Precision Linear Stage Characteristics and Control for Electron Beam Mastering of Next Generation Data Storage (차세대 광저장매체 마스터링을 위한 전자빔 가공용 진공환경 초정밀스테이지의 평가 및 제어)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 2008.11a
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- pp.601-602
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- 2008