Nano-imprint technology has been vigorously studied by many researchers for it is one of the most promising technologies for manufacturing the pattern with its critical dimension below 100nm. In the nano-imprint technology, nano patterns are transferred on a polymer film and the transferred patterns are used as an etch mask to define the designed patterns on a substrate or a metal layer. To this end, it is important to keep the residual thickness of the imprinted polymer film uniform. In this study, a novel measurement technique to measure the residual thickness of films is proposed based on nanoindentation theory. This technique has advantages of saving time and measuring the residual thickness of highly-localized portions in comparison with other techniques, but has limitation of requiring calibration process.
Kim, Dong Hyun;Kim, Sung-Jo;Yu, Jeong-Seon;Kim, Jong-Hyun
Journal of the Optical Society of Korea
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v.19
no.5
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pp.503-507
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2015
Using the reflectivity mode of an optical microscope, we analyzed the optical contrast to identify the layer number of flakes of hexagonal boron nitride on a $SiO_2$/Si substrate. Overall optical contrast in the visible range varies with the thickness of flakes. However, the wavelength of zero contrast exhibits a linear redshift of 0.53 nm per layer, independent of the $SiO_2$ thickness, and increases proportionally with $SiO_2$thickness. Experiments show good agreement with calculations and the results of AFM measurements. These results show that this zero-contrast approach is more accurate and easier than the reflectivity-contrast approach using the overall optical contrast.
To measure the thickness of liquid films from 10 to 60 ${\mu}m$, we used photochromic dye activation. And we used silicone oil with 10 centi-Stokes and commercial photochromic dyes. To make films with exact and known thicknesses, we used two glass wafers. A film formed between two wafers after placing a drop of liquid of known volume on one wafer and covering the other. The film thickness could be estimated from the diameter of wafer and the dropped liquid volume. To quantitatively evaluate the result, captured the images using digital camera then analyzed the images using the image tool. The gray scale intensity using the captured images of activated dye with these thicknesses showed the repeatability below ${\pm}$ 1.0% when measured with a silicone oil solution containing 0.1% SO and SO-ANTH dyes. And we showed that photochromic dye activation method could be used to measure our liquid film thickness ranges.
The use of limestone fines (LF) in mortar and concrete can in certain ways improve performance and thus has become more and more commonplace. However, although LF is generally regarded as a filler, it is up to now not clear how much filling effect it could have and how best the filling effect could be utilized. Herein, the packing density and filling effect of LF were studied by measuring the packing densities of LF, (LF + cement) blends and (LF + cement + fine aggregate) blends under dry and wet conditions, and measuring the performance of mortars made with various amounts of LF added. It was found that the addition of LF would not significantly increase the packing density of (LF + cement) blends but would fill into the paste to increase the paste volume and paste film thickness, and improve the flow spread and strength of mortar.
In this paper, the compensation of interfacial scatter due to adhesive layer and adherend thickness ratio variation was applied to improve measuring precision by calculating ultrasonic attenuation coefficient in the Al/Epoxy dissimilar bonded components. The optimum condition of theoretical value and experimental measuring accuracy by the ultrasonic method in the Al/Epoxy dissimilar bonded components have been investigated. From the experimental results, we proposed a measurement method of the interfacial crack lengths by the ultrasonic attenuation coefficient and discussed it.
Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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2009.05a
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pp.241-244
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2009
We studied the optimization method of sensing part for measuring heart rate in wrist. In order to know optimum structure of sensing part, we measured the heart rate signal by changing the shape and size of sensor pad structure and the thickness of silicon. The shapes of structure using in experiment are Empty, Rectangle, Embossing, Length, Width. We were compared the amplitude of output signal about each shape when thickness of silicon pad is increasing from 0 to 7 mm by 1 mm.
Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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1992.10a
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pp.81-85
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1992
Quality of cut is strongly dependent on the cutting pressure, so this relationship can be identified by pressure measuring system. In this paper, the experiments presented were performed with the devised pressure measuring system and the laser cutting of STS 304. Convergent type and convergent-divergent type nozzle were used for pressure variation of the distance between nozzle and workpiece. In laser cutting of STS 304, 1.0 kW CO $\_$2/ laser used. The convergent type nozzle(1.0 mm diameter) pressured above 3 kgf/cm $\^$2/, the MSD(Mach Shock Disk) created, which caused the the pressure variations of the distance between nozzle and workpiece. The maximum cutting pressure exists in accordance with the variation of distance. In spite of far distance the maximum cutting pressure is achieved by using the pressure measuring system. The higher cutting pressure beneath the workpiece the less quantity of dross and the kerf width. Since the higher cutting pressure helps to remove the quantity of dross and to stop the exothermic energy into the material. The optimum laser cutting parameter of STS 304(2.0 mm thickness) with the convergent type nozzle(1.0 mm diameter)is 0.75 mm and 2.5 mm distance between nozzle and workpiece, 4 kgf/cm $\^$2/ cutting pressure. In 3.0 mm thickness case, 1.5 mm and 2.25 mm distance is achieved for good quality.
This study was designed to investigate the fitness of stock tray in Korean adults. 107 dental students (male: 87, female: 20) who have normal occlusion and symmetric facial fom were selected. The upper and lower stock tray (Osungtray, Osung Co., Korea) fit with dental arch were selected for taking irreversible hydrocolloid impression. The author measured the thickness of impression material about two items, that is, width and length on the flange of stock tray. Several measuring points on the dental arches and palatal area were checked with Goldman Fox prove (Hu-Friedy, U.S.A.). The obtained results were as follows: 1. The width of impression material on buccal flange of upper and lower trays were narrower than any other measuring point, but the thickness of impression material on the palatal area of upper stock tray was the widest of all measuring points. 2. The length on buccal flange of lower stock tray was shorter, but the length on tray flange of lower stock tray at lingual frenum area was longer. 3. On upper dental arch, the upper extra-large tray was used in 53% of subjects, but upper small tray was not used. 4. On lower dental arch, the large tray was used in 55% of subjects. 5. There was not adequate tray on upper dental arch in 4 subjects.
Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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2007.04a
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pp.152-156
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2007
It is very important to understand about mass flow rate variations of propellants generated by pressure fluctuation in the combustion chamber. Therefore, we have studied quantifying the variation of mass flow rate generated by pressure fluctuation. The flow velocity in orifice is acquired through theoretical approach after measuring the pressure in orifice and the flow area in orifice is measured by film thickness measuring device. Our results agreed with it in the very small error range comparing our results with velocity and mass flow rate in steady state. Thus, our result based on theoretical approach will help about measuring mass flow rate in non-steady state.
This study developed education contents of measuring spatial dose with virtual reality simulation and applied to students majoring radiological science. The virtual reality(VR) contents with measuring spatial dose rate in the radiation controlled area was developed based on the simulation from pilot study. In this simulation, the tube voltage and tube current can be set from 60 to 120 kVp in 10 kVp steps and 10 to 40 mAs in 10 mAs increments, and the distance from source can be set from 30 to 400 cm continuously. Iron and lead shields can be placed between the source and the detector, and shielding thickness can be set by 1 mm increments ranging from 1 to 20 mm. We surveyed to students for evaluating improvement of understanding spatial dose rate between before and after education by VR simulation. The survey was conducted with 5 questions(X-ray exposure factors, effects by distance from the source, effects from using shield, depending on material and thickness of shield, concept and measuring of spatial dose rate) and all answers showed significant improvement. Therefore, this VR simulation content will be well used in education for spatial dose rate and radiation safety environments.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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