• 제목/요약/키워드: N 손실

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반도체 세정액 내 용존 수소 가스가 웨이퍼 세정에 미치는 영향

  • 김혁민;강봉균;이승호;박진구;최은석;김인정;김봉우
    • 한국재료학회:학술대회논문집
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    • 한국재료학회 2009년도 춘계학술발표대회
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    • pp.26.1-26.1
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    • 2009
  • 최근 반도체 세정에 있어서 지난 40년 동안 지속적으로 사용되고 있는 알칼라인 기반의 RCA 세정법은 많은 초순수 및 화학액 소모량과 세정시 불필요한 박막의 손실, 환경적인 문제로 인하여 이를 대체하고자 하는 새로운 새정액 및 세정 방법에 대한 연구가 활발하게 이루어지고 있다. 특히 초순수에 가스를 혼합하여 메가소닉을 이용한 기능수 세정은 기존 RCA 세정액의 문제점들을 해결하기 위한 세정액으로 최근 반도체 제조 공정 뿐만 아니라 Photo mask, FPD 세정 공정에서 널리 이용되고 있다. 하지만 기능수에 대한 기초적인 특성 연구와 메가소닉에 의한 세정력 변화에 대한 연구는 부족한 상태이다. 본 연구에서는 고순도의 수소가스(99.999%)를 가스 접촉기, pHasorII (Entigris, USA) 와 순환 속도의 조절이 가능한 펌프, BPS-3 (Levitronix, USA) 를 이용하여 지속적으로 초순수와 수소가스를 혼합하는 방법으로 수소수를 제조하였으며, 용존 수소 농도계, DHDI-1 (TOA-DKK, Japan)으로 수소수의 농도를 확인하였다. 0.1 MPa 압력과, 3 LPM의 수소가스 유출속도에서 최대 2.0 ppm의 수소수를 얻을 수 있었으며, 수소수의 기초 특성을 평가하기 위하여 수소 농도 변화에 따른 pH, 표면 에너지를 측정하였다. 또한 압력 변화에 따른 반감기를 측정하여 bath형태의 세정기에서 적용 가능성을 평가하였다. 수소수의 세정력은 $Si_3N_4$ 입자가 임의로 오염된 실리콘 웨이퍼를 이용하여 bath 및 매엽식 세정기에서 수소수 농도와 메가소닉 형태 및 첨가제 변화에 따른 세정효율을 기존의 SC-1 세정액과 각각 비교 평가하였다. 기능수 발생장치에서 압력이 제거된 상태에서는 평균 20분의 반감기를 갖는 것이 관찰되었고, 압력이 유지된 상태에서는 수소수의 농도가 유지되는 것을 확인하였으며, pH의 경우 수소수의 농도가 점차 증가함에 따라 감소하여 2.0 ppm의 농도에서 pH 5.3정도의 값을 나타내었다. 표면 장력은 초순수와 비교했을 때 큰 변화가 없음을 확인할 수 있었다. Bath 형태의 세정기에서 메가소닉을 인가하여 수소수의 세정효율을 측정한 결과, 같은 조건에서 실험한 초순수와는 비슷하며, SC-1보다는 낮은 세정효율이 측정되었다. 반면 매엽식 세정기에서 동등한 조건의 실험을 실시한 결과, 수소수 세정에서 첨가제에 의한 영향으로 SC-1을 대체할 수 있는 높은 입자 제거효율을 가짐을 확인할 수 있었다.

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주사슬에 Trifluoromethyl 그룹을 갖는 Poly(benzoxazole imide)의 제조 및 난연 특성 (Preparation and Flame Retardancy of Poly(benzoxazole imide) Having Trifluoromethyl Group in the Main Chain)

  • 염진석;최재곤;이창훈
    • Elastomers and Composites
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    • 제47권4호
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    • pp.355-363
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    • 2012
  • 2,2-Bis(3-amino-4-hydroxyphenyl)hexafluoropropane 와 방향족 디이미드-디카르복실산을 thionyl chloride, triethyl amine 및 NMP 하에서 직접 중축합하여 trifluoromethyl group을 포함하는 일련의 poly(hydroxyamide)s(PHAs)를 제조 하였다. PHAs은 $35^{\circ}C$ DMAc 용액에서 0.54-0.96 dL/g의 고유점도를 보였다. 모든 PHAs은 여러 종류의 유기용매에 쉽게 용해되었으나, PBOs은 황산에 부분적으로 용해되는 것을 제외하고, 전혀 용해되지 않았다. PHAs은 열적고리화 반응에 의해서 흡열과 함께 PBOs로 전환되었다. PHAs의 최대 중량손실온도는 $559-567^{\circ}C$의 영역을 보였고, poly(benzoxazole imide)s(PBOs)은 47-59%의 비교적 높은 char 수득율을 보였다. PBOs의 Pyrolysis Combustion Flow Calorimeter(PCFC) 결과에서 12-19 W/g의 HRR 과 2.7-3.6 kJ/g의 total HR을 보였다. PBO 1의 HRR은 PBO 3 의 HRR (19 W/g)보다 37 % 낮은 12 W/g의 가장 낮은 값을 보였다.

PMN-PT-BT/Ag 복합체 제조 및 기계적, 유전적 특성 (Preparation of PMN-PT-BT/Ag Composite and its Mechanical and Dielectric Properties)

  • 임경란;정순용;김창삼;남산
    • 한국세라믹학회지
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    • 제39권9호
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    • pp.846-850
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    • 2002
  • 강유전체 물질인 PMN-PT-BT의 기계적 특성을 향상시키기 위한 Ag와의 복합체 제조를 MgO 졸로 분말 표면을 코팅하여 소결시 Ag의 이동을 제어하는 방법으로 시도하였다. PbO, $Nb_2O_5,\;TiO_2,\;BaCO_3$와 MgO 대신 $Mg(NO_3)_2$을 사용하여 볼밀로 혼합한 후, 건조된 분말을 950$^{\circ}C$/1h 열처리하여, 단일 페로브스카이트 상을 얻었다. 이 분말에 3.0 몰%의 $Ag_2O$을 혼합한 후, 550$^{\circ}C$/1h 열처리로 Ag 입자를 생성시키고, 이 혼합 분말에 1.0wt%의 MgO 졸을 첨가한 다음 550$^{\circ}C$/1h 열처리하여 표면 개질된 분말을 얻었다. 이 분말을 산소 분위기에서 1000$^{\circ}C$/4h 열처리한 소결체는 소결 밀도 7.84/$cm^3$, 실온 유전율 18400, 유전손실 2.4%, 비저항 $0.24{\times}10^{12}{\Omega}{\cdot}cm$의 수한 유전 특성과 굽힘강도 $120.7{\pm}11.26$ MPa와 파괴인성 $0.87{\pm}0.002\;MPam^{1/2}$을 보여 주었다. 결정립의 크기는 ∼4${\mu}m$이며, SEM과 SIMS 분석은 Ag는 ∼1${\mu}m$ 크기로, 과잉의 MgO는 ∼0.5${\mu}m$로 분포되어 있음을 알 수 있었다.

관광호텔의 화재손해 위험관리방안 - 화재발생현황과 대형화재사례 분석 중심 (A study on Fire Case and Countermeasure of Tourist Hotel)

  • 한석만;손정현;김종원
    • 한국재난정보학회 논문집
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    • 제8권4호
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    • pp.362-375
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    • 2012
  • 관광호텔은 숙박과 음식점, 운동, 휴양 등의 부대시설을 함께 갖춘 불특정 이용객과 투숙객 이 많은 복합시설로서 화재발생에 따른 인명피해와 재산손실에 매우 취약한 위험이 상존하는 시설이다. 본 연구에서는 관광호텔의 화재발생 현황에 대한 2001년부터 2010년까지 10 년간의 화재통계분석과 대형 호텔화재사례 15건을 분석하였다. 화재발생 장소는 호텔 객실 (33.2%)과 음식점 주방(11.8%)가 주요 발생장소이며 주요 화재원인인 전기화재(40.8%), 담배화재(14.5%), 용접 등 화기작업(9.2%) 등으로 나타났다. 또한 화재사례연구에서는 방화구획설치 및 관리 불량, 가연내장재 사용 등이 연구기간 동안 반복적으로 모든 사례에서 나타나서 주요 화재위험으로 분석되었다. 관광호텔은 이러한 화재위험의 특성에 따라 적합한 방화위험관리의 개발과 현장 운영이 필요하다. 예방점검, 사용자 교육 및 훈련, 투숙객의 화재예방안내 등의 적극적 예방관리가 필요하다. 또한 화재의 연소확대를 차단하기 위한 방화구획의 관리, 스프링클러 등의 자동소화설비를 설치가 필요하며, 가연성 물질의 사용 을 자제하여야 하고, 투숙객 피난 안전에 대한 신속한 조치, 비상절차 등과 관련된 비상대응규정의 운용이 매우 중요하다.

Terahertz Generation and Detection Using InGaAs/InAlAs Multi Quantum Well

  • 박동우;한임식;노삼규;지영빈;오승재;서진석;전태인;김진수;김종수
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2013년도 제45회 하계 정기학술대회 초록집
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    • pp.205-205
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    • 2013
  • 테라헤르쯔(terahertz: THz)파는 0.1~10 THz 의 범위로 적외선과 방송파 사이에 광대역 주파수 스펙트럼을 차지하고 있으며 직진성, 투과성, 그리고 낮은 에너지 (meV)를 가지고 있어 비 파괴적이고 무해한 장점을 지니고 있다. Ti:sapphire laser와 같은 femto-pulse source 등이 많은 발전이 되어 현재 많은 연구와 발전이 이루어지고 있다. femto-pulse source를 이용한 THz 응용에서는 높은 저항, 큰 전자 이동도, 그리고 아주 짧은 전하수명의 기판을 요구하는데 저온에서 성장한 (low-temperature grown : LT) GaAs는 격자 내에 Gallium 자리에 Arsenic이 치환 하면서 AsGa antisite가 발생하여 전하수명을 짧아지는 것을 응용하여 가장 많이 이용되고 있다. 현재 THz 응용분야에서 보다 작고 가격경쟁력이 있는 광통신을 이용한 THz photomixer등이 활발히 연구 하고 있다. 광섬유 내에서 손실과 분산이 최소값을 가지는 부분이 1.55 ${\mu}m$ 부근이고 In0.53Ga0.47As 기판을 이용하였을 때 여기에 완벽하게 만족하게 된다. 하지만 LT-InGaAs 의 경우 AsGa antisite로 인하여 carrier lifetime은 짧아지지만 높은 n-type 전하밀도를 가지게 된다. 이때 Be을 doping하여 전하밀도를 보상하여 높은 저항을 유지해야 하는데 Be의 활성화를 위해서는 열처리를 필요로 한다. 하지만 열처리를 하면 carrier lifetime이 길어지기 때문에 carrier lifetime과 저항을 적절히 조율해야 한다. 이는 물질자체의 특성이기 때문에 InGaAs는 GaAs보다 낮은 amplitude와 짧은 cut-off frequency를 가진다. 본 연구에서는 보다 높은 저항을 얻기 위하여 molecular beam epitaxy를 이용하여 semi-insulating InP:Fe 기판위에 격자 정합된 InGaAs:Be/InAlAs multi quantum well (MQW)를 온도별 ($250{\sim}400^{\circ}C$), 주기별 (50~150)로 성장을 하였고 이때 InGaAs layer의 Be doping level은 $2{\times}1018\;cm^{-3}$, Ex-situ annealing은 $550^{\circ}C$에서 10분으로 고정 하였다. THz 발생 실험에서는 InGaAs/InAlAs MQW은 4000 pA로 1,000 pA를 가지는 InGaAs epilayer보다 4배 높은 전류 신호를 얻을 수 있었고 모든 샘플이 2 THz에서 cut-off frequency를 가지고 있었다. THz 검출 실험에서는 LT-InGaAs:Be epilayer LT-InGaAs:Be/InAlAs, HT-InGaAs/InAlAs 샘플이 각각 180, 9000, 12000 pA의 전류신호를 가지고 있었고 모든 샘플이 2 THz에서 cut-off frequency를 가지고 있었다. HT-InGaAs/InAlAs MQW를 이용한 검출실험에서는 InGaAs layer가 defect free이지만 LT-InGaAs:Be/ InAlAs MQW 보다 높은 전류 신호를 얻을 수 있었다. 이는 InAlAs layer가 저항만 높이는 것뿐만 아니라 carrier trapping layer로써의 역할도 하는 것으로 사료된다.

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계속비 사업 확대로 인한 공공건설사업 파급효과 분석 (An Empirical Study on the Effect of public Construction Industry by Expansion of New Budget System)

  • 김상범;이정대;조지훈
    • 한국건설관리학회논문집
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    • 제9권3호
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    • pp.153-163
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    • 2008
  • 건설산업은 국내 총생산(GDF)기준의 약 15%를 차지하는 국가기간산업이며, 공공부분에 매년 약 50조원의 예산을 투입하여 경제, 사회발전의 기반이 되는 사회시설물의 건설과 정비사업을 수행 중에 있다. 공공 건설산업의 경우 사업이 대규모로 이루어지므로 효율적 관리를 통한 공사비 절감은 정부의 재정상태 및 사회발전에 크게 기여한다. 국내에서 공공공사의 지배적인 예산제도의 하나로서 활용되어온 장기계약제도는 공사연장 빈도도 높고, 그에 따른 손실비용 또한 막대하여 이에 대한 대책이 시급히 요구되어 왔다. 이를 개선하기 위하여 1999년 수립된 '공공건설효율화종합대책'에서는 계속비 사업의 확대를 추진하게 되었다. 본 연구에서는 국내 예산제도의 체계와 공공공사의 계약방식 비교/분석을 통하여 장기계속계약의 문제점들을 도출하였고, 계속비 사업이 공공공사에 미치는 영향을 정적으로 제시하여 향후 계속비 사업 확대가 건설사업에 미치는 파급효과를 분석하였다. 총 5개 기관, 72개의 개별사업의 데이터를 분석한 성과 측정결과, 계속비 사업이 장기계속공사 사업에 비하여 사업기간 단축에 따른 평균사업비의 0.13%, 절감효과뿐만 아니라, 연부액 증가로 인한 사업기간 단축, 공사효율화를 통하여 약 9.83%의 공사비 절감효과가 있는 것으로 추정되었다. 본 연구결과는 향후 공공공사 수행에 있어 예산상황에 알맞은 공사우선순위선정 및 계속비 사업 확대의 당위성을 입증하였다.

신경근전기자극치료가 암 환자의 근육 손실에 미치는 영향: 체계적 문헌고찰 (Effects of Neuromuscular Electrical Stimulation on Muscle Wasting with Cancer Patient: A Systematic Review)

  • 박은수;김종희;김수담;김동현;이은정;오민석;유화승
    • 한방재활의학과학회지
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    • 제33권4호
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    • pp.15-29
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    • 2023
  • Objectives The purpose of this study is to systematically review the effects of Neuromuscular Electrical Stimulation treatment on muscle wasting in cancer patients. Methods Randomized controlled trials (RCTs) were searched from seven online databases (PubMed, Cochrane Library, EMBASE, China National Knowledge Infrastructure, Oriental Medicine Advanced Searching Integrated System, Korean studies Information Service System, Research Information Sharing Service. The selected RCTs were evaluated for methodological quality through the Cochrane RoB. Results A total of 126 articles were identified, and 4 randomized controlled trials were selected for systematic review. In one study, it was found that there were statistically significant improvements in the Health-Related Quality of Life (FACTH&N total score, p<0.001). Additionally, significant effects were observed in measurements that represented the size of the quadriceps muscle (cross-sectional area of Vastus lateralis and Rectus femoris, p=0.004), maximum muscle strength, the twitch response of resistance muscles, and voluntary activation (p<0.001). However, no significant differences were observed between the intervention and control groups in terms of quadriceps muscle strength in two other studies (p>0.05). Lastly, while one study showed no significant differences in muscle fiber characteristics between the two groups, it did report significant improvements in measurements related to mitochondria within muscle tissue and muscle strength in the intervention group (p<0.05). Conclusions Neuromuscular electrical stimulation can be a method used to improve muscle strength in muscle wasting of cancer patients, but it is difficult to see its effects as significant compared to other treatments.

수경재배 유출 배액(폐양액)의 비료 손실량 평가 연구 (A Study on the Evaluation of Fertilizer Loss in the Drainage(Waste) Water of Hydroponic Cultivation, Korea)

  • 손진관;윤성욱;권진경;신지훈;강동현;박민정;임류갑
    • 한국습지학회지
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    • 제25권1호
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    • pp.35-47
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    • 2023
  • 한국 시설원예 농업과 수경(양액)재배 방식은 증가하는 추세로 발생되는 배액(폐양액)의 관리 필요성이 확대되고 있다. 본 연구에서는 배출되는 폐양액의 비료 성분 양을 가격으로 평가하여 수처리비용 절감과 비료성분 재활용이라는 두가지 측면에서 기술개발과 활용 가능성을 알아보았다. 연구는 배출 배액의 수질환경 특성을 분석한 선행연구에서 제시한 분석결과를 바탕으로 비료성분의 유실 경제성을 평가하는 것으로 배출되는 배액의 총 배출량은 연간 259.7L·m2·-1을 적용하여 분석에 사용하였다. 토마토, 파프리카, 오이, 딸기 등 작물별 배액(폐양액)의 주요 수질 분석 결과를 바탕으로 평가하였으며, 인(P) 성분의 경우 인산(P2O5)의 양으로 환산하여 분석되었다. 질소(N)의 양은 토마토 1145.90kg·ha-1, 파프리카 920.43kg·ha-1, 오이 804.16kg·ha-1, 딸기가 405.83kg·ha-1로 평가되고 P2O5의 비료성분은 파프리카 830.65kg·ha-1, 토마토 622.32kg·ha-1, 오이 477.67kg·ha-1, 딸기 240.9·ha-1의 양만큼 배출하는 것으로 계산할 수 있다. 이 외에도 칼륨(K), 칼슘(Ca), 마그네슘(Mg)을 비롯해 철(Fe), 망간(Mn) 등 미량원소도 배출되는 것으로 분석되었다. 시중판매 비료가격을 기준으로 평균하여 계산한 항목별 kg당 가격은 질소(N) 860.7원, 인(P) 2,378.2원, 칼륨(K) 2,121.7원, 칼슘(Ca) 981.2원, 마그네슘(Mg) 1,036.3원, 철(Fe) 126,076.9원, 망간(Mn) 6,232.1원, 아연(Zn) 15,825.0원, 구리(Cu) 31,362.0원, 붕소(B) 4,238.0원, 몰리브덴(Mo) 149,041.7원으로 평가할 수 있다. 시중판매 비료가격을 기준으로 평균하여 계산한 항목별 kg당 가격과 앞서 분석한 작물별 폐양액의 농도, 수경재배의 평균적인 연간배출량 등을 종합적으로 고려하여 연간 유실되는 작물별 비료 유실액을 산출하였다. 분석결과 토마토의 경우 6,995,622.3원, 파프리카는 7,384,923.8원, 오이는 5,091,607.9원의, 딸기는 2,429,290.6원으로 평가되어 수경재배 4가지 작물 평균은 1ha 재배면적 기준 5,475,361.1원의 비료성분 유실이 확인되었다. 수경재배 배액을 하천으로 유출시켜 오염원으로 처리하는것 보다 배출 전 자체 처리 또는 타작물 활용을 통해 관리한다면 수처리 비용 절감과 더불어 가치있는 재이용 가능한 비료성분이 될 수 있다고 기대하였다.

홍국(Monascus nuruk) 분말을 첨가한 스폰지 케이크의 품질 특성 및 노화 억제 분석 (Quality Characteristics and Retarding Retrogradation of Sponge Cakes containing Red Yeast Rice(Monascus nuruk) Flour)

  • 송가영;김종희;오현빈;장양양;김영순
    • 한국조리학회지
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    • 제22권3호
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    • pp.11-21
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    • 2016
  • 본 연구에서는 소화와 혈액순환을 돕고, 항암, 향균, 콜레스테롤 생합성 억제, 혈압강하 등의 생리활성 기능을 함유한 홍국 분말을 스폰지 케이크에 첨가하여 가장 적합한 배합비율을 찾고자 하였으며, 홍국 스폰지 케이크의 품질 특성 및 노화 억제 영향을 살펴보았다. 홍국 분말은 동결 건조하여 40 mesh 체를 통과한 것을 사용하였고, 밀가루의 0%, 5%, 10%, 15% 및 20%로 첨가수준을 달리하여 control, RYR5, RYR10, RYR15 및 RYR20으로 스폰지 케이크를 제조하였다. 비중 측정 결과, RYR15가 0.57로 가장 낮은 비중을 나타내었으며, 굽기 손실율의 경우 대조군 및 첨가군 간에 유의적인 차이는 나타나지 않았다(p<0.05). 반죽 수율의 경우, RYR15가 96.61로 가장 높게 나타났다. 수분함량 측정결과, 대조군, RYR-5 및 RYR15가이 28.67%, 28.18% 및 26.82% 순으로 높은 수분함량을 나타내었다. 색도는 스폰지 케이크 외부의 L값(명도)의 경우 홍국 분말의 첨가량에 따라 L값이 증가하였고, 반면에 스폰지 케이크 내부의 L값은 첨가량에 따라 감소하는 경향을 보였다. a값(적색도)의 경우, 첨가량이 증가할수록 외부의 a값은 감소하였으며, 내부의 a값은 증가하는 경향을 보였다. b값(황색도)의 경우, 홍국 분말의 첨가량이 증가할수록 스폰지 케이크의 외부, 내부 모두 감소하는 경향을 보였다. pH의 경우, RYR5가 8.63으로 가장 높은 값을 나타내었으며, RYR15는 8.57로 가장 낮은 값을 나타내었다. 스폰지 케이크를 제조하여 60분간 방냉 후 조직감을 측정한 결과, 경도는 RYR15가 $163.33g/cm^2$로 가장 낮았으며, 탄력성은 시료간 유의적인 차이가 없었다(p<0.05). 응집성의 경우 RYR10이 133.06%으로 가장 높았다. 씹힘성의 경우, RYR10이 $391.63g{\cdot}cm$로 가장 높았으며, RYR15가 $169.92g{\cdot}cm$로 가장 낮았다. 노화 억제 분석을 위한 Avrami 방정식에서는 RYR15와 RYR20이 각각 0.0664와 0.4983으로 시료 중 가장 낮은 Avrami 지수(n)를 나타내었으며, 시간상수(1/k)는 RYR20이 200.00으로 가장 높게 나타났다. 관능 검사 결과, RYR15이 색(5.50), 향(4.95), 단맛(4.90), 씹힘성(4.75) 및 전반적인 기호도(4.60)에서 가장 높은 점수를 나타내었다.

중소기업 기술 유출에 대한 조기경보시스템 개발에 대한 연구 (Development on Early Warning System about Technology Leakage of Small and Medium Enterprises)

  • 서봉군;박도형
    • 지능정보연구
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    • 제23권1호
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    • pp.143-159
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    • 2017
  • 급속한 IT의 발전으로 인해 개인정보뿐만 아니라 기업이 보유하고 있는 핵심 기술 및 정보에 대한 유출 위협이 중요한 이슈로 인식되고 있다. 기업에게 있어서 보유하고 있는 핵심 기술은 기업의 생존 및 지속적으로 경쟁 우위를 차지하기 위해 매우 중요한 부분이다. 최근 기술 침해 사례가 많이 일어나고 있는데, 기술 유출은 기업에게 있어서 주가하락 등의 막대한 재무적인 손실을 가져올 뿐만 아니라, 기업의 신뢰에 손상을 입게 되고, 기업의 발전을 지연시키게 되는 악영향을 미치게 된다. 특히, 대기업에 비해 핵심기술이 기업 내 중요한 많은 부분을 차지하는 중소기업에 있어서 기술 유출에 대한 대비는 기업의 존립에 있어서 필수적인 요소로 볼 수 있다. 이처럼 정보 보안 관리의 필요성과 중요성이 대두되면서 기업 입장에서 조기에 기술 침해 위협에 대해 확인하고 대비할 필요가 있다. 본 연구에서는 기술 유출에 영향을 미치는 요인들을 탐색하는 실증 분석을 수행하고, 인공지능 알고리즘을 통해 기술유출 조기경보시스템을 개발하고자 한다. 구체적으로 본 연구에서는 중소기업이 보유한 기술 유출에 영향을 미치는 요인들을 로지스틱 회귀분석을 통해 확인해보고, 통계분석을 통해 검증된 요인들을 기반으로 인공지능 여러 기법들 중 하나인 Support Vector Machine을 활용하여 기술침해 가능성을 조기에 알려주는 모형을 개발하였다. 본 연구에서 제안하는 기술 유출 가능성에 대한 조기 경보 모형을 통해 기업 및 정부 관점에서 기술 유출을 미리 예방할 수 있는 기회를 제공할 수 있을 것으로 기대된다.