Nano-scale CMOS에 적용하기 위한 Ni-Germanosilicide에서 Ni-Pd 합금을 이용한 Ni-Germanosilicide의 열안정성 향상 (Thermal Stability Improvement of Ni Germanosilicide using Ni-Pd alloy for Nano-scale CMOS Technology)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2005년도 하계학술대회 논문집 Vol.6
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- pp.31-32
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- 2005