• 제목/요약/키워드: MgO thin films

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마이크로 가공 기술을 이용한 강유전체 박막 초전형 적외선 센서 (Pyroelectric infrared microsensors made by micromachining technology)

  • 최준임
    • 전자공학회논문지D
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    • 제35D권4호
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    • pp.93-100
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    • 1998
  • Pyoelectric infrared detectors based on La-modified PbTiO3 (PLT) thin films have been fabricated by RF magnetron sputtering and micromachining technology. The detectors form Pb$_{1-x}$ La$_{x}$Ti$_{1-x}$ O$_{3}$ (x=0.05) thin film ferroelectric capacitors epitaxially grown by RF magnetron sputtering on Pt/MgO (100) substrate. The sputtered PLT thin film exhibits highly c-axis oriented crystal struture that no poling trealization for sensing applications is required. This is an essential factor to increase the yield for realization of an infrared image sensor. Micromachining technology is used to lower the thermal mass of the detector by giving maximum sensor efficiency. Polyimide is coated on top of the sensing elements to support the fragile structure and the backside of the MgO substrate is selectively eteched to reduce the heat loss. The sensing element exhibited a very high detectivity D* of 8.5*10$^{8}$ cm..root.Hz/W at room temperature and it is about 100 times higher than the case of micromachining technology is not used. a sensing system that detects the position as well as the existence of a human body is realized using the array sensor.sor.

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열처리에 따른 BST 박막의 특성에 관한 연구 (Study on Post Annealing Dependence of BST Thin Films)

  • 최명률;박인철;권학용;손재구;김홍배
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2005년도 하계학술대회 논문집 Vol.6
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    • pp.197-198
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    • 2005
  • 본 논문에서는 p-type (100)Si. (100)MgO 그리고 MgO/Si 기판 위에 RF Magnetron sputtering 법으로 $Ba_{0.5}Sr_{0.5}TiO_3$(BST) 박막을 증착 후 $600^{\circ}C$ 의 질소분위에서 RTA(Rapid Thermal Annealing)를 이용한 1 분간의 고온 급속열처리를 하였다. XRD 측정결과 모든 기판에서 (110) $Ba_{0.5}Sr_{0.5}TiO_3$의 주피크가 관찰되어졌고, 열처리 후 피크 세기가 증가함을 확인할 수 있었다. C-V 특성에서 각각의 기판에서 측정된 커패시턴스 값으로 계산된 유전율은 120(bare Si), 305(MgO/Si) 그리고 310(MgO)이었다. 누설 전류 특성에서는 150KV/cm이내의 인가전계에서 0.1$uA/cm^2$이하의 안정된 누설전류값을 보여주었다. 결론적으로 MgO 버퍼층을 이용한 기판이 BST 박막의 증착을 위한 기판으로써 효과적임을 알 수 있었다.

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마이크로파 소자응용을 위한 YBCO 박막의 두께 및 증착온도에 관한 특성연구 (Thickness and Orientation Effect on the YBCO Thin Films For Microwave Device Applications)

  • 이상렬;전희석;허창회;한경보;전창훈
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제15권6호
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    • pp.539-542
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    • 2002
  • The effect of the superconducting film thickness on the surface resistance has been investigated. Superconducting YBCO thin films have been grown on MgO substrates by pulsed laser deposition. The dependence of the orientation of YBCO film on thickness has been investigated by X-ray diffraction technique. X-ray diffraction indicated that the film orientation was changed by increasing the film thickness and by changing the substrate temperature. The microwave properties of the films with mixed orientations of a-axis and c-axis will be reported for the applications of microwave devices.

Preparation and Characterization of Doped $Fe_2O_3$ and GaAs Photosemiconductive Electrodes for $CO_2$ Fixation

  • Kim, Il Kwang;Lee, Seong Jae;Kim, Min Su;Jeong, Seung Il;Park, Byung Sun;Kim, Youn Geun
    • 분석과학
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    • 제8권4호
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    • pp.669-674
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    • 1995
  • The preparation and characterization of photosemiconductive electrodes of GaAs and of $Fe_2O_3$ doped with MgO or CaO were investigated. The doped $Fe_2O_3$ photosemiconductive electrodes were prepared from thin films sintered at temperatures from 1,100 to $1,450^{\circ}C$, and rapidly quenched in distilled water. The surfaces of the electrodes containing both corundum structure of $Fe_2O_3$ and spinel structure of $Mg_xFe_{3-x}O_4$ or $Ca_xFe_{3-x}O_4$ were analyzed by X-ray diffraction and scanning electron microscopy. The cathodic and anodic photocurrents on these electrodes indicated a critical doping amount of 5-11 wt. %. The photocurrents were enhanced when GaAs electrodes were treated with methylene violet the anodic photo-currents were temporarial enhanced and changed to the cathodic ptotocurrents after the surface was dryed.

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RF magnetron sputtering으로 성장된 ZnMgO박막의 구조적, 광학적 특성 분석 (Optical and structural properties of ZnMgO thin films by RF co-sputtering)

  • 강시우;김영이;안철현;조형균
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2007년도 하계학술대회 논문집 Vol.8
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    • pp.178-178
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    • 2007
  • II-VI의 넓은 밴드갭 (3.37 eV)을 가지는 ZnO는 solar cells, transparent conductive electrodes, ultraviolet light emitters, and chemical sensors 등에 응용되고 있다. 특히 고효율 ZnO계 발광 소자 구현을 위하여 MgO (7.7eV), CdO (2.0eV) 등의 고용을 통한 밴드갭을 엔지니어링 하며, 단파장 영역의 광원을 확보하기 위하여 MgO 첨가를 통한 밴드갭 에너지를 증가시키는 방향으로의 연구가 활발하다. 그러나 ZnO의 wurtzite 구조와 MgO의 rocksalt 구조의 상이한 결정구조로 인하여 Mg의 고용한계는 4 at. %, 4.1 eV 알려져 있다. 본 실험에서는 p-type Si (100), c-sapphire (0002)과 GaN 기판 위에 MgO (99.999 %)와 ZnO (99.999 %) 두가지 타겟을 사용하여 RF co-스퍼터링법으로 ZnMgO 박막을 증착 하였다. 이때 ZnO 타겟의 power 밀도는 고정 시키고 MgO 타겟의 power 밀도를 변화 시키며 Mg의 함량을 조절하여 그에 따른 광학적 구조적 특성의 변화를 연구 하였다. 성장된 ZnMgO 박막은 MgO 타겟의 power 밀도가 증가할 때 Mg의 함량이 10 at. %까지 증가 하며, 그에 따른 표면의 거칠기 및 입계 크기가 감소하며, 박막의 성장속도 또한 감소함을 SEM과 AFM을 통하여 알 수 있었다. XRD를 동하여 ZnMgO 박막의 (0002) peak의 위치는 $34.50^{\circ}{\sim}34.7^{\circ}$로 오른쪽으로 이동하며, c-축으로 성장하였음을 알 수 있다. PL과 UV룰 동하여, Mg의 함량이 증가 할수록 박막의 밴드갭 에너지는 3.2 eV에서 4.1 eV 로 증가하였다.

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In-situ Synchrotron X-ray Diffraction Measurement of Epitaxial FeRh thin Films

  • Jang, Sung-Uk;Hyun, Seung-Min;Lee, Hwan-Soo;Kwon, Soon-Ju;Kim, Ji-Hong;Park, Ki-Hoon;Lee, Hak-Joo
    • 한국자기학회:학술대회 개요집
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    • 한국자기학회 2009년도 정기총회 및 동계학술연구발표회
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    • pp.204-205
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    • 2009
  • The magnetic properties and structure of FeRh thin film pitaxially grown onto MgO(001) substrate were studied by MPMS(Magnetic Properties Measure System) and in-situ temperature synchrotron XRD(X-ray Diffraction). The transition temperature of FeRh thin films was around 380K. Both M-T curve and d-spacing changes correspond to each other very closely.

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