Kim, Hyo-Suk;park, Bo Keun;Kim, Chang Gyoun;Son, Seung Uk;Chung, Taek-Mo
한국진공학회:학술대회논문집
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한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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pp.364.2-364.2
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2014
Magnesium oxide (MgO) thin films have attracted great scientific and technological interest in recent decades. Because of its distinguished properties such as a wide band gap (7.2 eV), a low dielectric constant (9.8), a low refractive index, an excellent chemical, and thermal stability (melting point=$2900^{\circ}C$), it is widely used as inorganic material in diverse areas such as fire resistant construction materials, optical materials, protective layers in plasma display panels, buffer layers of multilayer electronic/photonic devices, and perovskite ferroelectric thin films. Precursor used in the ALD requires volatility, stability, and low deposition temperature. Precursors using a heteroleptic ligands with different reactivity have advantage of selective reaction of the heteroleptic ligands on substrate during ALD process. In this study, we have synethesized new heteroleptic magnesium precursors ${\beta}$-diketonate and aminoalkoxide which have been widely used for the development of precursor because of the excellent volatility, chelating effects by increasing the coordination number of the metal, and advantages to synthesize a single precursor. A newly-synthesized Mg(II) precursor was adopted for growing MgO thin films using ALD.
본 논문에서는 낮은 구동 전압에서 동작하고 안정된 on/off 상태를 갖는 Al/$TiO_2-SiO_2$/Mo 형태의 안티퓨즈를 제작하였다. 하부전극으로 사용된 Mo 금속은 표면상태가 부드럽고 녹는점이 높은 매우 안정된 금속으로, 표면 위에 제조된 $SiO_2$ 특성을 매우 안정되게 유지시켰다. 또한 $TiO_2$절연막을 $SiO_2$절연막 위에 복층 구조로 증착하여, Ti 금속의 침투로 인한 $SiO_2$ 절연막의 약화로 동일 두께(100 $\AA$)의 $SiO_2$, 단일막에 비하여 향상된 절연파괴 전압을 얻을 수 있었다. $TiO_2-SiO_2$ 이중절연막을 사용하여 적정 절연파괴전압 및 ON-저항을 구현하였으며, 두께가 두꺼워짐으로 인해 바닥금속의 거칠기의 영향을 최소화시킬 수 있었다. 이중 절연막의 두께는 250 $\AA$이고 프로그래밍 전압은 9.0 V이고 약 65 $\Omega$의 on 저항을 얻을 수 있었다.
Ohmic contacts have been fabricated on p-type 4H-SiC using Pt/Ti. Low resistivitf Ohmic contacts of Pt/Ti to p-type 4H-SiC were investigated. Specific contact resistances were measured using the transmission line model method, and the physical properties of the contacts were examined using x-ray diffraction, scanning electron microscopy. Ohmic behavior with linear current-voltage characteristics was observed following anneals at $900^{\circ}C$ for 90sec at a pressure of $3.4{\times}10^{-5}$ Torr. The Pt/Si/Ti films was measured lower value of the specific contact resistance by the annealing process, and the contact resistances were improved more than one order compared to Ti contact the annealed sample. Scanning electron microscopy shows that the Pt layer effectively reduce the oxidation of Ti films. And results are obtained as $4.6{\times}10^{-4}$ ohm/$cm^2$ for a Pt/Ti metal structure after a vacuum annealing at $900^{\circ}C$ for 90sec. Titanium has a relatively high melting point, thus Ti-based metal contacts were attempted in this study.
Rare earth metal Ce has a relatively low melting point and high specific gravity. Because of its significantly high affinity to oxygen, nitrogen and sulfur, it is highly usable as a steel refining agent. However, because Ce compound has relatively high specific gravity, it is difficult to be separated from molten steel through floatation, and it degrades the purity of molten steel, or may clog the nozzle in continuous casting. Such problem may be solved by using an appropriate deoxidation agent together with Ce and settling molten steel sufficiently after refining. Thus a fundamental study in the formation behavior of non-metallic inclusion in Ce added Hyper Duplex STS melts was investigated. The addition amount of Ce, melt temperature were considered as experimental variables. A main non-metallic inclusion in mother alloy is 51(wt%MnO) - 27.6(wt%SiO$_2$)- 10.9(wt%$Cr_2O_3$). Non-metallic inclusion was dramatically decreased and the particle size was fined as the amount of Ce increased. Moreover (%MnO) and (%SiO$_2$) of non-metallic inclusion were decreased. But (%$Al_2O_3$)were relatively increased. The number of non-metallic inclusion were decreased and the large particle size were increased by increasing the temperature of molten steel.
In this study, the formation mechanism of discontinuities in the laser fusion zone of diamond saw blade was investigated. $CO_2$ laser weldings were conducted along the butt between Fe base sintered tip and carbon steel shank with sets of variable welding parameters. The effect of heat input on irregular humps, outer cavity, inner cavity and bond strengh was evaluated. The optimum heat input to have a proper humps was in the range of 10.4~$17.6kJm_{-1}$. With increasing heat input, both outer and inner cavities were reduced. The outer cavity was caused by insufficient refill of keyhole, while inner cavity was caused by trapping of bubble in molten metal. The bubble came from sintered tip and intensive vaporization at bottom tip of the keyhole. A gas formation and low melting point element vaporization were not occurred during welding. We could not find any relationship between bond strength and amount of discontinuities. Because the fracture were occurred in not only sintered tip but also carbon steel shank due to hardness distributions.
Gallium is an important element in the production of a variety of compound semiconductors for optoelectronic devices. Gallium has a low melting point and is easily oxidized to give oxides of different compositions that depend on the conditions of solutions containing Ga. Gallium electrode reaction is highly irreversible in acidic media at the dropping mercury electrode. The passive film on a gallium surface is formed during anodic oxidation of gallium metal in alkaline media. Besides, some results in published reports have not been consistent and reproducible. An increase in the demand of intermetallic compounds and semiconductors containing gallium gives rise to studies on electrosynthesis of them and an increase of gallium concentration in the environment with various application of gallium causes the development of electroanalysis tools of Ga. It is required to understand the electrochemistry of Ga and to predict the electrochemical behavior of Ga to meet these needs. Any review papers related to the electrochemistry of gallium have not been published since 1978, when the review on the subject was published by Popova et al. In this study, the redox behavior, anodic oxidation, and electrodeposition of gallium, and trace determination of gallium by stripping voltammetries will be reviewed.
플라즈마토치 용융로에 있어서 내화물의 보수를 최소화하고 용융물의 배출을 원활하게 하기 위해서는 처리대상 폐기물의 물성을 충분히 고려하여야 한다. 원전에서 발생되는 비가연성 방사성폐기물 중 많은 비중을 차지하고 있는 콘크리트 조각, 유리, 모래 등에 대한 화학적 조성비를 조사하여 보면 산성산화물이 염기성산화물에 비해 압도적으로 많은 비중을 차지하고 있으므로 용융 시 염기도가 매우 낮은 산성 슬래그가 된다. 이 용융슬래그는 유동도가 낮아서 용융물의 배출특성이 좋지 않으며 내화물에 침식을 유발시키는 주된 요인이 된다. 경사형 구조의 측면 출탕구를 가진 플라즈마토치 용융로의 경우, 구조상 출탕 후 일정량의 금속성 용융물이 항상 용융로 내부 바닥과 출탕구에 남게 된다. 비중차에 의해 비금속 용융슬래그는 금속성 용융물 상부에 위치하게 되며 혼합형 플라즈마토치를 이행형 운전모드로 가동하게 되면 금속성 용융물과 비금속 용융물이 동시에 용융되므로 비금속 용융슬래그의 온도는 금속 용융온도 이상으로 유지가 된다. 내화물의 수명 향상을 위해 용융로 내부의 온도와 용융물과 접촉하는 부위와 접촉되지 않는 부위를 구별하여 내화물의 특성을 주지하고 가장 적합한 내화물을 부위별로 선정하였다. 산성 내화물과 염기성 내화물이 인접하지 않도록 하고 용융슬래그에 대한 저항성을 높이도록 하였다.
초크랄스키 결정성장계의 산소농도에 영향을 주는 유동거동에 대한 정보를 얻기 위해 저온모델을 이용하여 실험적으로 초크랄스키 멜트에 내의 유속을 측정하였다. 실리콘 멜트와 유사한 프란틀(Pr) 수를 갖는 저 융점의 Woods metal을 작동유체로 채택하였다. 전기 전도성을 갖는 유체에서 속도 측정이 가능한 일체형 자석 프로우브(Incorporated magnet probe)를 제작하여 멜트 내부의 여러 지점에서 유속을 3차원저긍로 측정하였다. 측정 결과 관찰된 속도장은 자연대류가 지배적이며 비축대칭적인 유동양상을 나타내었다. 또한 멜트의 두 지점에서 동시에 측정된 온도 데이터로부터 상관계수 및 도가니 회전에 의한 온도 wave의전파를 분석한 결과 상관계수의 크기는 기존의 소형 실리콘 멜트의 연구에서 구한 값보다 작게 나타났으며 이러한 현상은 규모가 큰 멜트의 유동은 난류인 거동이 더 강해지기 때문에 발생하는 것으로 파악되었다.
CAD/CAM에서 사용할 수 있는 소재는 composite, ceramic, hybrid 그리고 metal이 있다. 그중에 진료실 CAD/CAM에서는 주로 monolithic ceramic 테크닉을 사용하는 데, monolithic ceramic 테크닉이란 한 가지 소재로만 제작하는 방법을 말한다. 블럭상태의 소재를 최종치아형태로 깎아 폴리싱해서 사용하거나, 열을 가해서 사용하는 방법으로, 기존의 도재 축조 작업이 필요 없다. 심미성에서는 다소 부족하지만, 1시간 안에 제작이 가능하므로 1회, 1일 방문으로 치료를 완료할 수 있고, 소재의 안정성이 높으며(녹이거나 상변화를 시키지 않음에 따라 왜곡이 생기거나 강도가 약해질 가능성이 적음), 컴퓨터 조작(CAD 작업)으로 치아를 디자인하여 제작하므로 진료실에서 쉽게 작업할 수 있다는 장점이 있다. 이 테크닉에 사용할 수 있는 소재를 임상적 관점에서 세대별로 따라 분류해 보았다.
Ni-Ti alloy has excellent corrosion resistance, biocompatibility, shape memory effect and superelasticity, so it has been used widely in biomedical fields. But it has difficulty in casting due to its high melting temperature and oxygen affinity at high temperature. Recently it has been attempted to cast Ni-Ti alloy using new casting machine and investment. The purpose of this study was to examine the superelastic behavior of cast shape memory Ni-Ti alloy and to compare the mechanical properties of the cast shape memory alloy with those of commercial alloys for removable partial denture framework. Ni-Ti alloy(Ni 50.25%, Ti 49.75% : atomic ratio) was cast with dental argon-arc pressure casting machine and Type IV gold alloy, Co-Cr alloy, Ni-Cr alloy, pure titanium were cast as reference. Experimental cast Ni-Ti alloy was treated with heat($500{\pm}2^{\circ}C$) in muffle furnace for 1 hour. Transformation temperature range of cast Ni-Ti alloy was measured with differential scanning calorimetry. The superelastic behavior and mechanical properties of cat Ni-Ti alloy were observed and evaluated by three point bending test, ultimate tensile test, Vickers microhardness test and scanning electron microscope. The results were as follows : 1. Cast Ni-Ti alloy(Ni 50.25%, Ti 49.75% : atomic ratio) was found to have superelastic behavior. 2. Stiffness of cast Ni-Ti alloy was considerably lesser than that of commercial alloys for removable partial denture. 3. Permanent deformation was observed in commercial alloys for removable partial denture framework at three point bending test over proportional limit(1.5mm deflection), but was not nearly observed in cast Ni-Ti alloy. 4. On the mechanical properties of ultimate tensile strength, elongation and Vickers microhardness number, cast Ni-Ti alloy was similiar to Type IV gold alloy, Co-Cr alloy, Ni-Cr alloy and pure titanium. With these results, cast Ni-Ti alloy had superelastic behavior and low stiffness. Therefore, it is suggested that cast Ni-Ti alloy may be applicated to base metal alloy for removable partial denture framework.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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