• 제목/요약/키워드: Oxidation-film

검색결과 778건 처리시간 0.027초

$CH_{3}CN$ 감지를 위한 $SnO_{2}/Al_{2}O_{3}/Pd$ 후막소자의 제조 및 그 특성 (Fabrication and Characteristics of $SnO_{2}/Al_{2}O_{3}/Pd$ Thick Film Devices for Detection of $CH_{3}CN$ Vapor)

  • 박효덕;조성국;손종락;이덕동
    • 센서학회지
    • /
    • 제1권2호
    • /
    • pp.107-116
    • /
    • 1992
  • $CH_{3}CN$ 감지를 위한 최적 모물질은 $CH_{3}CN$의 억분해 온도와 생성량을 적외선 흡수 스펙트럼으로부터 비교함으로써 선정되었다. $SnO_{2}$ 표면에서 $CH_{3}CN$$130^{\circ}C$에서부터 열분해되기 시작하여 $300^{\circ}C$에서는 많은 양의 생성물을 생성하였다. 산화반응에 의한 $CH_{3}CN$$CO_{2}$, $NH_{3}$$H_{2}O$로 열분해되었으며, $320^{\circ}C$에서부터 $N_{2}O$가 생성되기 시작하였다. $SnO_{2}$ 감지소자의 $CH_{3}CN$에 대한 감지특성은 $CH_{3}CN$과 금속산화물과의 산화반응으로 인해 생성된 흡착종에 의해 영향을 받았다. 감지물질표면과의 반응에서 생성된 흡착종은 CO, $NH_{3}$, $H_{2}O$$NO_{x}$ 등이었다. $NO_{x}$의 생성량은 감지특성에 큰 영향을 나타냄을 알 수 있다. 170 ppm의 $CH_{3}CN$에 대한 $SnO_{2}$의 감도와 동작온도는 각각 70% 정도와 $300^{\circ}C$이었다. 0.2wt% Pd 첨가된 $SnO_{2}/Al_{2}O_{3}/Pd$ 감지소자는 $CH_{3}CN$에 대해 높은 감도를 나타내었으며, 응답시간은 약 10초이었다.

  • PDF

Corrosion Behaviors of Dental Implant Alloy after Micro-sized Surface Modification in Electrolytes Containing Mn Ion

  • Kang, Jung-In;Son, Mee-Kyoung;Choe, Han-Cheol
    • Journal of Korean Dental Science
    • /
    • 제11권2호
    • /
    • pp.71-81
    • /
    • 2018
  • Purpose: The purpose of this study was to investigate the corrosion behaviors of dental implant alloy after microsized surface modification in electrolytes containing Mn ion. Materials and Methods: $Mn-TiO_2$ coatings were prepared on the Ti-6Al-4V alloy for dental implants using a plasma electrolytic oxidation (PEO) method carried out in electrolytes containing different concentrations of Mn, namely, 0%, 5%, and 20%. Potentiodynamic method was employed to examine the corrosion behaviors, and the alternatingcurrent (AC) impedance behaviors were examined in 0.9% NaCl solution at $36.5^{\circ}C{\pm}1.0^{\circ}C$ using a potentiostat and an electrochemical impedance spectroscope. The potentiodynamic test was performed with a scanning rate of $1.667mV\;s^{-1}$ from -1,500 to 2,000 mV. A frequency range of $10^{-1}$ to $10^5Hz$ was used for the electrochemical impedance spectroscopy (EIS) measurements. The amplitude of the AC signal was 10 mV, and 5 points per decade were used. The morphology and structure of the samples were examined using field-emission scanning electron microscopy and thin-film X-ray diffraction. The elemental analysis was performed using energy-dispersive X-ray spectroscopy. Result: The PEO-treated surface exhibited an irregular pore shape, and the pore size and number of the pores increased with an increase in the Mn concentration. For the PEO-treated surface, a higher corrosion current density ($I_{corr}$) and a lower corrosion potential ($E_{corr}$) was obtained as compared to that of the bulk surface. However, the current density in the passive regions ($I_{pass}$) was found to be more stable for the PEO-treated surface than that of the bulk surface. As the Mn concentration increased, the capacitance values of the outer porous layer and the barrier layer decreased, and the polarization resistance of the barrier layers increased. In the case of the Mn/Ca-P coatings, the corroded surface was found to be covered with corrosion products. Conclusion: It is confirmed that corrosion resistance and polarization resistance of PEO-treated alloy increased as Mn content increased, and PEO-treated surface showed lower current density in the passive region.

Ti/Au 금속과 n-type ZnO 박막의 Ohmic 접합 연구 (Ohmic Contact of Ti/Au Metals on n-type ZnO Thin Film)

  • 이경수;서주영;송후영;김은규
    • 한국진공학회지
    • /
    • 제20권5호
    • /
    • pp.339-344
    • /
    • 2011
  • C-plane 사파이어 기판 위에 펄스 레이저 증착법으로 증착시킨 n-type ZnO 박막에 대한 Ti/Au 금속의 Ohmic 접합특성을 TLM (transfer length method) 패턴 전극을 통하여 연구하였다. 여기서, Ti와 Au 금속박막은 전자빔 증착기와 열 증착기로 각각 35 nm와 90 nm 두께로 증착하였으며, TLM패턴은 광 리소그래피 법으로 면적이 $100{\times}100{\mu}m^2$인 전극패턴을 6~61 ${\mu}m$ 간격으로 형성하였다. Ti/Au 금속박막과 ZnO 반도체 사이의 전기적인 성질을 개선하고 응력과 계면 결함을 감소시키기 위해, 산소 가스 분위기로 $100{\sim}500^{\circ}C$ 온도에서 각각 1분간 급속열처리를 하였다. $300^{\circ}C$의 온도에서 열처리한 시료에서 $1.1{\times}10^{-4}{\Omega}{\cdot}cm^2$의 가장 낮은 비저항 값을 보였는데, 이것은 열처리 동안 티타늄 산화막 형성과정에서 ZnO 박막 표면 근처에 산소빈자리가 형성됨으로써 나타나는 전자농도의 증가가 주된 원인으로 고려되었다.

강자성체 박막(Fe-Ni, Co-Ni)의 자기-저항 효과에 관한 연구( I ) (Magnetoresistive Effect in Ferromagnetic Thin Films( I ))

  • 장충근;유중열;송재용;윤만영;박재형;손대락
    • 센서학회지
    • /
    • 제1권1호
    • /
    • pp.23-34
    • /
    • 1992
  • 자기-저항 센서를 제작하기 위하여 Fe-Ni 합금과 Co-Ni 합금을 슬라이드 그라스와 Si wafer에 진공 증착하여 sensor element를 제작한 후 포화자속밀도($B_{s}$), 보자력($H_{c}$), 자기-저항 변화율 등을 조사하였다. 진공 증착된 Fe-Ni 합금 박막의 포화자속밀도는 0.65T이었으며 자화주파수 1 kHz에서 보자력은 0.379A/cm이었고 자냉처리 후 종방향 보자력은 0.370Acm(//), 횡방향 보자력은 0.390Acm(${\bot}$)로 변화되었다. 자기-저항 변화율은 박막의 산화로 인하여 매우 불안정하였다. 진공 증착된 Co-Ni 박막의 포화자속밀도는 0.66T이었으며 자냉처리 후의 종방향 보자력은 5.895Acm(//)이었고 횡방향 보자력은 5.898A/cm(${\bot}$)이었다. 한편 자기-저항 변화율(${\Delta}R/R$)은 $3.6{\sim}3.7%$로써 실온에서 매우 안정하였다. Fe-Ni 박막은 화학친화력이 강하여 자기-저항 센서 제조 공정에서 많은 문제점을 야기시키고 있으나, Co-Ni 박막은 화학친화력이 작고 자기-저항 효과가 뚜렷하여 고온용 자기-저항 소자 개발용 재료로 매우 적합할 것으로 사료된다.

  • PDF

제균처리와 질소가스포장에 따른 혼합과채주스의 저장 중 품질 변화 (Change in Quality of Mixed Juice of Fruits and Vegetables by Aseptic Treatment and Packing with Nitrogen Gas during Storage)

  • 김수연;윤영빈;최언호
    • 한국식품과학회지
    • /
    • 제32권6호
    • /
    • pp.1271-1277
    • /
    • 2000
  • 토마토, 사과, 당근, 아욱, 돌미나리+솔잎, 신선초, 대추, 레몬의 착즙액을 3 : 3 : 3 : 1/2 : 1/2 : 1/2 : 1/2 : 1/5의 비율로 혼합하여 착즙 혼합액을 $96^{\circ}C$에서 15초간 가열살균하거나 한외여과 또는 한외여과액에 $121^{\circ}C$에서 15분간 가열한 한외여과 잔사를 혼합하였다. 각 시료는 병에 담아 밀봉하거나 살균된 film에 담아 질소가스로 충진포장 후 $4^{\circ}$$20^{\circ}C$에서 8주간 저장하였다. 제균처리한 주스의 pH는 $4.07{\sim}4.10$, 적정산도는 $66.35{\sim}84.08$, 가용성 고형분은 $7{\sim}9^{\circ}Brix$, 환원당은 $5.42{\sim}6.97%$로 glucose는 $1.96{\sim}2.30%$, fructose는 $3.45{\sim}4.14%$으로 저장기간동안 변화가 없었다. Peroxidase 활성과 미생물은 열처리와 한외여과에 의해 저해되었다. 색도는 한외여과구의 강우 황색을 띄었고, 그외 다른구는 주황색을 나타내었다. 혼합과채주스의 저장 중에 야기되는 갈변현상은 비타민 C의 산화와 그밖의 비효소적 갈변반응에 의해 야기된 것으로 비타민 C의 파괴와 갈변현상은 용기 중의 산소를 질소가스로 치환, 포장하여 저장함으로 줄일 수 있었다.

  • PDF

Magnetoresistance of Co/Cu/Co Spin Valve Sandwiches

  • Park, S. J.;Park, K. L.;Kim, M. Y.;j. R. Rhee;D. G. Hwang;Lee, S. S.;Lee, k. A.;Park, C. M.
    • Journal of Magnetics
    • /
    • 제2권1호
    • /
    • pp.7-11
    • /
    • 1997
  • The dependence of magnetoresistance (MR) ratio on various variables like the thickness of the second Co layer, on the presence of cap layer, on deposition field (Hdep) and on annealing in Co/Cu/Co sandwiches was investigated. Spin-valve sandwiches were deposited on the corning glass by means of the 3-gun dcmagnetron sputtering at a 5 mTorr partial Ar pressure and room temperature. The deposition field was varied from 70 Oe to 720 Oe. The MR curve was measured by the four-terminal method with applied magnetic field up to 1000 Oe perpendicular to the direction of a current in the film plne. The MR ratio of glass/Fe(50${\AA}$)/Co(17${\AA}$)/Cu(24${\AA}$)/Cot(${\AA}$) fabricated by making 50 ${\AA}$ of Fe buffer layer has the maximum value of 8.2% when the thickness of the second Co layer was 17${\AA}$and the deposition field was 350 Oe. In the case of glass/Fe(50${\AA}$)/Co(17${\AA}$)/Cu(24${\AA}$)/Cot(${\AA}$) with Cu cap layer on top, the decrease in the MR ratio seemed to relate with the oxidation of the second Co layer. Samples prepared with deposition field showed greater MR ratios through the formation of more complete spin valve films. After annealing for 2 hours at 300$^{\circ}C$, the MR ratio of the samples prepared with deposition field decreased rapidly while the MR raito of the sample prepared without the field remained.

  • PDF

Tb/Co 조성변조 다층박막의 자기 및 광자기적 성질에 관한 연구 (A Study on the Magnetic and Magneto-Optical Properties of Tb/Co Composition Modulated Multilayer Films)

  • 홍석지;김상록;이성래
    • 한국자기학회지
    • /
    • 제6권3호
    • /
    • pp.158-164
    • /
    • 1996
  • 동시진공증착으로 제조한 Tb/Co 조성변조 다층박막의 자기적 성질 및 광자기적 성질을 Tb의 두께 및 Tb/Co 각 층의 두께 비에 대하여 연구하였으며 열처리시 자기적 거동의 변화를 분석하였다. Tb의 두께가 $12{\AA}$일 때가 가장 큰 범위에서 수직자기이방성을 보였고, 최고 $6.52{\times}10^{6}erg/cc$의 수직자기이방성 에너지 값을 얻었다. Tb의 두께가 $12{\AA}$에서 최대 수직자기이방성을 보이는 것은 Tb/Co 계면에서의 Tb-Co이종 원자쌍뿐만 아니라 Tb-Tb, Co-Co 동종 원자쌍도 수직자기이방성에 기여하기 때문으로 사려된다. Kerr 회전각$({\theta}_k)$은 수직자기이방성 에너지$(K_{u})$와 비례, 평균 스핀분산각$(\alpha)$과는 반비례하는 거동을 보였으며 Tb두께 $12{\AA}$, 두께비 1.55에서 최대 Kerr 회전각 $0.28^{\circ}$를 얻었다. 열처리시 나타나는 비정상적인 이력곡선은 Tb층의 우선적인 산화로 Tb의 유효조성이 감소하여 조성이 보상점 근처로 이동하게 되어 Co층과의 보자력 차이가 커져서 나타난다.

  • PDF

기저층 및 열처리 효과가 Co/ Cu 다층박막의 자기저항에 미치는 영향 (Effects of Buffer Layer and Annealing Temperature on Magnetororesistance in Co/Cu Multilayers)

  • 김미양;최규리;최수정;송은영;이장로;황도근;이상석;박창만;이기암
    • 한국자기학회지
    • /
    • 제7권2호
    • /
    • pp.82-89
    • /
    • 1997
  • DC magnetron sputtering 방법에 의해 Corrnign glass위에 기저층인 Fe와 Cu의 두께를 다르게 하면서 buffer/[Co(17 .agns. )/Cu(t .angs. )]$_{N}$의 형태로 다층박막을 제작하여 자기저항비의 비자성층 Cu 층 두께, 기저층 종류와 두께, 다층박막의 층 수 의존성을 조사 하였다. 제작된 시료를 500 .deg. C 까지의 열처리를 행한 후 열처리가 이시료의 구조, 자기적 성질 및 자기저항에 미치는 여향을 조사하기 위하여 X-선 회절분석, 시료진동형자기계(VSM) 분석, 자기저항 측정을 하였다. Fe 기저층의 두께가 50 .angs. 이고 Cu 두께가 24 .angs. 일때 극대 자기저항비 21%가 관찰되었다. 낮은 base 압력 중에서 막의 증착은 산화를 억제하여 자기저항비를 증가시켰다. 400 .deg. C 까지의 시료에 대한 열처리는 다층박막의 주기성을 유지한채 더 큰 grain size를 갖게 하여 극대 자기저항비를 나타내는 Cu 두께를 갖는 시료들은 열처리 후 반강자성적으로 결합한 막의 부분이 증가함으로써 자기저항비가 증가 하다가 500 .deg. C에서는 계면의 확산에 의대 감소하였다.

  • PDF

집적화된 Nb DC SQUID 소자의 제작 및 특성 (Fabrication and Characteristics of Integrated Nb DC SQUID)

  • 이용호;권혁찬;김진목;박종철
    • 한국자기학회지
    • /
    • 제2권3호
    • /
    • pp.277-281
    • /
    • 1992
  • 입력코일과 변조코일이 박막 형태로 집적화된 planar DC SQUID를 제작하고 그 특성을 조사하였다. SQUID loop은 균일한 외부자장의 영향을 받지 않도록 두개의 ring이 '8'자형으로 직렬로 연결된 구조를 하고 있으며, 조셉슨 접합으로는 Pd shunt 저항을 가지는 Nb/Al-oxide/Nb 턴넬 접합을 이용하였다. 소자는 포토리소그라피 기술과 RF 마그네트론 스퍼터링 및 양극산화 방법으로 제작하였으며, 제작된 SQUID는 4.2 K에서 기본적인 특성을 측정한 결과 standard readout 시스템에 적합한 매끄러운 특성을 보였으며 전압 잡음은 측정할 수 없을 정도로 작아 white noise는 최대 $10^{-4}\;{\phi}_o/\;\sqrt{H_z}$ 이하로 나타났다. 현재 matching 코일을 사용하여 잡음 특성을 측정중에 있으며 앞으로 SQUID parameter를 최적화할 경우 매우 고감도의 자기센서로 활용될 수 있을것으로 기대된다.

  • PDF

Solution Processable Symmetric 4-Alkylethynylbenzene End-Capped Anthracene Derivatives

  • Jang, Sang-Hun;Kim, Hyun-Jin;Hwang, Min-Ji;Jeong, Eun-Bin;Yun, Hui-Jun;Lee, Dong-Hoon;Kim, Yun-Hi;Park, Chan-Eon;Yoon, Yong-Jin;Kwon, Soon-Ki;Lee, Sang-Gyeong
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
    • /
    • 제33권2호
    • /
    • pp.541-548
    • /
    • 2012
  • New candidates composed of anthracene and 4-alkylethynylbenzene end-capped oligomers for OTFTs were synthesized under Sonogashira coupling reaction conditions. All oligomers were characterized by FT-IR, mass, UV-visible, and PL emission spectrum analyses, cyclic voltammetry (CV), differential scanning calorimetry (DSC), thermal gravimetric analysis (TGA), $^1H$-NMR, and $^{13}C$-NMR. Investigation of their physical properties showed that the oligomers had high oxidation potential and thermal stability. Thin films of DHPEAnt and DDPEAnt were characterized by spin coating them onto Si/$SiO_2$ to fabricate top-contact OTFTs. The devices prepared using DHPEAnt and DDPEAnt showed hole field-effect mobilities of $4.0{\times}10^{-3}cm^2$/Vs and $2.0{\times}10^{-3}cm^2$/Vs, respectively, for solution-processed OTFTs.