Dielectric properties of TEX>$Al_2O_3$ thin Elm deposited at room temperature by DC reactive sputtering
(DC 반응성 스퍼터링으로 상온에서 증착한 $Al_2O_3$ 박막의 유전특성)
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- Journal of the Korean Vacuum Society
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- v.9 no.4
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- pp.411-418
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- 2000