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ICP Poly Etcher를 이용한 RF Power와 HBr Gas의 변화에 따른 Polysilicon의 건식식각 (Dry Etching of Polysilicon by the RF Power and HBr Gas Changing in ICP Poly Etcher)

  • 남상훈;현재성;부진효
    • 한국진공학회지
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    • 제15권6호
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    • pp.630-636
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    • 2006
  • 플래시 메모리 반도체의 고집적화와 고밀도화가 진행함에 따라 플래시 메모리의 트랜지스터 안 선폭을 중심으로 게이트 패턴의 미세화가 진행 중이다. 최근 100 nm 이하의 선폭을 구현하기 위해서 ONO(oxide-nitride-oxide)를 사용하기 위한 연구가 개발 중이고, 이러한 100 nm이하의 미세 선폭으로 갈수록 식각 속도와 식각의 프로파일은 중요한 요인으로 작용하고 있다. ICP 식각 장비를 이용하여, power를 50 W 증가 하였을 때, 각각 식각 속도와 포토레지스트와의 선택비를 확인 한 결과 platen power를 100 W로 올렸을 경우 가장 좋은 결과를 나타내었다. 100 W에서 HBr가스의 유량에 변화를 주었을 경우 가스의 양을 증가 할수록 식각 속도는 감소하였지만, 포토레지스트와의 선택비는 증가함을 보였다. 유도결합 플라즈마 식각 장비를 가지고 platen power를 100 W, HBr gas를 35 sccm 공급하여 하부 층에 노치가 형성이 안되고, 식각 속도 320 nm/min, 감광액과의 선택비 3.5:1, 측면식각 프로파일이 수직인 공정 조건을 찾았다.

열전지의 신뢰성에 미치는 파이로테크닉 부품의 특성분석 (Performance Analysis of Pyrotechnic Devices on the Reliability of Thermal Batteries)

  • 정해원;강승호;김기열;조장현;류병태;백승수
    • 한국추진공학회지
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    • 제23권1호
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    • pp.116-123
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    • 2019
  • 열전지의 전해질은 용융염이 주성분이라서 용융염 전지라고도 불린다. 용융염 전해질은 평소에는 전기가 흐르지 않는 고체이지만, 화약 열원에 의해 녹으면 탁월한 이온 전도체가 된다. 따라서 열전지는 일종의 화약 전지이다. 화약의 열에너지로 용융염 전해질을 녹여야만 비로소 작동하게 되기 때문이다. 열전지에 사용되는 파이로테크닉 부품은 착화기, 점화스트립, 열원이 있다. 이들 파이로테크닉 부품은 극심한 환경조건에서도 안정적으로 전원을 공급해야 하는 유도 포탄용 열전지의 신뢰도는 물론 성능에도 큰 영향을 미친다. 노치형 착화기는 열원 착화 확률이 높았고, 필름형 착화기는 안전성을 향상시키는 것으로 나타났다. 열지에 금속 산화물 첨가를 통해 연소속도를 향상시킬 수 있었고, 분사형 착화기와 병행 사용하여 착화 신뢰성을 크게 높일 수 있었다. 2단계 환원 공정을 통해 산호 모양의 고순도 Fe 입자를 안전하게 얻을 수 있었다.

3D Textile 프리폼 제조 및 복합재료 기계적 특성 연구 (Manufacture of 3D Textile Preform and Study on Mechanical Properties of Composites)

  • 조광훈;;김현우;이정운;한중원;변준형;조치룡
    • Composites Research
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    • 제32권1호
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    • pp.65-70
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    • 2019
  • 항공기 복합재료 날개 구조는 대부분 접착 혹은 패스너로 체결되어 있는데, 이러한 적층 구조 복합재료는 층간 강도가 취약하여 층간 분리가 일어나기 쉽다. 이러한 적층 복합재료의 단점을 보완하기 위해 두께 방향의 섬유를 보강한 3차원 직조형 복합재료를 통하여 강도, 손상 내구성, 충격 및 피로 하중을 향상시킬 수 있다. 또한, 자동화된 직조 공정에 의하여 단일 구조 near-net-shape의 프리폼 제조가 가능하기 때문에 공정 단축, 체결 부품 감소로 복합재료 전체 가격을 절감할 수 있다. 따라서 본 연구에서는 3차원 직조형 복합재료의 항공기 구조물 적용 가능성을 확인하기 위하여 3차원 프리폼의 기본적인 구조인 orthogonal(ORT), layer-to-layer(LTL), through-the-thickness(TTT) 패턴을 직조하고 이를 복합재료로 성형하여 압축 시험, 인장 시험, Open-hole 인장 시험을 하였다. 이 중 orthogonal 직조 복합재료가 인장 및 압축 탄성계수와 강도 모두 가장 높았으며 노치 민감도에서도 orthogonal 복합재료가 일방향 적층복합재료나 패브릭 적층 복합재료에 비하여 가장 우수한 특성을 보였다.

광대역 동축선로 임피던스 변환회로의 동작 특성 분석 (The analysis of the operating characteristic for the wideband coaxial line impedance transformer)

  • 박웅희
    • 한국정보통신학회논문지
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    • 제23권2호
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    • pp.165-172
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    • 2019
  • 두 개 이상의 동축선을 사용하여 한 쪽은 동축선을 직렬로 연결하고, 반대 쪽은 동축선을 병렬로 연결하면 광대역에서 동작하는 임피던스 변환회로가 된다. 동축선을 이용한 광대역 임피던스 변환회로는 동축선의 외곽 도체를 임피던스 변환에 이용하기 때문에 수식 또는 시뮬레이션 프로그램을 통한 예측이 매우 어렵다. 본 논문에서는 ${\lambda}/4$-마이크로스트립 선로 임피던스 변환회로의 선로 신호 감쇄에 대한 전달 특성(S21) 해석을 바탕으로 $25{\Omega}$ 동축선 두 개를 이용한 광대역 4:1($50{\Omega}:12.5{\Omega}$) 전송선로 임피던스 변환회로를 제작하여 동작 특성을 살펴보았다. 두 개의 동축선을 이용한 광대역 임피던스 변환기는 동축선의 길이를 90도(${\lambda}/4$)로 인식하는 주파수에서 신호 전달 특성(S21)이 급격히 감소하는 노치 특성이 발생하였다. 또한, 동축선 길이의 $0.06{\sim}0.2{\lambda}$에 해당하는 주파수 범위에서 신호 전달특성(S21) -0.2dB 이내의 값을 가졌다. 이러한 신호 전달특성(S21)은 출력 단에 연결된 마이크로스트립 선로의 길이 변화를 통해 약간의 동작 주파수 범위 변화와 원하는 주파수에서 최적의 신호 전달특성(S21)을 설정할 수 있음을 확인하였다.

하악골 이단술을 시행한 환자에서 중립대를 활용한 상하악 총의치 수복 증례 (Neutral zone approach for rehabilitation in a patient who underwent mandibulotomy: A case report)

  • 신희도;이학영;김지환
    • 대한치과보철학회지
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    • 제61권1호
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    • pp.18-25
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    • 2023
  • 본 증례는 65세 남환으로, 10년 전 편도암으로 하악골이단술을 시행한 환자에서 중립대를 활용한 상하악 총의치 수복 증례이다. 본 환자는 무치악 기간이 짧아 치초제의 흡수가 거의 없으며, 혀의 운동기능에도 이상이 없었지만, 수술 이후의 변화로 인해 하악의 후구치 삼각융기가 상악의 구상절흔보다 안쪽에 위치해 있으며 하악의 구치부 치조제는 상대적으로 설측으로 돌아간 구조를 보였다. 만약 통상적으로 해부학적 지표를 참고하여 치아를 배열한다면, 혀의 기능 공간을 침범하게 되며, 이는 의치의 안정성을 저하시킬 것이다. 이런 경우 중립대 개념을 적용한 의치의 제작은 좋은 참고점이 될 수 있을 것이다. 연성 이장재를 사용하여 중립대를 인기하였으며, 이를 인덱스로 제작하여 치아배열을 시행하였다. 중립대의 가장 큰 장점은 의치의 안정을 얻는 것에 있다. 본 환자의 경우 하악 좌측 구치부가 혀 공간을 침범하지 않도록 구치 치아의 설측배열 한계를 얻기 위해 중립대 기법을 적용하였다. 특히, 치조제의 흡수로 의치의 안정성을 얻기 어려운 난증례 환자의 경우 이러한 방법을 사용한다면 의치의 안정성 면에서 더욱 좋은 결과를 얻을 수 있을 것이라 보기에 본 증례를 보고하는 바이다.

고밀도 폴리에틸렌 융착부에 대한 단기간 파손 평가법 개발 - 한계하중 적용 - (Development of a Short-term Failure Assessment of High Density Polyethylene Pipe Welds - Application of the Limit Load Analysis -)

  • 류호완;한재준;김윤재;김종성;김정현;장창희
    • 대한기계학회논문집A
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    • 제39권4호
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    • pp.405-413
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    • 2015
  • 최근 미국에서는 가동기간이 오래된 원전 매설배관에서 부식 및 침식에 의해 삼중수소 누설로 지하수가 오염되는 사례가 급증하고 있다. 따라서, 현재 원전 안전등급 매설배관으로 사용되고 있는 금속재료의 배관을 대신해서 부식 및 침식 등의 열화 손상에 대한 저항성이 우수한 고밀도 폴리에틸렌(HDPE) 배관을 ASME Code Class 3 안전계통 배관으로 사용하기 위한 연구가 수행되고 있다. 본 연구에서는 발전소 가동 중 매설배관에 가해질 수 있는 하중과 온도 범위를 바탕으로 HDPE 배관 융착부에 대한 인장 시험과 저속균열성장 (SCG) 시험을 수행하였다. 시험 결과로 얻은 SCG 시험편의 파단면을 분석하여 HDPE 재료의 파손 기구를 파악하였다. 이를 바탕으로 3D 유한요소 해석을 이용하여 균열이 있는 HDPE 재료가 버틸 수 있는 한계하중에 대한 검증을 수행하였다.

급성 후방 십자 인대 파열의 관절경하 봉합술 및 자가 슬괵 이식건 보강술 - 수술 술기 - (Arthroscopic Repair of Acute Posterior Cruciate Ligament Rupture with Autogenous Hamstring Tendon Graft Augmentation - Technical Note)

  • 안진환;이상학;성기룡
    • 대한관절경학회지
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    • 제9권1호
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    • pp.70-76
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    • 2005
  • 목적: 대퇴 근위 부착부가 파열된 급성 후방 십자 인대 파열에 있어서 후방 경격막 도달법을 이용한 관절경적 봉함술 및 보강술을 소개하고자 한다. 수술 술기: 슬관절의 관절경적 기본검사 후, 후내측 도달법과 후외측 도달법을 개설하여 후방 경격막 도달법을 확보한 후 파열되어 후방으로 이동된 후방 십자 인대 다발을 후내측 관절경적 시야 하에서 전내측에서 삽입한 Suture hook을 이용하여 봉합한다. 이 봉합사를 전내측으로 빼내어 견인하여 파열된 인대 다발을 과간 절흔으로 보낸 후 전방에서 추가 봉합을 시행한다. 남아 있는 후방 십자 인대 다발을 보존하면서 경골 및 대퇴골 터널을 만든 후에 자가 단일 다발 반건양 및 박 이식건을 터널을 통해 관절 내로 통과시키고 대퇴 터널을 통과 시킨 후방 십자 인대 봉합사과 함께 고정한다. 결론: 급성 후방 십자 인대 손상 시 특히, 대퇴 근위 부착부 파열의 경우 파열된 다발을 후방에서 관절경적 봉합술을 시행할 수 있으며 후방 경격막 도달법을 이용하여 남아있는 다발에 최소한의 손상을 주면서 경골 및 대퇴골 터널을 만들고 자가 슬괵 이식건을 보강함으로써 좋은 결과가 기대된다.

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Flowable 및 microfill 복합레진으로 충전된 제 5급와동에서 load cycling 전,후의 미세변연누출 비교 (MICROLEAKAGE OF MICROFILL AND FLOWABLE COMPOSITE RESINS IN CLASS V CAVITY AFTER LOAD CYCLING)

  • 강석호;김오영;오명환;조병훈;엄정문;권혁춘;손호현
    • Restorative Dentistry and Endodontics
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    • 제27권2호
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    • pp.142-149
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    • 2002
  • Low-viscosity composite resins may produce better sealed margins than stiffer compositions (KempScholte and Davidson, 1988: Crim, 1989). Plowable composites have been recommended for use in Class V cavities but it is also controversial because of its high rates of shrinkage. On the other hand, in the study comparing elastic moduli and leakage, the microfill had the least leakage (Rundle et at. 1997) Furthermore, in the 1996 survey of the Reality Editorial Team, microfills were the clear choice for abfraction lesions. The purpose of this study was to evaluate the microleakage of 6 compostite resins (2 hybrids, 2 microfills, and 2 flowable composites) with and without load cycling. Notch-shaped Class V cavities were prepared on buccal surface of 180 extracted human upper premolars on cementum margin. The teeth were randomly divided into non-load cycling group (group 1) and load cycling group (group 2) of 90 teeth each. The experimental teeth of each group were randomly divided into 6 subgroups of 15 samples. All preparations were etched, and Single bond was applied. Preparations were restored with the following materials (n=15) : hybrid composite resin [Z250(3M Dental Products Inc. St. Paul, USA), Denfil(Vericom, Ahnyang, Korea)], microfill [Heliomolar RO(Vivadent, Schaan, Liechtenstein), Micronew(Bisco Inc. Schaumburg, IL, USA)], and flowable composite[AeliteFlo(Bisco Inc. Schaumburg, IL, USA), Revolution(Kerr Corp. Orange, CA, USA)]. Teeth of group 2 were subjected to occlusal load (100N for 50,000 cycles) using chewing simulator(MTS 858 Mini Bionix II system, MTS Systems Corp. Minn. USA). All samples were coated with nail polish 1mm short of the restoration, placed in 2% methylene blue for 24 hours, and sectioned with a diamond wheel. Enamel and dentin/cementum margins were analyzed for microleakage on a sclale of 0 (no leakage) to 3 (3/3 of wall). Results were statistically analyzed by Kruscal-Wallis One way analysis, Mann-Whitney U-test, and Student-Newmann-Keuls method. (p = 0.05) Results : 1. There was significantly less microleage in enamel margins than dentinal margins of all groups (p<0.05) 2. There was no significant between six composite resin in enamel margin of group 1. 3. In dentin margin of group 1, flowable composite had more microleakage than others but not of significant differences. 4. there was no significant difference between six composite resin in enamel margin of group 2. 5. In dentin margin of group 2, the microleakage were R>A =H=M>D>Z. But there was no significant differences. 6. In enamel margins, load cycling did not affect the marginal microleakage in significant degree. 7. In enamel margins, load cycling did affect the marginal microleakage only in Revolution. (p<0.05).

전방십자인대 단일 다발 재건술에서 경경골 술기 및 전내측 삽입구를 이용한 대퇴골 터널의 기울기 (Femoral Tunnel Obliquity between the Transtibial and Anteromedial Portal Technique in Single Bundle Anterior Cruciate Ligament Reconstruction)

  • 이주홍;박종혁;배현경;김종길;왕성일
    • 대한정형외과스포츠의학회지
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    • 제9권1호
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    • pp.41-47
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    • 2010
  • 목적: 전방십자인대 단일 다발 재건술에서 경경골 터널과 전내측 삽입구를 이용한 대퇴골 터널의 기울기를 방사선학적으로 비교하였다. 대상 및 방법: 2006년 1월부터 2009년 12월까지 시행한 전방십자인대 재건술 132예 중 단일 다발 재건술의 대퇴골 터널 형성에 경경골 술기를 이용한 30예와 전내측 삽입구를 이용한 재건술 20예를 전후방, 과간 절흔상 및 측면 방사선 사진을 통해 관상면 및 시상면에서의 골 터널 기울기를 측정하였다. 결과: 관상면에서 대퇴 터널이 대퇴과간 관절면의 연결선과 이루는 각도는 경경골 술기의 경우 평균 $71^{\circ}$ (범위: $65^{\circ}{\sim}77^{\circ}$), 전내측 접근법은 평균 $51^{\circ}$ (범위: $39^{\circ}{\sim}60^{\circ}$)였으며 두 군간의 유의한 차이를 보였다(P<0.05). 관상면에서 경골 터널이 관절면과 이루는 각은 경경골 술기에서 평균 $55.7^{\circ}$ (범위: $49^{\circ}{\sim}68^{\circ}$), 전내측 접근법은 평균 $52.1^{\circ}$ (범위: $37^{\circ}{\sim}58^{\circ}$)를 보였다. 시상면상경골 터널이 관절면과 이루는 각은 경경골 술기에서 $62.6^{\circ}{\pm}5.4$, 전내측 접근법은 $60.1^{\circ}{\pm}2.7$로 유사한 값을 보였고, 대퇴 터널이 대퇴 후방 피질골의 연장선과 이루는 각은 경경골 술기에서 $22.7^{\circ}{\pm}7.8$, 전내측 접근법은 $30.2^{\circ}{\pm}6.9$로 통계적으로 유의하였다(P<0.05). 결론: 전방십자인대 단일 다발 재건술에서 전내측 삽입구를 이용한 대퇴터널 형성은 경경골 술기에 비해 관상면에서 보다 수평적이었고 후방 피질골로 부터의 기울기 증가를 보였다.

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Reproducibility of Regional Pulse Wave Velocity in Healthy Subjects

  • Im Jae-Joong;Lee, Nak-Bum;Rhee Moo-Yong;Na Sang-Hun;Kim, Young-Kwon;Lee, Myoung-Mook;Cockcroft John R.
    • International Journal of Vascular Biomedical Engineering
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    • 제4권2호
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    • pp.19-24
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    • 2006
  • Background: Pulse wave velocity (PWV), which is inversely related to the distensibility of an arterial wall, offers a simple and potentially useful approach for an evaluation of cardiovascular diseases. In spite of the clinical importance and widespread use of PWV, there exist no standard either for pulse sensors or for system requirements for accurate pulse wave measurement. Objective of this study was to assess the reproducibility of PWV values using a newly developed PWV measurement system in healthy subjects prior to a large-scale clinical study. Methods: System used for the study was the PP-1000 (Hanbyul Meditech Co., Korea), which provides regional PWV values based on the measurements of electrocardiography (ECG), phonocardiography (PCG), and pulse waves from four different sites of arteries (carotid, femoral, radial, and dorsalis pedis) simultaneously. Seventeen healthy male subjects with a mean age of 33 years (ranges 22 to 52 years) without any cardiovascular disease were participated for the experiment. Two observers (observer A and B) performed two consecutive measurements from the same subject in a random order. For an evaluation of system reproducibility, two analyses (within-observer and between-observer) were performed, and expressed in terms of mean difference ${\pm}2SD$, as described by Bland and Altman plots. Results: Mean and SD of PWVs for aorta, arm, and leg were $7.07{\pm}1.48m/sec,\;8.43{\pm}1.14m/sec,\;and\;8.09{\pm}0.98m/sec$ measured from observer A and $6.76{\pm}1.00m/sec,\;7.97{\pm}0.80m/sec,\;and\;\7.97{\pm}0.72m/sec$ from observer B, respectively. Between-observer differences ($mean{\pm}2SD$) for aorta, arm, and leg were $0.14{\pm\}0.62m/sec,\;0.18{\pm\}0.84m/sec,\;and\;0.07{\pm}0.86m/sec$, and the correlation coefficients were high especially 0.93 for aortic PWV. Within-observer differences ($mean{\pm}2SD$) for aorta, arm, and leg were $0.01{\pm}0.26m/sec,\;0.02{\pm}0.26m/sec,\;and\;0.08{\pm}0.32m/sec$ from observer A and $0.01{\pm}0.24m/sec,\;0.04{\pm}0.28m/sec,\;and\;0.01{\pm}0.20m/sec$ from observer B, respectively. All the measurements showed significantly high correlation coefficients ranges from 0.94 to 0.99. Conclusion: PWV measurement system used for the study offers comfortable and simple operation and provides accurate analysis results with high reproducibility. Since the reproducibility of the measurement is critical for the diagnosis in clinical use, it is necessary to provide an accurate algorithm for the detection of additional features such as flow wave, reflection wave, and dicrotic notch from a pulse waveform. This study will be extended for the comparison of PWV values from patients with various vascular risks for clinical application. Data acquired from the study could be used for the determination of the appropriate sample size for further studies relating various types of arteriosclerosis-related vascular disease.

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