PECVD a-$SiN_x$ :H 박막(薄膜)의 특성(特性)과 열적안정성(熱的安定性)
(Properties and Thermal Stability of PECVD a-$SiN_x$ :H Films.)
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- 태양에너지
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- 제6권1호
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- pp.12-23
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- 1986