal-nano behavior of polymer for producing high quality components using Nanoimprint lithography process. Nanoscale indents can be used to make the cells for molecular electronics and drug delivery, slots for integration into nanodevices, and defects for tailoring the structure and properties. In this study, formability of polymethylmetacrylate(PMMA) and polycarbonate(PC) were characterized Polymer has extreme variation in thermo mechanical variation during forming high temperature. Because of heating the polymer, it becomes softer than at room temperature. In this case it is particularly important to study high temperature-induced mechanical properties of polymer. Nanoindenter XP(MTS) was used to measure thermo mechanical properties of PMMA and PC. Polymer was heated by using the heating stage on NanoXP. At CSM(Continuous Stiffness Method) mode test, heating temperature was $110^{\circ}C,120^{\circ}C,130^{\circ}C,140^{\circ}C$ and $150^{\circ}C$ for PMMA, $140^{\circ}C,150^{\circ}C,160^{\circ}C,170^{\circ}C$ and $180^{\circ}C$ for PC, respectively. Maximum indentation depth was 2000nm. At basic mode test, heating temperature was $90^{\circ}C$ and $110^{\circ}C$ for PMMA, $140^{\circ}C,160^{\circ}C$ for PC. Maximum load was 10mN, 20mN and 40mN. Also indented pattern was observed by using SEM and AFM. Mechanical properties of PMMA and PC decreased when temperature increased. Decrease of mechanical properties from PMMA went down rapidly than that of PC.

알루미늄 고분자 콘덴서의 특성에 대한 절연지 탄화의 영향 (Effects of Separator Carbonization on the Characteristics of Aluminium Polymer Condenser)

  • 김재근;유형진;홍웅희;박미진;박승열
    • 공업화학
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    • 제17권5호
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    • pp.539-546
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    • 2006
  • 전도성 고분자인 polyethylenedioxythiophene (PEDOT)을 권취형 알루미늄 콘덴서의 고체 전해질 및 음극으로 적용하기 위하여 PEDOT 중합공정 및 절연지 탄화공정 연구를 수행하였다. 단량체로 ethylenedioxythiophene (EDOT), 산화제로 ferric-p-toluenesulfonate를 사용하였다. 권취된 미세 다공성 알루미늄 에칭박 피트 내부에 균일한 PEDOT 전해질 층을 생성하기 위하여 콘덴서 소자를 열처리하여 탄화함으로써 절연지의 섬유조직을 조절하고 이를 통해 중합액의 절연지 집중현상을 억제하여 에칭 피트 내부로의 중합액 함침이 용이하도록 하였다. 탄화온도, 탄화시간에 따라 콘덴서의 용량, 손실, 등가직렬저항, 내열특성이 좌우되었다. 절연지의 두께, 밀도는 탄화공정의 중요한 변수이며 이들 변수에 따라 콘덴서의 특성이 영향을 받는 것을 확인하였다.

접목 과정에서 형성된 신생 2차목부의 조직학적, 세포화학적 연구 (Histochemical and Cytochemical Studies on the Secondary Xylem Formation during Grafting Process of Pinus thunbergii)

  • 김종식;이광호;김윤수
    • Journal of the Korean Wood Science and Technology
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    • 제34권6호
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    • pp.1-11
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    • 2006
  • 접목 과정에서 형성되는 새로운 2차목부의 특징을 광학현미경 및 전자현미경적 차원에서 조사하고자 해송(Pinus thunbergii)을 사용하여 자가접목(autograft)을 실시하였다. 조직학적으로 접목은 괴사층의 형성, 치유조직(callus)의 형성 및 발달, 새로운 형성층의 분화 및 새로운 2차조직의 형성 등 4단계를 거치는 것으로 나타났다. 접목 초기에 형성된 괴사층은 펙틴과 리그닌 성분으로 구성되어 있었으며, 점진적으로 분해되어 대목과 접수가 결합하는 시점에 소멸되었다. 접목 초기에 축적되었던 전분 입자와 지질은 접목이 진행될수록 점진적으로 감소하였으며 세포질 내 소기관, 핵 및 원형질연락사의 변화는 관찰되지 않았다. 유세포로 구성된 치유조직으로부터 접목 15일후부터 새로운 형성층(neocambium)이 발달하였으며, 이곳에서 새로운 2차조직이 형성되기 시작했다. 새로운 2차목부는 형성층에서 기원하는 정상적인 2차목부와는 다른 분화 및 형태를 나타냈다. 새로운 2차목부는 망상 또는 벽공상의 비후에 의한 2차벽을 갖는 가도관 요소에서 기원하였으며, 2차벽의 형성은 비후된 세포벽 사이를 충전시키는 형태로써 진행되었다. 2차벽의 형성은 불균일하고 간헐적이었으며 형성된 2차벽의 두께는 불균일하였다. 새로운 2차목부의 가도관은 S자 또는 소용돌이 모양을 지니는 것으로 수평 방향으로 배열되었다.

ILD CMP중 Scratch 감소를 위한 CMP 공정기술 개발 (Development of CMP process for reducing scratches during ILD CMP)

  • 김인곤;김인권;;최재건;박진구
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집
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    • pp.59-59
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    • 2009
  • 현재 CMP분야는 광역 평탄화 반도체 소자의 집적화 및 소형화가 진행됨에 따라서 CMP 공정의 중요성은 날로 성장하고 있다. 하지만 이러한 CMP공정은 불가피하게도 scratch, pit, CMP residue와 같은 defect들을 발생시키고 있으며, 점점 선폭이 작아짐에 따라, 이러한 defect들이 반도체 수율에 미치는 영향은 심각해지고 있다. Defect들 중에 특히 scratch는 반도체에 치명적인 circuit failure를 일으키게 된다. 또한 반도체 내구성과 신뢰성을 감소시키게 되고, 누전전류를 증가시키는 등 바람직하지 못한 현상들이 생기게 된다. 본 연구에서는 scratch 와 같은 deflect들을 효율적으로 검출, 분석하고, scratch를 감소시키는데 그 목적이 있다. 본 실험을 위해 8" TEOS wafer와 commercial oxide slurry 및 friction polisher (Poli-500, G&P tech., Korea)를 사용하여 CMP 공정을 진행하였으며, CMP 공정조건은 각각 80rpm/80rpm/1psi(Platen speed/Head speed/Pressure)에서 1분 동안 연마를 한 후 scratch 발생 경향을 살펴보았다. CMP 후 wafer위에 오염되어 있는 slurry residue들을 제거하기 위해 SC-1, HF 세정을 이용하여 최적화된 post-CMP 공정기술을 제안하였다. Scratch 검출 및 분석을 위해 wafer surface analyzer (Surfscan 6200, Tencor, USA)와 optical microscope (LV100D, Nicon, Japan)를 사용하였다. CMP 공정 변수들에 따른 scratch 발생정도를 비교하였으며, scratch 발생 요인들에 따른 scratch 형태 및 발생정도를 살펴보았다. 최적화된 post-CMP 세정 조건은 메가소닉과 함께 SC-1 세정을 실시하여 slurry residue들을 제거한 후, HF 세정을 실시하여 잔여 오염물들을 제거하고 검출이 용이하도록 scratch를 확장시킬 수 있도록 제안하였으며, 100%의 particle removal efficiency (PRE)를 얻을 수 있었다. 실제 CMP 공정후 post-CMP 세정 단계별 scratch 개수를 측정한 결과, SC-1 세정 후 약 220개의 scratch가 검출되었으며, 검출되지 않았던 scratch가 HF 세정 후 확장되어 드러남에 따라 약 500개의 scratch 가 검출되었다.

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