Fabrication of Silica Nanoparticles by Recycling EMC Waste from Semiconductor Molding Process and Its Application to CMP Slurry (반도체 몰딩 공정에서 발생하는 EMC 폐기물의 재활용을 통한 실리카 나노입자의 제조 및 반도체용 CMP 슬러리로의 응용)
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- Journal of the Korea Organic Resources Recycling Association
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- v.32 no.1
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- pp.21-29
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- 2024