fabrication and characterization of $S iO_2/S iN/S iO_2$ films on p-Si
(p-Si 기판 위에 형성된 $S iO_2/S iN/S iO_2$ 박막의 특성에 관한 연구)
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- Proceedings of the IEEK Conference
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- 2000.06b
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- pp.32-35
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- 2000