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Magnetized inductively coupled plasma etching of GaN in $Cl_2/BCl_3$ plasmas

  • Lee, Y.H.;Sung, Y.J.;Yeom, G.Y.
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 1999년도 추계학술발표회 초록집
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    • pp.49-49
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    • 1999
  • In this study, $Cl_2/BCI_3$ magnetized inductively coupled plasmas (MICP) were used to etch GaN and the effects of magnetic confinements of inductively coupled plasmas on the GaN etch characteristics were investigated as a function of $Cl_2/BCI_3$. Also, the effects of Kr addition to the magnetized $Cl_2/BCI_3$ plasmas on the GaN etch rates were investigated. The characteristics of the plasmas were estimated using a Langmuir probe and quadrupole ma~s spectrometry (QMS). Etched GaN profiles were observed using scanning electron microscopy (SEM). The small addition of $Cl_2/BCI_3$ (10-20%) in $Cl_2$ increased GaN etch rates for both with and without the magnetic confinements. The application of magnetic confinements to the $Cl_2/BCI_3$ inductively coupled plasmas (ICP) increased GaN etch rates and changed the $Cl_2/BCI_3$ gas composition of the peak GaN etch rate from 10% $BCI_3$ to 20% $BCI_3$. It also increased the etch selectivity over photoresist, while slightly reducing the selectivity over $Si0_2$. The application of the magnetic field significantly increased positive $BCI_2{\;}^+$ measured by QMS and total ion saturation current measured by the Langmuir probe. Other species such as CI, BCI, and CI+ were increased while species such as $BCl_2$ and $BCI_3$ were decreased with the application of the magnetic field. Therefore, it appears that the increase of GaN etch rate in our experiment is related to the increased dissociative ionization of $BCI_3$ by the application of the magnetic field. The addition of 10% Kr in an optimized $Cl_2/BCI_3$ condition (80% $Cl_2/$ 20% $BCI_3$) with the magnets increased the GaN etch rate about 60%. More anisotropic GaN etch profile was obtained with the application of the magnetic field and a vertical GaN etch profile could be obtained with the addition of 10% Kr in an optimized $Cl_2/BCI_3$ condition with the magnets.

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감포와 연일 지역 벤토나이트의 팽창성 및 X-선 부합성 산란영역 크기에 관한 연구 (Study on expandability and X-ray coherent scattering domain size of bentonite from Gampo and Yonil area, Korea)

  • 강일모;박석찬;문희수;유장한
    • 자원환경지질
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    • 제36권1호
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    • pp.1-8
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    • 2003
  • 본 연구는 X-선분말회절(XRD)을 이용하여 감포와 연일에서 산출되는 벤토나이트에 대한 팽창성과 부합성산란영역크기(CSDs)를 측정하고, 이를 세계표준 벤토나이트(SAz-1, STx-1, SWy-2사 비교해 보고자 하였다. 에틸렌글리콜(EG)포화 시료에서 측정한 001 피크의 저각도 쪽 굴곡과 001 피크의 강도비(saddle/001 강도비)를 이용하여 감포와 연일 벤토나이트의 팽창성을 측정한 결과, 77-100% S$_{XRD}$를 보였으며, GP-56을 제외한 대부분은 무질서형 일라이트-스멕타이트 혼합층광물(RO I-S)로 구성되어 있었다. BWA(Bertaut-Warren-Averbach) 방법으로 CSDs를 측정한 결과, EG-포화시료의 001 피크는 혼합층에 의한 피크의 변형(Mering의 제 1 원칙)이 관찰되었으며, CSDs측정에 부적절하였다. 반면에, 300^{\circ}C$ 열-처리 시료의 001 피크는 혼합층에 의한 변형이 발생하지 않았으며 CSDs측정에 적합하였다. 열-처리 시료로부터 측정한 감포와 연일 벤토나이트의 평균 CSDs는 3.8-5.4층간으로 측정되었으며, 세계표준 벤토나이트와 비교하였을 때, CSDs 분포는 곤잘레스(STx-1)와 와이오밍(SWy-2) 벤토나이트와 유사하였다

육상 침적 방사성 핵종의 장기 거동 평가를 위한 토사 침식 연구 (Study of Soil Erosion for Evaluation of Long-term Behavior of Radionuclides Deposited on Land)

  • 민병일;양병모;김지윤;박기현;김소라;이정렬;서경석
    • 방사성폐기물학회지
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    • 제17권1호
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    • pp.1-13
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    • 2019
  • 후쿠시마 원자력 발전소의 사고로 인해 일본 동부 지역에 다량의 방사성 핵종이 축적되었다. 이러한 방사성 물질은 숲, 도시, 하천, 호수를 포함한 넓은 범위에서 관측되고 있다. 방사성 세슘의 토양 입자에 강하게 흡착하는 특성 때문에 방사성 세슘은 침식된 토사와 함께 이동하여, 인구가 밀집한 하천 하류지역으로 그리고 연안으로 서서히 이동한다. 본 연구에서는 수생환경의 오염된 토사의 이동을 재현하기 위한 수치모델을 개발하고, 그 성과의 일부를 한국원자력연구원 내에 위치한 침식된 토사 관측 장비에서 관측된 결과와 비교하였다. 수집된 토사 시료의 입경 특성을 분석하기 위해서 표준 체분석과 이미지 분석법을 적용하였다. 수치 모델은 초기 포화도, 강우의 토사 침투율, 멀티 레이어, rain splash 등을 고려하여 현실의 강우에 따른 토사의 이동을 시뮬레이션 할 수 있도록 개발하였다. 2019년 연구에서는 수치모델에 나무에 의한 강우 쉴드 효과, 증발효과, 표면물의 쉴드 효과 등이 추가될 계획이다. 토사 유실 관측 장비를 2018년부터 월성 원전 인근에 설치해 지속적으로 관측 자료를 수집하고 있다. 이러한 관측자료를 기반으로 방사성 핵종의 강우, 하천, 연안으로 이동하는 장기 영향 평가 수치모델을 개발할 계획이다.

정동진 단구 자갈층과 충진 물질의 입도 및 형상 특성에 대한 연구 (A study on the granulometric and clastshape characteristic of gravel terrace deposit at Jeongdongjin area)

  • 김종연;양동윤;신원정
    • 한국지형학회지
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    • 제23권1호
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    • pp.17-33
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    • 2016
  • Samples from newly exposed outcrop of sedimentary layers forming Jeongdongjin coastal terrace in Gangreung area are collected and analyzed to find the sedimentary environment. The site are located at the gentle hillslope of the terrace surface area. The height of the outcrop is about 8m and the altitude of it's highest part is 68~73m MSL. The lowest part of this out crop is the partly consolidated sand layer with gravel veneer within it. It is found that this part is not in-situ weathered sand stone through the OSL method. This sand layer is overlain by the gravel layer with sand matrix. The shapes of the gravels from this part are mainly 'platy', 'elongated', and 'bladed' by the index of Sneed and Folk(1958). In addition, mean roundness is not so high. It is sceptical to regard this part as marine sediments which are continuously exposed to erosional processes. The boundary between the lowest sand layer and gravel layer showing the abrupt change in forming material without any mixture or transitional zone, so gravels are seemed to deposited after some degree of consolidation of the lowest sand layer. In addition, the hight of the boundary between layers are changed by the place, so the surface of the partly consolidated sand layer is not flat and has irregularity on topography when it buried by gravels. Main part of this out crop is the poorly sorted coarse gravel(22.4mm) with sand matrix($1.36{\phi}$) layer with at least 2m thick covering the relatively fine gravels discussed above. Over 20% of particles have 'very platy', 'very elongated' and 'very bladed' shape and only less than 5% of particles have 'compact' shape, So this particles are also very hard to be regard as marine gravels which are abraded by marine processes. It can be concluded that this gravel layer formed by fluvial processes rather than coastal processes base on the form of the clast and sedimentary structure. The gravel layer is covered by fine($3{\sim}4{\phi}$) material layers of psudo-gleization which showing inter-bedding of red and white layers. Chemical composition of matrix and other fine materials should be analyzed in further studies. It is attempted to fine the burial ages of the sediment using OSL method, but failed by the saturation. So it can be assumed that these sediments have be buried over 120ka.

소아 뇌에서의 혼성 이차원 양성자자기공명분광법의 임상적 응용 (Hybrid Two-Dimensional Proton Spectroscopic Imaging of Pediatric Brain: Clinical Application)

  • Sung Won Youn;Sang Kwon Lee;Yongmin Chang;No Hyuck Park;Jong Min Lee
    • Investigative Magnetic Resonance Imaging
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    • 제6권1호
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    • pp.64-72
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    • 2002
  • 목적 : 소아 뇌 질환에서의 자기공명분광법의 임상적 적용에 있어서 단일화적소 양성자 자기공명분광법과 고식적 이차원 양성자 자기공명분광법에 비해 혼성 이차원 양성자 자기공명분광법이 가지는 장점에 대하여 알아보고자 하였다. 대상 및 방법 : 생후 3일에서 15세까지의 79명의 소아 (정상소아 36명, 저산소성-허혈성 뇌 손상 10명, 대사성 질환 20명, 뇌막염-뇌염 3명, 뇌종양 7명, 신경섬유종증 1명, Sturge-Weber 증후군 1명, lissencephaly 1명)를 대상으로 81회의 혼성 이차원 양성자 자기공명분광검사를 시행하였다. 성인자원자(n=5)에서 단일화적소 양성자 자기공명분광법, 고식적 이차원 양성자 자기공명분광법, 그리고 혼성 이차원 양성자 자기공명분광법 모두를 실시하였고, 환아군 중 일부(n=12)에서 PRESS기법을 이용한 단일화적소 분광법과 혼성 이차원 양성자 자기공명 분광법을 함께 시행하였다. 1.5-T 초전도영상장치 하에서 standard head quatrature coil을 이용하여 양성자 자기공명분광을 얻었다. Phase encoding step은 16$\times$16으로 하였고, FOV는 환자 뇌의 크기에 따라 다양하게 하였으며, FOV내의 혼성 관심 체적 (hybrid VOI)은 $75{\times}75{\times}15{\;}\textrm{mm}^3$ 또는 그 이하로 함으로써 원하지 않는 지방에 의한 신호를 없애도록 하였다. PRESS기법 (TR/TE= 1,500 msec/135 또는 270 msec)을 적용하였고, 물에 의한 신호를 억제하기 위하여 chemical shift selective saturation pulse를 사용하였다. 혼성 이차원 양성자 자기공명분광검사의 획득시간(data acquistion time)과 분광의 질(spectral quality)을 단일화적소 양성자 자기공명분광법과 고식적이차원양성자 자기공명분광법의 그것과 비교하였다. 결과: 혼성 이차원 양성자 자기공명분광법은 79명의 소아 전 예에서 성공적으로 시행되었다. 단일화적소 양성자 자기공명분광법의 획득시간은 4.3분인 반면에, 혼성 이차원 양성자 자기공명분광법의 획득시간(data acquition time)은 6분 미만으로, 이는 소아의 뇌영상용으로 쓰기에 충분히 짧은 소요시간이었다. 혼성 이차원 양성자 자기공명분광법에 의한 분광은 단일화적소 자기공명분광법에 의한 분광과 거의 비슷한 민감도와 분광분해 능을 나타내었으며, 반면에 고식적인 이차원 양성자 자기공명분광법에 의한 분광보다는 훨씬 우수하였다.

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임목(林木)((해송(海松)) 적지선정(適地選定)에 관한 연구(硏究) (The Selection of the Suitable Site for Forest Tree(Pinus thunbergii))

  • 정영관;박남창;손영모
    • 한국산림과학회지
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    • 제82권4호
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    • pp.420-430
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    • 1993
  • 우리나라 남부지방의 주요 수종(樹種)인 해송임분(海松林分)의 지위지수(地位指數)에 영향하리라 예상되는 토양(土壤)의 이화학적(理化學的) 성질(性質)과 환경인자(環境因子)중 18개 인자(因子)를 218개 표준지(標準地)에서 측정(測定)하여 설명변수로 하고, 해송(海松)의 수고생장량(樹高生長量), 즉 임분(林分)의 지위지수(地位指數)를 반응변수로 하여 상관분석, 편상관분석, 회귀분석 및 요인분석을 실시하여 해송(海松)의 적지선정(適地選定), 생장량(生長量) 추정 및 비배관리 등에 대한 기초적 지침을 제시하고자 이 연구(硏究)를 실시하였으며, 그 결과를 요약하면 다음과 같다. 1. 해송임분(海松林分)의 지위지수(地位指數)와 토양(土壤) 및 환경인자(環境因子)간의 상관에 있어서, 지위지수(地位指數)와 유효토심간의 상관계수 r=0.6498로 약간 높게 나타났고(p<0.01), 다음으로 경사도, 유기물함량, 전질소함량 순으로 상관이 나타났다. 2. 각종 인자간의 내부상관을 배제한 해송임분(海松林分)의 지위지수(地位指數)와 영향인자간의 편상관에 있어서는 유효토심(r=0.6270), 경사도(r=-0.5423), 염기포화도(r=0.3278) 순으로 해송임분(海松林分)의 지위지수(地位指數)에 영향을 미치고 있었다. 3. 단계적회귀분석 결과, 해송임분(海松林分)의 지위지수(地位指數)에 영향을 미치는 인자군(因子群)은 유효토심, 경사도, 유기물함량, 염기포화도, 토양산도, 미사함량 및 치환성 $Ca^{{+}{+}}$ 군(群)으로 나타났다. 4. 토양(土壤) 및 환경인자(環境因子)에 의한 해송임분(海松林分)의 지위지수(地位指數) 추정식은 $Y=13.2691+0.0242\;X_2-1.2244\;X_4+0.6142\;X_5-0.3472\;X_{11}+0.0355\;X_{13}+0.1552\;X_{15}-0.1002\;X_{17}$으로 도출되었고, 추정식에 대한 적합도는 77%로 나타났다. 5. 해송임분(海松林分)의 지위지수(地位指數)에 영향하는 인자들을 요인분석한 결과, eigenvalue 1.0 이상의 주성분은 6개였으며, 이들의 누적기여율(累積奇與率)은 71.1%였다. 6. 요인분석(要因分析)에 의하여 산출된 6개의 요인점수(要因點數)와 해송임분(海松林分)의 지위지수(地位指數)와의 관계를 단계적회귀분석한 결과, 5개의 요인점수(要因點數)를 갖는 추정모델이 도출되었다. 이 해송임분(海松林分)의 지위지수(地位指數) 추정모델에 대한 $R^2=0.8481$로 높은 설명력을 가지며, 회귀계수에 대한 유의성을 검정한 결과 1% 수준에서 유의성이 인정되었다. 따라서 해송(海松)의 수고생장(樹高生長)에 관여하는 인자(因子)를 선정하는 방법은 요인분석(要因分析)에 의한 회귀분석(回歸分析)이 가장 유리한 것으로 나타났다. 그리고 해송임분(海松林分)의 경영은 이상과 같은 방법에 의하여 선정된 임목생장(林木生長)에 관여하는 인자(因子)를 고려하여 실행되어야 할 것으로 사료된다.

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洛東江 河口 干潟地 水質의 年間變化 (1962年 11月~1963年 10月) (Seasonal Variations of Chemical Composition of the Estuary Water at the Tidal Flat in Nack Dong River from Nov. 1962 to Oct. 1963)

  • 원종훈
    • 대한화학회지
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    • 제8권4호
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    • pp.192-199
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    • 1964
  • 1962年 11月에서 1963年 10月 사이에 洛東江河口 김밭의 2個所, 卽 虹峠洞앞(st.1)과 下新里의 長林區域(st.2)의 每月 大潮日에 있어서의 潮水의 一週期에 걸친 水質의 變動을 測定하였다. 一年間을 通한 st.1 및 st.2에서의 各 成分量의 變動範圍는 각기 다음과 같다. 水溫; $2{\sim}31^{\circ}C,\;3{\sim}28^{\circ}C$: pH; 7.8~8.5, 7.9~8.4: 鹽素度; 0.025~19.7g/l. 4.31~19.6g/l: Mg; 0.0036~1.57g/l, -~1.51g/l: Ca: 0.0056~0.48g/l, -~0.59g/l: $O_2$; 72~123%, 88~114%: Si; 8.0~126${\mu}g-at./l,\;6.7{\sim}101{\mu}g-at./l:P;\;0.12{\sim}1.47{\mu}g-at./l, 0.11{\sim}1.09{\mu}g-at./l:\;NH_3-N;\;4.9{\sim}25.5{\mu}g-at./l,\;4.1{\sim}17.6{\mu}g-at./l:\;NO-_{2}N;\;0.07{\sim}0.75{\mu}g-at./l, 0.08{\sim}0.58{\mu}g-at./l,\;NO-_{3}N;2.1{\sim}6.9{\mu}g-at./l,\;1.9{\sim}7.4{\mu}at./l.$ 各 成分量의 一年間 平均値의 最高 干潮 때를 中心한 時間的 變動은 st.1에서가 st.2에서보다 甚하며, 썰물에서 憩潮에 가까워 질 수록 鹽素度가 減少되어 밀물이 시작되어 1時間까지는 계속 減少되였다가 1時間後부터 갑자기 增加되어 約 4時間後에 st.1과 st.2가 같은 값을 가지는데, 다른 成分도 이에 따라 變化한다. 季節的으로는 水溫은 11月에서 다음해 3月까지는 氣溫보다 낮고 5月에서 10月까지는 氣溫 보다 높다. pH, 鹽素度, Mg, Ca는 夏季가 冬季보다 낮다. 酸素飽和度는 冬李가 약간 높은 傾向이지만 그다지 差가 나타나지 않고 地點에 따라 李節的 變動이 다르다. 燐酸鹽一燐 및 總窒素量은 陸水混入量이 많은 달이 一般的으로 약간 많지만 그다지 큰 差는 없다. 珪酸鹽-珪素는 陸水 混入量이 많을 수록 크게 增加된다. Ca 및 Mg의 鹽素度에 對한 比는 같은 鹽素度에서도 分散이 甚하며 特히 鹽素度가 높을때 그리하다. Si/P 및 N/P 값도 外洋의 그것보다 數倍나 된다.

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아까시나무 황화현상 발생임분의 토양 이화학적 특성 (Soil Physiochemical Properties in Leaf-yellowing Black Locust (Robinia Pseudo-acacia L.) Stands)

  • 이승우;변재경;지동훈;권영대
    • 한국토양비료학회지
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    • 제42권6호
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    • pp.409-414
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    • 2009
  • 아까시나무는 척박지에서 적응력이 뛰어나 과거 산림녹화와 사방조림 등에 많이 이용된 수종이다. 그러나 2000년 이후 황화현상이 국지적으로 빈번히 발생해 오다가 2006년에는 전국적으로 확산된 바 있다. 따라서 본 연구는 경기도 오산시 3개 지역에서 아까시나무의 황화현상 피해지와 미피해지 내에서 산림토양의 물리화학적 특성을 조사, 분석하여 그 관계성을 파악하고자 수행되었다. 조사지 일대 토양은 사방지토양, 갈색건조산림토양 및 갈색약건산림토양이 주를 이루었다. 피해지의 유효토심(16cm)과 전토심(25cm)은 미피해지(30cm, 56cm)에 비해 현저히 낮게 나타났다. 또한 미피해지에 비해 피해지 토양에서 고상률은 높은 반면 기상률은 낮고, 가비중도 높은 결과를 보여 근계부내 공기와 수분 이동성의 상대적 저하를 반영하였다. 또한 전체 조사지가 산성도가 매우 높은 강산성 토양이지만 피해지의 토양산도는 평균 pH 4.42로 미피해지의 pH 4.54보다 다소 낮았으며, 토양 내 유효인산, 칼슘, 마그네슘 함량과 염기포화율의 결과 역시 피해지에서 낮게 나타났다. 이러한 미피해지에 비해 열악한 황화현상 피해지의 토양 물리화학적 성질은 양분과 수분에 대한 보유 및 공급능력의 상대적 저하로 아까시나무 임분이 다른 환경 스트레스에 보다 민감하게 반응할 수 있음을 반영한다.

HCCI 엔진용 산화촉매의 반응특성 (Reaction Characteristics of Oxidation Catalysts for HCCI Engine)

  • 박성용;김화남;최병철
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제34권2호
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    • pp.165-171
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    • 2010
  • HCCI 엔진은 배출가스 중 PM과 NOx 가 저감되나, 일반적으로 상용디젤 엔진보다 HC, CO 가 증가하는 특성을 보인다. 특히 과도한 HC 에서 발생하는 SOF 로 인해 total PM 에 영향을 미친다. 이는 HCCI 엔진에서 DOC 를 통한 HC 저감이 중요하며 HC 의 정화성능이 우수한 OC 의 개발이 필요하다. 실험은 모델가스를 이용하여 2Pt/1Pd 의 충전량이 다른 3 종의 OC(600cpsi cordierite)를 가지고 수행하였다. OC 에서 HC, SV, $H_2O$, $O_2$의 조건을 달리하여 OC 성능특성을 $LOT_{50}$에서 평가하였다. 그 결과 CO 는 $170^{\circ}C$에서 3 종의 촉매 모두 90% 이상의 정화특성을 나타내었고 Pd 가 충전 된 OC 는 열화 된 후 Pt 만충전 된 OC 보다 우수한 내구특성을 나타내었다. Fresh 와 aged 된 OC 에서 SV 의 증가 및 $H_2O$의 반응참여는 $LOT_{50}$성능이 낮아지는 결과를 나타내었다.

몇 가지 아미노산으로 변성한 $[Ru(v-bpy)_3]^{2+}$ 고분자 피막 전극을 이용한 수은의 정량 (Determination of Mercury at Electrodes Modified with Poly-$[Ru(v-bpy)_3]^{2+}$ Incorporating Amino Acids)

  • 차성극
    • 대한화학회지
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    • 제40권8호
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    • pp.542-548
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    • 1996
  • 전기 화학적으로 중합한 $[Ru(v-bpy)_3]^{2+}$의 다양이온성 고분자 피막에 이온교화법으로 회합시킨 리간드, 즉 methionine, serine 및 threonine으로 변성한 전극을 이용하여 용액 중에 수은을 정량하였다. 이때 분석적 신호는 전극 표면에 고정된 수은/리간드 착물의 산화-환원 응답이다. 이 고분자 피막을 전기적으로 중합할 때 사용한 지지 전해질은 $KPF_6$와 TBAP였으며, 각 경우 고분자 형태와 이에 따른 산화벗김전극의 응답을 비교하였다. $KPF_6$을 쓴 경우 수은 정량에 높은 감도를 나타냈는데, 이는 피막의 다공성이 아주 커서 피막의 내부까지 리간드들의 회합이 용이한데서 온 결과이다. 특히, 이고분자 변성 전극은 10회 이상의 정량이 가능하였으며, logi/r 대 log[Hg]로 도시한 검정 곡선이 1.0{\times}10^{-8}{\sim}1.0{\times}10^{-2}M$농도 범위에서 0.99의 좋은 상관관계를 보였고, 각각의 상대 표준편차가 5-8%였다. 사용한 리간드들 중 전기화학적 응답이 가장 큰 serine이 수은과 안정도 상수가 8.54로 가장 컸으며, methionine 과 threonine의 값은 각각 7.80과 7.04였다.

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