A Study on the Driving Characteristics of Piezoelectric Ultrasonic Linear Motor for Multi-DOF Miniaturized Stage (다자유도 소형 스테이지 제작을 위한 피에조 선형모터의 구동특성 연구)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 2009.06a
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- pp.783-784
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- 2009