• Title/Summary/Keyword: Molecular Beam Epitaxy

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고 indium 농도 InGaAs와 GaAs 박막간 계면에 관한 연구 (Studies of the Interface between the High Indium Content InGaAs QW and GaAs Layers)

  • 김삼동
    • 한국재료학회지
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    • 제6권1호
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    • pp.84-89
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    • 1996
  • 분자선 증착법(Molecular Beam Epitaxy)에 의하여 성장시킨 고농도 InGaAs layer에서 성장중지법이 계면 거칠기에 미치는 영향이 연구되었다. 계면을 평활화하기 위하여 단원자층의 GaAs 또는 AIAs를 InGaAs alyer 양쪽 계면에 증착한 뒤 뒤이어 성장중지를 실시하였다. Photoluminescence(PL) 측정에 의하면, 단원자 GaAs층 증착을 통한 평활화법보다 상당히 향상된 계면조건을 보여졌다. 고 분해능 단면 전자현미경법(Cross-section high resolution transmission electron microscopy, XHRTEM)에 의해 관찰되어진바, 계면 평활화법에 의해 계면의 평활성, 연속성 및 결정결함 밀도등에서 현저한 향상이 얻어졌다.

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Precursor Process Designing to Synthesize Nano-sized Phosphors

  • Kim, Soo-Jong
    • Transactions on Electrical and Electronic Materials
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    • 제7권1호
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    • pp.26-29
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    • 2006
  • We present the structural, magnetic, and electrical properties in the (Al,Mn)N films with various Mn concentrations grown by plasma-enhanced molecular beam epitaxy. X-ray diffraction analyses reveal that the (Al,Mn)N films have the wurtzite structure without secondary phases. All (Al,Mn)N films showed the ferromagnetic ordering. Particularly, ($Al_{1-x}Mn_{x}$)N film with x = 0.028 exhibited the highest magnetic moment per Mn atom at room temperature. Since all the films exhibit the insulating characteristics, the origin of ferromagnetism in (Al,Mn)N might be attributed to either indirect exchange interaction caused by virtual electron excitations from Mn acceptor level to the valence band within the samples or a percolation of bound magnetic polarons arisen from exchange interaction of localized carriers with magnetic impurities in a low carrier density regime.

Ferromagnetic Properties in Diluted Magnetic Semiconductors (Al,Mn)N grown by PEMBE

  • Ham, Moon-Ho;Myoung, Jae-Min
    • Transactions on Electrical and Electronic Materials
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    • 제7권1호
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    • pp.12-15
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    • 2006
  • We present the structural, magnetic, and electrical properties in the (Al,Mn)N films with various Mn concentrations grown by plasma-enhanced molecular beam epitaxy. X-ray diffraction analyses reveal that the (Al,Mn)N films have the wurtzite structure without secondary phases. All (Al,Mn)N films showed the ferromagnetic ordering. Particularly, ($Al_{1-x}Mn_{x}$)N film with x = 0.028 exhibited the highest magnetic moment per Mn atom at room temperature. Since all the films exhibit the insulating characteristics, the origin of ferromagnetism in (Al,Mn)N might be attributed to either indirect exchange interaction caused by virtual electron excitations from Mn acceptor level to the valence band within the samples or a percolation of bound magnetic polarons arisen from exchange interaction of localized carriers with magnetic impurities in a low carrier density regime.

Raman Study of Individual InGaAs Nanowires

  • 김한울;노희석;이은혜;배민환;송진동
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.370-370
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    • 2012
  • 성장 길이 방향으로 조성비가 점차 바뀌는 InxGa1-xAs 나노와이어에 대한 라만 산란 연구 결과를 보고한다. Si 기판 위에 Au 입자를 뿌린 후에 이를 촉매로 하여 molecular beam epitaxy 방법을 이용하여 InGaAs 나노와이어를 성장시켰다. 투과전자현미경 실험 결과에 의하면 InGaAs 나노와이어의 길이는 약 $3{\sim}5{\mu}m$, 두께는 약 20~50 nm 정도였다. 성장 길이 방향으로 조성비의 변화를 연구하기 위해서 나노와이어에 대한 공간 분해된 라만 산란 실험을 수행 하였다. 실험 결과 나노와이어의 길이 방향으로 InAs-like transverse optical (TO) phonon 에너지와 GaAs-like TO phonon 에너지의 변화가 있었으며 이를 통해 성장 길이 방향으로 In과 Ga의 조성비의 변화가 있음을 알 수 있었다. 각각의 광학 포논 에너지에 대한 분석을 통해 조성비의 변화에 대한 정량적인 수치를 얻을 수 있었다.

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Si기판을 이용한 대면적 CdTe 박막의 MOCVD성장

  • 김광천;임주혁;유현우;정규호;김현재;김진상
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2009년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.275-275
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    • 2009
  • CdTe(331)/Si(211) and CdTe(400)/Si(100) thin films have been grown by MOCVD(metal organic chemical vapor deposition) system for large scale of IFPAs(IR focal plane arrays). We have investigated the effect of various growth parameters on the surface morphology and structural quality. Single crystalline CdTe(331) films were grown by two stage growth method - low temperature buffer layer step and high temperature growth step. In other case, single crystal of CdTe(400) films were grown on a few atomic layer thickness of GaAs which is grown on Si(100) substrate by molecular beam epitaxy. The crystalline quality of the films was analyzed by X-ray diffraction. The surface morphology and crystal structure of CdTe films were characterized by optical microscope.

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Optical Phonons in AlGaAs/GaAs Multiple Quantum Well Structures

  • 김진흥;노희석;최원준;송진동;임준영;박성준
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.289-289
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    • 2012
  • Molecular beam epitaxy 방법으로 성장시킨 AlGaAs/GaAs 다중 양자 우물 구조에 대한 라만 산란 연구를 보고한다. InAs 양자점이 성장된 Si 기판 위에 각기 다른 온도에서 두께 약 1 ${\mu}m$의 GaAs 층을 두 단계로 성장시킨 후 그 위에 AlGaAs/GaAs 다중 양자 우물 구조를 성장시켰다. AlGaAs/GaAs 다중 양자 우물 구조의 광학적 특성에 영향을 주는 GaAs 층의 변형력(stress)의 변화를 알기 위해서 시료의 측면으로부터 공간 분해된 라만 산란 실험을 수행하였다. 라만 산란 실험으로부터 AlGaAs/GaAs 다중 양자 우물 구조가 지니는 모든 종류의 광학 포논을 관측하였으며, 두 단계로 성장시킨 GaAs 층에서의 변형력이 Si 기판으로부터 멀어질수록 성장조건의 변화에 따라서 다르게 전개된다는 것을 파악하였다.

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MBE 성장 InGaP/InGaAlP 다중양자우물의 RTA 에 의한 PL 특성 변화 (Effect of rapid thermal annealing on InGaP/InGaAlP multiple quantum well structures grown by molecular beam epitaxy)

  • 박광욱;박창영;임재문;이용탁
    • 한국광학회:학술대회논문집
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    • 한국광학회 2009년도 동계학술발표회 논문집
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    • pp.525-526
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    • 2009
  • we investigated the effect of rapid thermal annealing (RTA) temperature on photoluminescence (PL) of 635 nm InGaP/InGaAlP multiple quantum well structure. RTA is performed with the quantum well structure with 5.5 nm of well width. The highest PL peak intensity is shown at 1 min. of RTA at $720^{\circ}C$ sample as 3 times higher as compared to the as-grown sample. The effect may be assigned to an expected reduction in number of nonradiative recombination centers in the quantum well.

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$Si/Si_{1-x}Ge_x$Quantum Well 디바이스에서의 전자이동도 및 저온 자기저항효과 (Electron mobility and low temperature magnetoresistance effect in $Si/Si_{1-x}Ge_x$ quantum well devices)

  • 김진영
    • 한국진공학회지
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    • 제8권2호
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    • pp.148-152
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    • 1999
  • the low temperature magnetoresistance effect, electron mobilities, and 2 Dimensional electron Gases (2DEG) properties were investigated in $Si/Si_{1-x}Ge_x$ quantum well devices. N-type $Si/Si_{1-x}Ge_x$ structures were fabricated by utilizing a gas source Molecular Beam Epitaxy (GSMBE). Thermal oxidation was carried out in a dry O atmosphere at $700^{\circ}C$ for 7 hours. Electron mobilities were measured by using a Hall effect and a magnetoresistant effect at low temperatures down to 0.4K. Pronounced Shubnikov-de Haas (SdH) oscillations were observed at a low temperature showing two dimensional electron gases (2DEG) in s tensile strained Si quantum well. The electron sheet density (ns) of $1.5\times10^{12}[\textrm{cm}^{-2}]$ and corresponding electron mobility of 14200 $[\textrm{cm}^2V^{-1}s^{-1}]$ were obtained at a low temperature of 0.4K from $Si/Si_{1-x}Ge_x$ structures with thermally grown oxides.

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