Currently, the mobile device is required to be miniaturized and lightweight according to the needs of the consumer. For this purpose, each part is produced and assembled in units of modules. Accordingly, the display part is also composed of a cover glass, a touch screen, And it costs a large amount to replace the whole when it is damaged. Therefore, we propose a method to improve the durability of display part using ANOVA (Analysis of Variance) and MR fluid polishing. Before MR fluid polishing process, surface treatment was performed to obtain a polishable surface. A series of experiments were carried out to very fine surface roughness and to secure durability of cover glass. Polishing depth, feed rate, and abrasive size were selected to examine the MR fluid polishing results.
The investigations of the coated-particles of nuclear fuel samples are carried out in three stages: front-end, irradiation in the reactor core, and post-irradiation examination. The front-end stage is the initial analysis of the failures rates of produced samples before they are placed in the reactor core. The purpose of the verification is to prepare the particles for an experiment that will determine the degree of damage to the coated particles at each stage. Before starting experiments with the samples, they must be properly prepared. Polishing the samples in order to uncover the inner layers is an important, initial experimental step. The authors of this paper used a novel way to prepare samples for testing - by applying an ion polisher. Mechanical polishing used frequently for sample preparations generates additional mechanical damages in the studied fuel particle, thus directly affecting the experimental results. The polishing methods were compared for three different coated particles using diagnostic methods such as Raman spectroscopy, scanning electron microscopy, and confocal laser scanning microscopy. Based on the obtained results, it was concluded that the ion polishing method is better because the level of interference with the structures of the individual layers of the tested samples is much lower than with the mechanical method. The same technique is used for the fuel particles undergone ion implantation simulating radiation damage that can occur in the reactor core.
The objective of this investigation was to indentify major factors affecting surface roughness among various parameters of electropolishing process using the design of an experiment method (full factorial design) for UNS S31603. Factors selected included electrolyte composition ratio, applied current density, and electrolytic polishing time. They were compared through analysis of variance (ANOVA). Results of ANOVA revealed that all parameters could affect surface roughness, with the influence of electrolyte composition ratio being the highest. As a result of surface analysis after electropolishing, the specimen with the deepest surface damage was about 35 times greater than the condition with the smallest surface damage. The largest value of surface roughness after electropolishing was higher than that of mechanical polishing due to excessive processing. On the other hand, the smallest value of surface roughness after electropolishing was 0.159 ㎛, which was improved by more than 80% compared to the previous mechanical polishing. Taken all results together, it is the most appropriate to perform electrolytic polishing with a sulfuric acid and phosphoric acid ratio of 3:7, an applied current density of 300 mA/cm2, and anelectrolytic polishing time of 5 minutes.
Mica-glass ceramics has features such as micro-sized crystals, high strength, chemical resistance, semitransparent optical properties, etc. Due to its superior material properties, mica glass ceramics have increasing applications in dental and medical components, insulation boards, chemical devices, etc. In many applications, especially for dental and medical components, ultra-precise polishing is required. However, it is known to be a very difficult-to-grind material because of its high hardness and brittle properties. Thus, in this study, a newly developed ultra-precise polishing method is applied to obtain nano-level surface roughness of the mica glass ceramics using magnetorheological (MR) fluids and nano abrasives. Nano-sized ceria particles were used for the polishing of the mica glass ceramics. A series of experiments were performed under various polishing conditions, and the results were analyzed. A very fine surface roughness of Ra=6.127 nm could be obtained.
Transactions on Electrical and Electronic Materials
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제8권2호
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pp.53-57
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2007
In this study, a novel slurry containing ceria as the abrasive particles was analyzed in terms of its frictional, thermal and kinetic attributes for interlayer dielectric (ILD) CMP application. The novel slurry was used to polish 200-mm blanket ILD wafers on an $IC1000_{TM}$ K-groove pad with in-situ conditioning. Polishing pressures ranged from 1 to 5 PSI and the sliding velocity ranged from 0.5 to 1.5 m/s. Shear force and pad temperature were measured in real time during the polishing process. The frictional analysis indicated that boundary lubrication was the dominant tribological mechanism. The measured average pad leading edge temperature increased from 26.4 to $38.4\;^{\circ}C$ with the increase in polishing power. The ILD removal rate also increased with the polishing power, ranging from 400 to 4000 A/min. The ILD removal rate deviated from Prestonian behavior at the highest $p{\times}V$ polishing condition and exhibited a strong correlation with the measured average pad leading edge temperature. A modified two-step Langmuir-Hinshelwood kinetic model was used to simulate the ILD removal rate. In this model, transient flash heating temperature is assumed to dominate the chemical reaction temperature. The model successfully captured the variable removal rate behavior at the highest $p{\times}V$ polishing condition and indicates that the polishing process was mechanical limited in the low $p{\times}V$ polishing region and became chemically and mechanically balanced with increasing polishing power.
As a deterministic finishing process for the optical parts having complex surface, machining performance of the magnetorheological(MR) fluid jet polishing of optical glass are studied and compared with a general water jet polishing. First, design of the jet polishing system which has the special electromagnet-nozzle unit for stabilizing the slurry jet based on MR fluid and the change of jet shape as magnetic field is applied are explained. Second, for the BK7 glass, machining spot and its cross section profile are analyzed and the unique effect of MR fluid jet polishing is shown. Third, both material removal depth and surface roughness are explored in order to investigate the polishing performance of MR fluid jet. With the same ceria abrasives and amount in the polishing slurries, MR fluid jet shows superior machining performance compared to water jet and the difference of material removal mechanism and its resulting performance are described.
The Engineering ceramics have some excellent properties as materials for modern mechanical and electrical components. It is, however, not easy to polish them efficiently because they are strong and hard. This study is carried out to obtain a mirror surface on engineering ceramics by surperfinishing with high efficiency. To achieve this, we conducted a series of polishing experiments using representative engineering ceramics, such as $Al_2O_3$, SiC, $Si_3N_4$ and $ZrO_2$, using diamond abrasive film from the perspective of oscillations peed, the rotational speed of the workpiece, contact roller hardness, contact pressure and feed rate. Furthermore, the polishing efficiency and characteristics for engineering ceramics are discussed on the basis of optimal polishing time and surface roughness. Our results confirmed that efficient superfinishing conditions and polishing characteristics of engineering ceramics can be determined.
The surface integrity of micro-machined products affects the performance of products significantly. Micro-burrs resulting from micro-cutting degrades the surface quality. Therefore it is desired to eliminate them completely and many studies have been undertaken for this purpose. In this study, micro-end-milling was carried out on nickel alloy and brass materials commercially used for light guide plate mold in 3-D optical devices. After completing this micro-machining, the burr heights were measured with a microscope. Then, deburring was done on the machined edges using the MR jet polishing method. A jet angle of $0^{\circ}$ and deburring times of 1, 3, and 5 min. were chosen. It was found that burrs were completely eliminated after 5 min of MR fluid jet polishing.
A new method to fabricate the fine magnetic abrasives by using mechanical alloying is proposed. The mechanical alloying process is a solid powder process where the powder particles are subjected to high energetic impact by the balls in a vial. As the powder particles in the vial are continuously impacted by the balls, cold welding between particles and fracturing of the particles take place repeatedly during the ball milling process using a planetary mill. After the manufacturing process, fine magnetic abrasives which the guest abrasive particles c lung to the base metal matrix without bonding material can be obtained. The shape of the newly fabricated fine magnetic abrasives was investigated using SEM and its polishing performance was verified by experiment. It is very helpful to finishing the injection mold steel in final polishing stage. The areal ms surface roughness of the workpiece after several polishing processes has decreased to a few nanometer scales.
Nitinol, a shape memory alloy (SMA), is manufactured from titanium and nickel and it used in various fields such as electrical applications, micro sensors. It is also recommended as a material in medical for implant because it has excellent organic compatibility. Nitinol is intended to be inserted into the human body, products require a high-quality surface and low residual stress. To overcome this problems, explore electrolyte polishing (EP) is being explored that may be appropriate for use with nitinol. EP is a particularly useful machining method because, as a non contact machining method, it produces neither machining heat nor internal stress in the machined materials. Sandpaper polishing is also useful machining method because, as a contact machining method, it can easily good surface roughness in the machined materials. The electrolyte polishing (EP) process has an effect of improving the surface roughness as well as the film polishing process, but has a characteristic that the residual stress is hardly generated because the work hardened layer is not formed on the processed surface. The sandpaper polishing process has the effect of improving the surface roughness but the residual stress remains in the surface. We experimented with three conditions of polishing process. First condition is the conventional polishing. Second condition is the electrochemical polishing(EP). And Last condition is a mixing process with the conventional polishing and the EP. Surface roughness and residual stress of the nitinol before a polishing process were $0.474{\mu}mRa$, -45.38MPa. Surface roughness and residual stress of the nitinol after mixing process of the conventional polishing and the EP were $1.071{\mu}mRa$, -143.157MPa. Surface roughness and residual stress of the nitinol after conventional polishing were $0.385{\mu}mRa$ and -205.15MPa. Surface roughness and residual stress of sandpaper and EP nitinol were $1.071{\mu}mRa$, -143.157MPa. The result shows that the EP process is a residual stress free process that eliminates the residual stress on the surface while eliminating the deformed layer remaining on the surface through composite surface machining rather than single surface machining. The EP process can be used for biomaterials such as nitinol and be applied to polishing of wafers and various fields.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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