• Applied Microscopy
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• v.51
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• pp.8.1-8.7
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• 2021

Growing demands for comprehending complicated nano-scale phenomena in atomic resolution has attracted in-situ transmission electron microscopy (TEM) techniques for understanding their dynamics. However, simple to safe TEM sample preparation for in-situ observation has been limited. Here, we suggested the optical microscopy based micro-manipulating system for transferring TEM samples. By adopting our manipulator system, several types of samples from nano-wires to plate-like thin samples were transferred on micro-electro mechanical systems (MEMS) chip in a single step. Furthermore, the control of electrostatic force between the sample and the probe tip is found to be a key role in transferring process.

• Korean Chemical Engineering Research
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• v.44 no.5
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• pp.513-519
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• 2006

We developed two kinds of the microchip for application to electrophoresis based on both glass and quartz employing the MEMS fabrications. The poly-Si layer deposited onto the bonding interface apart from channel regions can play a role as the optical slit cutting off the stray light in order to concentrate the UV ray, from which it is possible to improve the signal-to-noise (S/N) ratio of the detection on a chip. In the glass chip, the deposited poly-Si layer had an important function of the etch mask and provided the bonding surface properly enabling the anodic bonding. The glass wafer including more impurities than quartz one results in the higher surface roughness of the channel wall, which affects subsequently on the microflow behavior of the sample solutions. In order to solve this problem, we prepared here the mixed etchant consisting HF and $NH_4F$ solutions, by which the surface roughness was reduced. Both the shape and the dimension of each channel were observed, and the electroosmotic flow velocities were measured as 0.5 mm/s for quartz and 0.36 mm/s for glass channel by implementing the microchip electrophoresis. Applying the optical slit with poly-Si layer provides that the S/N ratio of the peak is increased as ca. 2 times for quartz chip and ca. 3 times for glass chip. The maximum UV absorbance is also enhanced with ca. 1.6 and 1.7 times, respectively.

• Journal of Satellite, Information and Communications
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• v.12 no.2
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• pp.11-14
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• 2017

In this paper, we introduce a method of light focusing effect using prism structure to solve optical discontinuity of conventional external signage LED panels. The prims structures were patterned on a transparent polycarbonate substrate with MEMS and femto-second laser process. We have confirmed that the patterned prism structures on the substrate made artificial LED lights on empty space between the panels by light guide effect of the structure. The artificial light's lateral positions were controlled by thickness of polycarbonate substrate. This cost effective prim patterned transparent film can be utilized on digital signage LED panels to achieve good optical communication.

• Journal of Sensor Science and Technology
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• v.14 no.1
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• pp.16-21
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• 2005

This paper presents the development of the optical switch using magnetic behavior of magnetic fluids, which is expected to be used broadly in high-speed information communication. The magnetic fluids for switching an incident light, have the magnetic characteristics of magnetic materials and fluidity of liquids, simultaneously. The relations are derived between the intensity of magnetic field and the angle of optical fiber which is bent by a behavior of magnetic fluid when the magnetic field is applied. When optical switch is implemented by the movement of liquid using magnetic fluid, the existing problem of durability for optical switch will be improved. Thus, this study shows the feasibility of the application for the optical switches using magnetic fluids.

• Journal of the Korean Society of Mechanical Technology
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• v.13 no.4
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• pp.93-99
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• 2011

This paper presents a new type of optical silicon accelerometer using deep reactive ion etching (DRIE) and micro-stereolithography technology. Optical silicon accelerometer is based on a mass suspended by four vertical beams. A vertical shutter at the end of the mass can only moves along the sensing axis in the optical path between two single-mode optical fibers. The shutter modulates intensity of light from a laser diode reaching a photo detector. With the DRIE technique for (100) silicon, it is possible to etch a vertical shutter and beam. This ensures low sensitivity to accelerations that are not along the sensing axis. The microstructure for sensor packaging and optical fiber fixing was fabricated using micro stereolithography technology. Designed sensors are two types and each resonant frequency is about 15 kHz and 5 kHz.

• Proceedings of the IEEK Conference
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• 1999.11a
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• pp.905-908
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• 1999

In this paper, we present a polysilicon actuator on silicon wafer using surface micromachining technology which employs an electrostatic stepwise driven Scratch Drive Actuator to generate a force that can move an external object. For optical applications, we propose wavelength selector using distributed feedback structures and this micro actuator.

• The Optical Journal
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• s.146
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• pp.23-27
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• 2013

스마트폰으로 변화시키는 일상생활과 사회문화의 중심에 디스플레이가 있어, 스마트폰 업체는 시장에서 우위를 점하기 위한 가장 중요한 전략으로 디스플레이를 선택하고 있다. 스마트폰 제품을 구성하는 프로세서, 통신부품, 메모리, GPS 센서 등의 하드웨어와 운영체제 및 응용소프트웨어, 유저 인터페이스 등의 소프트웨어, MEMS, 터치, 음성, 동작 인식 등의 센서 기술이 급속히 발전함에 따라 인터넷 및 멀티미디어 기반에서 클라우드, Exchange 서버 등의 사용자 경험을 중요시하는 모바일 컴퓨터 기반으로 스마트폰의 기술 환경이 급속히 변화하고 있다. 이러한 스마트폰 기술 환경 변화에 대응하기 위한 가장 필수적인 요소는 스마트폰 디스플레이로, 대형화, 초고해상도화, 초슬림화되고 있는 디스플레이가 스마트폰 경쟁의 중심에 있다.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2003.02a
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• pp.278-279
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• 2003

최근 정보, 전자, 광, 반도체 등 각종 첨단산업에서는 다양한 형태와 재료의 가공방법이 요구되고 있으며 요구되는 부품의 정밀도도 마이크로 단위에서 서브 마이크로 단위까지의 고도의 정밀도를 요하는 기술들이 점차 늘어가고 있다. 또 더욱 더 소형화 되어가고 있는 마이크로 부품은 기존의 2차원 및 준 3차원에서 완전한 3차원 형태의 기술로 발달하고 있으며 현재 연구가 활발히 진행되고 있는 MEMS 분야에서 구동부 부품이라든가 또는 그를 지지하는 구조체로 쓰일 수 있어 그 활용 가치는 응용에 따라 폭이 넓다고 할 수 있다. (중략)

• The Optical Journal
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• s.128
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• pp.38-41
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• 2010

HMD(Head mounted Display)는 보안경이나 헬멧 형태로 눈앞의 지근거리에 초점이 형성된 가상스크린을 보는 안경형 모니터 장치로서 예전에는 군사용 시뮬레이션이나 가상현실(VR-Virtual Reality)을 실현하기 위해 개발되었으며, 양쪽 눈의 근접한 유치에 설치된 1인치 이하의 LCD, OLED, MEMS panel 등 마이크로 디스플레이에서 발생되는 이미지를 광학시스템을 통해 확대하여 대형 가상화면을 형성한다. IT 산업의 비약적인 발전에 힘입어 휴대용 동영상 및 모바일 정보검색, 3D의 시대가 대두됨에 따라 휴대폰이나 PMP의 작은 화면으로는 만족하지 못하는 소비자의 수요에 적합한 개인 휴대용 모니터 장치로, 3D를 구현하는 안경형 모니터로서 향후 크게 형성될 모바일 산업의 핵심제품이 될 전망이다.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2003.07a
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• pp.22-23
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• 2003

광섬유 가변 감쇠기는 광증폭기, add／drop 모듈, Mux／Demux, 광송수신기 등 중요한 광통신 시스템의 입력 및 출력 광신호 레벨을 적절하게 제어하기 위해 요구되는 중요한 소자이다. 가변 감쇠기는 높은 신뢰성, 높은 해상도, 작은 삽입손실, 낮은 편광 및 파장 의존성 손실 등이 요구되어 진다. 가변 광감쇠기는 평면 기판에 형성된 도파로 의 열광학 효과나 전기광학 효과를 이용하는 기법과 MEMS 기술에 기초한 방법이 잘 알려져 있다. (중략)