Atomic Layer Deposition Of Lanthanum Oxide ($La_{2}O_{3}$) Thin Film on Si(100) Substrate and Electrical Characterization

• 조상진;박남균;강동균;하정숙;김병호
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2005년도 제28회 학술발표회 초록집
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  • pp.125-125
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  • 2005
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Surface passivation of $BaMgAl_{10}O_{17}:Eu^{2+}$ coated with Silicon oxide by catalyzed atomic layer deposition

• 정영규;김혁종;김희규;최병호
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 2007년도 추계학술발표대회 및
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  • pp.78.2-78.2
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  • 2007
• PDF

Atomic layer deposition of $Ti_2O$ thin films using $NH_3$ gas as a non-oxidizing reactant gas.

• 권세훈;김성욱;강상원
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 2007년도 추계학술발표대회 및
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  • pp.15.1-15.1
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  • 2007
• PDF

Tin Oxide Thin Film Deposition for Gas S두낵 by Reactive Ionized Cluster Beam(R-ICB)

• Choi, Won-Kook;Song, Seok-Kyun;Jung, Hyung-Jin;Koh, Seok-Keun
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1995년도 제8회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.76-76
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  • 1995
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SOFC용 $LaFeO_3-YSZ-NiO$계 분말의 전기영동 침적 (Electrophorctic Deposition of $LaFeO_3-YSZ-NiO$ powders for Solid Oxide Fuel Cell(SOFC))

• 이형직;윤상옥;오인택;송두규;정해경
• • 한국세라믹학회:학술대회논문집
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  • 한국세라믹학회 2000년도 춘계총회,특별강연,심포지움,연구발표회
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  • pp.41.2-41.2
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  • 2000
• PDF

펄스레이져 증착법을 이용한 $PbZrO_3/PbTiO_3$ 산화물 인공격자의 성장과 Scanning Force Microscope를 이용한 전기분극 특성 연구 (The Growth of $PbZrO_3/PbTiO_3$ Oxide Artificial Lattice Deposited by Pulsed Laser Deposition and Characterization of Ferroelectric Domain by Scanning Force Microscope)

• 최택집;김진수;박배호;이재찬
• • 한국세라믹학회:학술대회논문집
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  • 한국세라믹학회 2004년도 춘계총회 및 연구발표회 초록집
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  • pp.37.1-37.1
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  • 2004
• PDF

Change of Crystallinity and Surface Roughness of Tin Oxide Film in Hybrid Ion Beam Deposition(HIBD)

• Cho, Jun-Sik;Choi, Won-Koo-K;Yoon, Ki-Hyun;Jung, Hyung-Jin;Koh, Seok-Keun
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1995년도 제9회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.78-78
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  • 1995
• PDF

PEALD 방법으로 중착된 $La_2O_3$ 게이트 산화물 박막의 전기적 특성 (Electrical properties of lanthanum oxide films deposited by Plasma Enhenced Atomic Layer Deposition)

• 이은주;김범용;고명균;박종완
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 2005년도 춘계학술발표대회 및 제8회 신소재 심포지엄 논문개요집
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  • pp.256-256
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  • 2005
• PDF

Preparation and Characterization of Thin Oxide Film Deposited by Ion-Assist-Deposition(IAD)

• Cho, Jun-Sik;Choi, Won-Kook;Yoon, Ki-Hyun;Jung, Hyung-Jin
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1996년도 제10회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.59-59
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  • 1996
• PDF

Fabrication of a regular array of nano-dots on Si substrate via pulsed laser deposition using anodic aluminum oxide nano-template

• 남우성;서혜진;하정숙;배창현;남상환;박승민
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2003년도 제25회 학술발표회 초록집
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  • pp.177-177
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  • 2003
• PDF

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