Review of Hazardous Agent Level in Wafer Fabrication Operation Focusing on Exposure to Chemicals and Radiation (반도체 산업의 웨이퍼 가공 공정 유해인자 고찰과 활용 - 화학물질과 방사선 노출을 중심으로 -)
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- Journal of Korean Society of Occupational and Environmental Hygiene
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- v.26 no.1
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- pp.1-10
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- 2016