• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2015.08a
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• pp.195-195
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• 2015

반도체 제조 시 ohmic contact을 형성하고, barrier metal layer형성을 위해 NH3 기체를 사용하는 rapid thermal nitridation (RTN)은 반도체 공정에 있어 매우 중요한 핵심 기술이다. 그러나 공정 진행 시 발생하는 공정 부산물에 의한 chamber오염으로 인해 매우 정확히 입사 되어야 할 thermal energy의 controllability가 저하되고 있어, 미세 공정능력 구현의 한계에 부닥치고 있다. 본 연구에서는 quartz plate liner를 적용하여 RTN 공정에서 발생하는 공정 부산물인 ammonium chloride (NH4Cl)의 chamber 표면 증착을 최소화하였고, 공정 진행 온도의 controllability를 확보하였다.

• Proceedings of the Korean Fiber Society Conference
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• 1998.10a
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• pp.352-355
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• 1998

토목섬유제품 중에서 차수재조 널리 사용되는 지오멤브레인은 1$\times$$10^{-12}$의 낮은 투수계수를 갖고 있지만 시공전후 찢어지거나 구멍이 뚫리게 되면 침출수의 유출이 발생하여 환경오염을 일으키게 된다. 이를 보완하기 위해 친수성과 팽윤성이 큰 벤토나이트 물질을 이용한 Geosynthetic Clay Liner(GCL) 복합재료가 개발되었다. GCL은 지오텍스타일이나 지오멤브레인사이에 벤토나이트를 충진시키고, 접착제 또는 니들펀칭(needle-punching)이나 스티칭(stitching)과 같은 기계적인 방법으로 결합한 복합재료이다. (중략)

• Proceedings of the Korean Geotechical Society Conference
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• 1995.06b
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• pp.88-116
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• 1995

The applicability of marine clay and banking material as landfill liner and supporting layer was examined, where additives (cement, lime, Mg0, bentonite and ESCA) were mixed with these soils. The mixtures were tested for the unconfined compressive strength, bending strength, permeability, and better results than existing solidifying agents were obtained. The freezing-thawing test is under way.

• Proceedings of the Korea Society for Simulation Conference
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• 1998.03a
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• pp.11-16
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• 1998

The classical algorithm for solving liner network flow problems are primal cost improvement method, including simplex method, which iteratively improve the primal cost by moving flow around simple cycles, which iteratively improve the dual cost by changing the prices of a subset of nodes by equal amounts. Typical iteration/shortest path algorithm is used to improve flow problem of liner network structure. In this paper we stdudied about the implemental method of shortest path which is a practical computational aspects. This method can minimize the best neighbor node and also implement the typical iteration which is $\varepsilon$-CS satisfaction using the auction algorithm of linear network flow problem

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2011.06a
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• pp.1095-1096
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• 2011

• Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
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• 2003.05a
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• pp.408.1-408.1
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• 2003

• Proceedings of the Korean Geotechical Society Conference
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• 1997.11a
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• pp.107-116
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• 1997

• Proceedings of the Korean Geotechical Society Conference
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• 1993.05a
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• pp.6-27
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• 1993

• Proceedings of the Korean Geotechical Society Conference
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• 1995.10a
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• pp.6001-6006
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• 1995

• Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
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• 2001.10a
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• pp.358.2-358
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• 2001