• 제목/요약/키워드: Oxide module

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Semiconductor-Type MEMS Gas Sensor for Real-Time Environmental Monitoring Applications

  • Moon, Seung Eon;Choi, Nak-Jin;Lee, Hyung-Kun;Lee, Jaewoo;Yang, Woo Seok
    • ETRI Journal
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    • 제35권4호
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    • pp.617-624
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    • 2013
  • Low power consuming and highly responsive semiconductor-type microelectromechanical systems (MEMS) gas sensors are fabricated for real-time environmental monitoring applications. This subsystem is developed using a gas sensor module, a Bluetooth module, and a personal digital assistant (PDA) phone. The gas sensor module consists of a $NO_2$ or CO gas sensor and signal processing chips. The MEMS gas sensor is composed of a microheater, a sensing electrode, and sensing material. Metal oxide nanopowder is drop-coated onto a substrate using a microheater and integrated into the gas sensor module. The change in resistance of the metal oxide nanopowder from exposure to oxidizing or deoxidizing gases is utilized as the principle mechanism of this gas sensor operation. The variation detected in the gas sensor module is transferred to the PDA phone by way of the Bluetooth module.

나노 금속산화물을 이용한 유단말용 환경 모니터링 서브 시스템 (Environmental Monitoring Sub-System for Ubiquitous Terminal Using Metal Oxide Nano-Material Gas Sensor)

  • 문승언;이홍열;이재우;박종혁;박소정;곽준혁;맹성렬;박강호;김종대
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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    • pp.63-63
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    • 2008
  • Environmental monitoring sub-system has been developed using gas sensor module, Bluetooth module and PDA phone. The gas sensor module consists of $NO_2or$ CO gas sensor and signal processing chips. Gas sensor is composed of the micro-heater, sensing electrode and sensing material. Metal oxide nano-material was selectively deposited on a substrate with micro-heater and was integrated to the gas sensor module. The change in resistance of the metal oxide nano-material due to exposure of oxidizing or deoxidizing gases is utilized as the principle of this gas sensor operation mechanism. This variation detected in the gas sensor module was transferred to the PDA phone by way of Bluetooth module.

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1kW급 연료전지 평가시스템 개발에 관한 연구 (A study on development of 1kW SOFC test system)

  • 황현석;이상훈;이주영
    • 한국위성정보통신학회논문지
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    • 제11권3호
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    • pp.24-27
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    • 2016
  • 본 연구에서는 연료전지 중 발전효율이 50% 이상으로 가장 높고 가정용(1~10kW급) 시스템으로 필요성이 높아지고 있는 고체산화물 연료전지(SOFC, Solid Oxide Fuel Cell)에 대한 평가시스템을 설계하여 최적의 평가성능을 구현코자 하였다. 최적의 연료전지 평가시스템을 구현하기 위하여 전처리 및 반응조건 제어를 위한 온도제어모듈, 반응물에 대한 유량제어모듈, 전자부하기 등을 구현하였다. 온도제어모듈은 K형 서머커플을 사용하여 운전온도인 $750^{\circ}C$에서 $1^{\circ}C$이내의 정밀도 구현이 가능토록 설계하였고, 가스의 양이 일정하게 유지하기 위한 가습기 구조를 설계하였으며, 송풍기 및 히터의 정밀제어가 가능하도록 위상제어보드를 설계하여 적용함으로서 목표성능을 구현하였으며, 전자부하기는 방전방식으로 정전압, 정전류, 정저항 모드와 아날로그 입력과 출력모듈에 별도의 DC-DC 컨버터를 사용하여 오류를 최소화하였다. 구현한 평가시스템의 성능을 측정한 결과 스택전압은 80V에서 0.15%, 스택전류는 100A에서 0.1%의 정밀제어가 가능함을 확인하였다.

1 Giga급 집적회로 구현을 위한 3차원 산화 공정 시뮬레이터 개발 및 산화층 성장 특성 분석에 관한 연구 (Development of three-dimensional thermal oxidation process simulator and analysis the characteristics of multi-dimensional oxide growth)

  • 이준하;황호정
    • 전자공학회논문지A
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    • 제32A권8호
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    • pp.107-118
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    • 1995
  • Three-dimensional simulator for thermal oxidation process is developed. The simulator is consisted by two individual module, one is analytic-model module and the other is numerical-model module. The analytic-model which uses simple complementary-error function guarantees fast calculation in prediction of multi-dimensional oxidation process. The numerical-model which is based on boundary element method (BEM), has a good accuracy and suitable for various process conditions. The results of this study show that oxide growth is retarded at the corner of hole structure and enhanced at the corner of island structure. These effects are reson of different distribution of oxidant diffusion and mask stress. The utility of models and simulator developed in this study is demonstrated by using it to predict not only traditional shape of LOCOS but also process effects in small geometry.

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인청동 스위칭 모듈을 이용한 전력계통 및 전자기기 내부회로의 MOV 열폭주 방지와 안전성 개선 (Thermal Runaway Prevention of MOV and Safety Improvement of Power Line System and Internal Electronic Device Circuit Using a Phosphorous Switching Module)

  • 김주철;최경래;이상중
    • 조명전기설비학회논문지
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    • 제25권9호
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    • pp.75-79
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    • 2011
  • The MOV(Metal Oxide Varistor), a voltage limiting element, has been installed in the SPD(Surge Protective Device) or inside the internal circuit of an electronic appliance for protection of the electric power system and electronic device against electrical surge. Such an MOV is exposed, however, to the risk of the thermal runaway resulting from excessive voltage and deterioration. In this paper, a reciprocal action has been tested and analyzed using a phosphorus bronze switching module and the low-temperature solder. And a short current break characteristic test linked with the circuit breaker has been performed to limit the inrush current when the MOV breaks down. It has been proven that the phosphorus bronze switching module installed inside the internal circuit can improve the safety of the power line system and the electronic device.

티타늄 박막을 이용한 염료감응형 태양전지 모듈 특성에 관한 연구 (A Study on the Characteristics of Dye-sensitized Solar Cell Module Using Titanium Thin Film)

  • 오병윤;김필중
    • 전기전자학회논문지
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    • 제25권1호
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    • pp.69-75
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    • 2021
  • 본 연구에서는 티타늄(Ti) 금속 박막을 사용해서 값비싼 산화주석(FTO) 전극을 대체된 염료감응형 태양전지(DSSC)의 제작 방법과 전기적 특성에 대해서 고찰하였다. Ti 박막의 증착 시간을 조절하여 박막의 두께를 변화시켰으며, Ti 박막의 두께가 두꺼워지면서 표면저항은 감소하였다. 대략 190nm 두께에서 FTO 박막의 표면저항과 비슷해짐을 알 수 있었으며, 250nm 두께에서 DSSC의 에너지 변환효율 4.24%로 가장 높았다. 더 나아가 DSSC 모듈을 제작해 평가함으로써 상용화의 가능성을 확인하였다.

뉴로모픽 기반의 저항 변화 메모리 소자 제작 및 플라즈마 모듈 적용 공정기술에 관한 융합 연구 (Convergence Study on Fabrication and Plasma Module Process Technology of ReRAM Device for Neuromorphic Based)

  • 김근호;신동균;이동주;김은도
    • 한국융합학회논문지
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    • 제11권10호
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    • pp.1-7
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    • 2020
  • 뉴로모픽 소자 초기 단계인 저항 변화형 메모리 소자의 제작 공정으로, 진공 공정의 연속성을 유지하였고, 고집적, 고신뢰성을 보장하는 뉴로모픽 컴퓨팅을 위한 저항 변화 메모리 소자 제작 및 공정 기술에 적합한 플라즈마 모듈을 적용하였다. 플라즈마 모듈을 적용한 저항메모리(ReRAM) 소자의 제작과 연구는 ReRAM 소자 기반의 TiO2/TiOx 산화물박막의 제작방법과 소재의 변화를 통한 다양한 실험을 통하여 완성되었다. XRD를 이용하여 rutile결정을 측정하였고, 반도체 파라미터 측정기로 저항 메모리의 HRS : LRS 비율이 2.99 × 103 이상이고, 구동 전압 측정이 0.3 V이하에서 구동이 가능한 저항 변화형 메모리 소자의 제작을 확인 하였다. 산소 플라즈마 모듈을 적용한 뉴로모픽 저항메모리 제작과 TiOx 박막을 증착하여 성능을 확인하였다.