• 반도체디스플레이기술학회지
• /
• 제14권3호
• /
• pp.61-66
• /
• 2015

Recently, the major trends of NIL are high throughput and large area patterning. For UV NIL, if it can be proceeded in the non-vacuum environment, which greatly simplifies tool construction and greatly shorten process times. However, one key issue in non-vacuum environment is air bubble formation problem. In this paper, numerical analysis of bubble defect of UV NIL is performed. Fluent, flow analysis focused program was utilized and VOF (Volume of Fluid) skill was applied. For various resist-substrate and resist-mold angles, effects of velocity inlet and residual layer thickness of resist on bubble defect formation were investigated. The numerical analyses show that the increases of velocity inlet and residual layer thickness can cause the bubble defect formation, however the decreases of velocity inlet and residual layer thickness take no difference in the bubble defect formation.

• Steel and Composite Structures
• /
• 제25권1호
• /
• pp.93-104
• /
• 2017

In the present work, the effect of hygrothermal aging on the glass fibre and epoxy matrix interface has been investigated by destructive and non-destructive techniques. The glass fiber reinforced polymer (GFRP) composite laminates were prepared using Vacuum Assisted Resin Infusion Molding (VARIM) technique and the specimens were immersed in simulated seawater, followed by quantitative measurement. Besides this, the tensile tests of GFRP specimens revealed a general decrease in the properties with increasing aging time. Also, exposed specimens were characterized by a non-destructive ultrasonic guided Lamb wave propagation technique. The experimental results demonstrate a correlation between the drop in ultrasonic voltage amplitude and fall in tensile strength with increasing time of immersion. Hence, the comparison of the transmitted guided wave signal of healthy vis-a-vis specimens subjected to different extents of hygrothermal aging facilitated performance evaluation of GFRP composites.

• Plant Biotechnology Reports
• /
• 제5권3호
• /
• pp.217-224
• /
• 2011

Non-heading Chinese cabbage (Brassica rapa L. ssp. chinensis) is a popular vegetable in Asian countries. The diamondback moth (DBM), Plutella xylostella (L.), an insect with worldwide distribution, is a main pest of Brassicaceae crops and causes enormous crop losses. Transfer of the anti-insect gene into the plant genome by transgenic technology and subsequent breeding of insect-resistant varieties will be an effective approach to reducing the damage caused by this pest. We have produced transgenic non-heading Chinese cabbage plants expressing the potato proteinase inhibitor II gene (pinII) and tested the pest resistance of these transgenic plants. Non-heading Chinese cabbages grown for 45 days on which buds had formed were used as experimental materials for Agrobacterium-mediated vacuum infiltration transformation. Forty-one resistant plants were selected from 1166 g of seed harvested from the infiltrated plants based on the resistance of the young seedlings to the herbicide Basta. The transgenic traits were further confirmed by the Chlorophenol red test, PCR, and genomic Southern blotting. The results showed that the bar and pinII genes were co-integrated into the resistant plant genome. A bioassay of insect resistance in the second generation of individual lines of the transgenic plants showed that DBM larvae fed on transgenic leaves were severely stunted and had a higher mortality than those fed on the wild-type leaves.

• Applied Science and Convergence Technology
• /
• 제25권3호
• /
• pp.47-50
• /
• 2016

Low temperature test for half-wave resonator (HWR) cryomodule is performed at the superfluid helium temperature of 2 K. The effective temperature is defined for non-uniform temperature distribution. Helium leak detection techniques are introduced for cryogenic system. Experimental set up is shown to make the low temperature test for the HWR cryomodule. The cooldown procedure of the HWR cryomodule is shown from room temperature to 2 K. The cryomodules is precooled with liquid nitrogen and then liquid helium is supplied to the helium reservoirs and cavities. The pressure of cavity and chamber are monitored as a function of time. The vacuum pressure of the cryomodule is not increased at 2 K, which shows leak-tight in the superfluid helium environment. Static heat load is also measured for the cryomodule at 2.5 K.

• 한국진공학회지
• /
• 제11권2호
• /
• pp.87-96
• /
• 2002

위성체가 작동하는 우주환경인 고진공상태에서는 위성체의 부품에서 발생 할 수 있는 outgassing으로 인해 위성체가 오염되어 위성체의 성능이 저하될 수 있으며, 특히 이차면경(second surface mirror) 및 광학렌즈 등을 오염시킴으로써 위성체 본연의 임무수행 실패라는 결과를 초래할 수도 있다. 따라서 지상에서 위성체의 부품에 대해 고온($85^{\circ}C$ 이상)과 고진공($5.0\times10^{-3}$ Pa 이하)의 상태를 모사하여 오염물질을 제거함으로써 outgassing의 발생을 막고, 아울러 오염근원을 검출할 수 있는 vacuum bake-out 시험이 필수적이라 할 수 있다. 이를 위해서 한국항공우주연구원 우주시험동에 설치된 bake-out 챔버를 이용하여 위성체 부품 중에서 SAR(Solar Array Regulator)와 MLI(Multi Layer Insulator)를 예를 들어 오염측정에 관한 연구를 수행하였다. 항공우주연구원의 bake-out 챔버는 rotary vacuum pump와 booster pump를 이용하여 5.0 Pa의 저진공을 형성하고, 2대의 cryopump를 이용하여$5.0\times10^{-3}$ Pa 이하의 고진공을 생성하게 된다. 또한 $180^{\circ}C$까지의 고온을 모사하기 위하여 챔버 shroud 안쪽에 ceramic 재질로 된 heater가 $30^{\circ}$간격으로 총 48개를 설치되어 있으며, 온도제어는 PID(Proportional Integral Differential) 제어 방식이 이용되었다. Vacuum bake-out 시험시에는 RGA(Residual Gas Analyzer)를 이용하여 각종 오염물질을 검출할 수 있고, TQCM(Thermoelectric Quartz Crystal Microbalance)을 사용하여 발생하는 오염물질의 방출률(outgassing rate)을 측정한다. 또한 필요시에는 IR/UV Spectrometer를 이용하여 witness plate에 흡착된 오염물질의 성분을 분석하여 위성체 부품으로의 적합성을 판단한다. SAR의 bake-out에서는 TQCM 측정결과 오염물질이 시간에 따라 감소추이는 보이지만 꾸준히 배출되고 있는 경향을 나타내고, RGA 분석결과 그 성분이 고분자 화합물로 추정되어 위성체 부품으로 사용하기에는 적절하지 못할 것으로 판단하였다. MLI의 bake-out에서는 RGA 및 witness plate를 이용한 오염측정 결과 특이한 오염물질을 발견할 수 없었다.

• 한국전자통신학회논문지
• /
• 제14권4호
• /
• pp.761-768
• /
• 2019

본 논문에서는 진공자외선(VUV)의 파장대를 활용한 저온 플라즈마 램프방식의 살균 및 정화기능과 수직형 히팅시스템의 기능을 결합한 플라즈마 히터 제품 개발을 목표로 한다. 이를 통해 온실이나 시설하우스 내의 작물의 재배환경을 개선하고 무가온저장고나 저장창고 등의 저장된 작물의 신선도를 올려 저장성을 증대시키고자 한다. 추가적으로 ICT 기술을 활용하여 사용자가 실시간으로 온실하우스 내의 변화를 확인하고 대응할 수 있도록 할 실시간 모니터링 기술도 접목시키고자 한다.

• 한국산학기술학회논문지
• /
• 제19권1호
• /
• pp.596-602
• /
• 2018

최근 나노임프린트 리소그래피 공정이 마이크로/나노 스케일의 소자 개발에 있어서 경제적으로 대량 생산할 수 있는 기술로 주목 받고 있다. 자외선경화 방식의 나노임프린트의 경우 상온 및 저압의 장점과 함께 비진공 환경에서 공정을 통하여 설비 비용의 저감과 생산공정의 고속화를 달성할 수 있다. 그러나 이 경우 비진공 환경에서 발생하는 기포결함의 문제를 해결해야만 한다. 본 연구에서는 비진공 환경에서의 자외선경화 방식의 나노임프린트 공정에서 몰드 중공부 단면의 형상과 기포결함 발생 관계를 연구하였다. 일반적으로 많이 사용되는 사각형 단면과 타원형 단면 그리고 삼각형 단면에 대하여 2차원 유동해석 및 VOF 방법을 통하여 기포결함을 시뮬레이션 하였고 단면의 형상과 다양한 접촉각에 따른 유동선단의 특성을 분석하였다. 해석결과 몰드 중공부 형상은 기포결함 발생에 매우 중요한 영향을 미치며, 고려된 형상 모두 몰드와의 접촉각이 작을수록, 기판과의 접촉각이 클수록 기포결함 발생 가능성이 작아짐을 알 수 있었다. 또한 타원형 형상이 기포결함 발생방지 측면에서 가장 효과적임을 확인하였다.

• 한국진공학회지
• /
• 제7권1호
• /
• pp.1-4
• /
• 1998

이온 펌프의 중심에 네그(Non-Evaporable Getters)가 삽입된 새로운 조합 펌프를 사용하여 극고진공 시스템을 구현하였다. 진공 용기는 터보 분자 펌프만으로도 극고진공에 성공하였던, $450^{\circ}C$에서 잘 산화된 304 스테인레스 스틸 쳄버를 사용하였다. 시스템의 압력은 Leybold사의 EXG(Extractor Gauge)로 측정하였으나, 본 실험에서의 최고 진공도는 이미 그 게이지의 측정 한계인 1~$2\times10^{-12}$torr범위를 훨씬 지나 게이지 지시가 $-0\times10^{-12}$torr를 읽교 있는 극고진공에 도달해 있었다. 이는 효과적인 네그 활성화로 수소 가스에 대한 배기 속도 를 크게 향상시켜준 결과라 볼 수 있다. 또한 본 실험은 극고진공 표면 분석 장치의 실현 가능성을 시사해주는 것으로, 앞으로의 초미세 표면 과학에 있어서 새로운 장을 열어줄 것 으로 기대된다.

• 한국진공학회지
• /
• 제6권S1호
• /
• pp.110-114
• /
• 1997

Development of metal ion source growth of high quality Cu metal film formation of non-stoichiometric $SnO_2$ films of Si(100), and modification fo polymer surface by low enregy ion beam have been carried out at KIST Ion Beam Lab. A new metal ion source with high ion beam flux has been developed by a hybrid ion beam (HIB) deposition and non-stoichiometric $SnO_2$ films are controlled by supplying energy. The ion assisted reaction (IAR) in which keV ion beam is irradiated in reactive gas environment has been deveolped for modifying the polymers and enhancing adhesion to other materials and advantages of the IAR have been reviewed.

• KIEAE Journal
• /
• 제16권1호
• /
• pp.5-10
• /
• 2016

Purpose: The energy consumption in buildings has continuously increased in some countries and it reaches almost 25% of the total energy use in korea. Therefore there are various efforts to minimize energy consumption in buildings, and the regulations on building envelope insulation have been tightened up gradually. To satisfy the building regulation, the use of vacuum insulation panels(VIPs) is increasing. VIP is a high performance insulation materials, so that it can be thinner than conventional insulation material. When VIP is applied in a building, it may cause thermal bridge, which occurs due to very low thermal conductivity compared to other building materials and the envelope of VIPs. Method: This study designed the capsulized VIPs using conventional insulation for reduction of the thermal bridge. Then designed VIPs were applied to a wall. The linear thermal transmittance and the effective thermal conductivity were analyzed by HEAT2 simulation program for two dimensional steady-state heat transfer. The result compared with a wall with non-capsulized VIPs. Result: It analyzed that the wall with capsulized VIPs had lower linear thermal transmittance and reduced the difference of the effective thermal transmittance with one dimensional thermal transmittance compared to that of the wall with non-capsulized VIPs.