Study on Chucking Force and Substrate Deformation Characteristics of Electrostatic Chuck for Deposition According to Substrate Sizes (증착용 정전척의 기판 크기에 따른 척킹력 및 기판 변형 특성 연구)
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- Journal of the Semiconductor & Display Technology
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- v.23 no.2
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- pp.12-18
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- 2024