• 제목/요약/키워드: Line Beam

검색결과 811건 처리시간 0.024초

DMD를 이용한 마스크리스 리소그래피 시스템의 고해상도 구현을 위한 다중 빔 에너지 분석에 관한 연구 (A Study on the Analysis of Multi-beam Energy for High Resolution with Maskless Lithography System Using DMD)

  • 김종수;신봉철;조용규;조명우;이수진
    • 한국산학기술학회논문지
    • /
    • 제12권2호
    • /
    • pp.829-834
    • /
    • 2011
  • 고 집적 회로의 제작에 있어서 노광 공정은 가장 중요한 기술로 주로 마스크 방식의 노광 방법을 사용하지만 다품종 소량 생산 및 주기적인 제품 변화에 있어서 효율적이지 못하기 때문에 마스크리스 리소그래피 기술이 노광공정에서 각광받고 있다. 본 연구에서는 DMD를 이용한 마스크리스 리소그래피에 있어 다중 레이저 빔의 에너지와 중첩도와의 연관성을 시뮬레이션을 통해 분석하였다. 시뮬레이션을 통해 최적의 스캔 라인 간격을 제시하였고, LDI 시스템을 이용한 노광 실험을 통해 미세 페턴의 정밀도를 향상시킬 수 있었다.

내부 불연속 요소를 사용한 콘크리트의 파괴진행해석 (Analysis of Progressive Fracture in Concrete using Finite Elements with Embedded Discontinuous Line)

  • 송하원;우승민;김형운
    • 한국콘크리트학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국콘크리트학회 1998년도 가을 학술발표논문집(II)
    • /
    • pp.450-455
    • /
    • 1998
  • In this paper, finite element with embedded discontinuous line is introduced in order to avoid the difficulties of adding new nodal points along with crack growth in discrete crack model. With the discontinuous element using discontinuous shape function, stiffness matrix of finite element is derived and dual mapping technique for numerical integration is employed. Using the finite element program made with employed algorithms, algorithm is verified and fracture analysis of simple concrete beam is performed.

  • PDF

볼빔 시스템에 대한 계층적 공정 경쟁 유전자 알고리즘을 이용한 최적 퍼지 Cascade 제어기 설계 (Design of Optimized Fuzzy Cascade Controller Based on HFCGA for Ball & Beam System)

  • 장한종;오성권;김현기
    • 전기학회논문지
    • /
    • 제58권2호
    • /
    • pp.391-398
    • /
    • 2009
  • In this study, we introduce the design methodology of an optimized fuzzy cascade controller with the aid of hierarchical fair competition-based genetic algorithm(HFCGA) for ball & beam system. The ball & beam system consists of servo motor, beam and ball, and remains mutually connected in line in itself. The ball & beam system determines the position of ball through the control of a servo motor. The displacement change the position of ball leads to the change of the angle of the beam which determines the position angle of a servo motor. Consequently the displacement change of the position of the moving ball and its ensuing change of the angle of the beam results in the change of the position angle of a servo motor. We introduce the fuzzy cascade controller scheme which consists of the outer(1st) controller and the inner(2nd) controller as two cascaded fuzzy controllers, and auto-tune the control parameters(scaling factors) of each fuzzy controller using HFCGA. The inner controller controls the position of lever arm which corresponds to the position angle of a servo motor and the outer controller decides the set-point value of the inner controller. HFCGA is a kind of parallel genetic algorithms(PGAs), and helps alleviate the premature convergence being generated in conventional genetic algorithms (GAs). For a detailed comparative analysis from the viewpoint of the performance results and the design methodology, the proposed method for the ball & beam system which is realized by the fuzzy cascade controller based on HFCGA, is presented in comparison with the conventional PD cascade controller based on serial genetic algorithms.

다양한 복사패턴을 가지는 이중대역용 다기능 마이크로스트립 스파이럴 안테나 (Multi-Functional Microstrip Spiral Antenna : Dual-Band Operation and Multi-Pattern Control)

  • 김명기;오대영;박익모
    • 대한전자공학회논문지TC
    • /
    • 제40권11호
    • /
    • pp.77-84
    • /
    • 2003
  • 본 논문에서는 위상변위기를 제어하여 스파이럴에 연결되는 급전선의 위상차를 조절함으로써 이중 주파수 대역에서 빔 모양을 선택할 수 있는 다기능 마이크로스트립 스파이럴 안테나를 제안하였다. 이 안테나는 하위 주파수 대역에서 안테나 평면에 수직한 고정빔, 그리고 상위 주파수 대역에서 수직빔, 코니컬빔, 두 가지의 기운빔 등의 4가지의 서로 다른 빔 패턴을 얻을 수 있으며 각 주파수 대역에서 10% 이상의 대역폭을 가진다 한쪽 방향으로의 복사를 제거하기 위하여 전자파 흡수체를 부착하였으며, 실측을 통하여 위상천이에 따른 빔 패턴을 확인하였다.

포항방사광가속기 킼커 대출력 펄스전원장치 운전특성 (OPERATING CHARACTERISTICS OF THE PLS INJECTION KICKER MODULATOR)

  • 남상훈;정성훈;고인수
    • 대한전기학회:학술대회논문집
    • /
    • 대한전기학회 1998년도 하계학술대회 논문집 E
    • /
    • pp.1800-1802
    • /
    • 1998
  • The Pohang Light Source (PLS) is a third generation 2 GeV synchrotron machine. An injection kicker modulator is positioned in the PLS storage ring tunnel. The kicker modulator is driving four kicker magnets simultaneously. The kicker magnets produce magnetic field to deflect the stored beam orbit in the storage ring closer to the injected beam from the PLS beam transfer line. The injected beam then falls into the storage ring beam dynamic aperture. The current kicker modulator was upgraded and installed on August 1995. Since then, the kicker modulator has shown very reliable and stable performance. The kicker modulator specifications are ${\sim}6.0{\mu}s$ full width, ${\sim}24$ kA peak current, and 10 Hz repetition rate. Output current waveform is a half sinusoid. Two thyratron switches(EEV CX-1536AX) are used in the kicker modulator. Total accumulated thyratron heater run hour is about 15,000 hours as of May 1998. Measurement result of spatial magnetic field distribution in the kicker magnet shows good uniformity.

  • PDF

고(高) Energy밀도용접(密度熔接)에 의(依)한 용접(熔接)이음에 있어서의 잔류응력(殘留應力)과 피로특성(疲勞特性)에 관(關)한 연구(硏究) -HT80강(鋼)의 전자(電子) Beam 용접(熔接)이음 피로강도(疲勞强度)- (Study on the Residual Stress and Fatigue Strength of Welded Joint by High Energy Density Welding -Fatigue Scrength of Welded Joint of HT80 Steel by Electron Beam Welding-)

  • 박종은
    • 대한조선학회지
    • /
    • 제20권2호
    • /
    • pp.51-59
    • /
    • 1983
  • The versatile practical use of electron beam welding which is very high energy density is still in early stage, but in the special welding field, the welding process is used in manufactured goods. The investigation for electron beam welding up to the present was almost achieved not for the mechanical properties of welded joint but for the process itself. On this investigation, the fatigue strength, crack propergation phenomena and hardness of weld metal and heat affected zone of partially penetrated welded joint of HT80 steel by electron beam welding was accomplished. The tensile fatigue strength in weld line direction of the joint was about $25kg/mm^2$. There still appeared spikes on the tips of penetration, and the crack initiated at the tips of spikes not from the roots. The hardness of the weld metal was higher than it of base metal because of production of martensite by rapid cooling.

  • PDF

간이 수치해석에 의한 열탄소성보의 잔류변형 및 응력분포의 예측 (Prediction of Residual Deformation and Stress Distribution for a Thermo-Elastic-Plastic Beam Using a Simplified Numerical Analysis)

  • 전석희;최경식
    • 대한조선학회논문집
    • /
    • 제33권3호
    • /
    • pp.22-34
    • /
    • 1996
  • 본 논문에서는 선상가열에 의한 평판의 굽힘변형과 관련하여 열탄소성보의 잔류변형과 잔류음력의 분포를 예측하기 위한 간이 수치해석을 시도하였다. 3차원 평판의 거동을 2차원 보의 변형으로 단순화시키기 위하여 수정된 스트립 모델을 사용하고 여기에 유한요소법을 사용하여 시간의 변화에 따른 열탄소성보의 거동을 간편하게 계산할 수 있는 PC용 전산프로그램을 개발하였다. 본 해석에서는 온도장을 구하는 과정은 생략하였고 이미 주어진 온도분포를 사용하여 열변형이 발생하는 문제만을 다루고 있으며 온도에 따른 재료특성치의 변화도 고려하였다. 본 프로그램의 검증을 위하여 계산결과는 기발표된 실험결과나 유사한 방법의 수치해석 결과와 비교하였다.

  • PDF

Solution method for the classical beam theory using differential quadrature

  • Rajasekaran, S.;Gimena, L.;Gonzaga, P.;Gimena, F.N.
    • Structural Engineering and Mechanics
    • /
    • 제33권6호
    • /
    • pp.675-696
    • /
    • 2009
  • In this paper, a unified solution method is presented for the classical beam theory. In Strength of Materials approach, the geometry, material properties and load system are known and related with the unknowns of forces, moments, slopes and deformations by applying a classical differential analysis in addition to equilibrium, constitutive, and kinematic laws. All these relations are expressed in a unified formulation for the classical beam theory. In the special case of simple beams, a system of four linear ordinary differential equations of first order represents the general mechanical behaviour of a straight beam. These equations are solved using the numerical differential quadrature method (DQM). The application of DQM has the advantages of mathematical consistency and conceptual simplicity. The numerical procedure is simple and gives clear understanding. This systematic way of obtaining influence line, bending moment, shear force diagrams and deformed shape for the beams with geometric and load discontinuities has been discussed in this paper. Buckling loads and natural frequencies of any beam prismatic or non-prismatic with any type of support conditions can be evaluated with ease.

Double Negative, Positive 전승 선로를 이용한 대칭적적인 주파수 스캐닝 누설파 안테나 (Symmetrical Scanning Leaky Wave Antenaa Using Double Negative and Double Positive Transmission Line)

  • 이재곤;이정해
    • 한국전자파학회논문지
    • /
    • 제15권11호
    • /
    • pp.1069-1074
    • /
    • 2004
  • 본 논문에서는 직렬 inter-digital 커패시터와 이중 병렬 인덕티브 쇼트 스텁으로 구성된 double negative(DNG) 전송 선로를 설계하였다. 이러한 DNG 전송 선로는 특정한 주파수 이상에서는 double positive(DPS) 전송 선로의 특성을 가진다. 다시 말해서, 설계된 전송 선로는 DNG와DPS전송 선로의 특성을 주파수에 따라서 동시에 가진다. 누설파 대역에서의 DPS/DNG 전송 선로는 주파수 스캐닝 안테나로 이용되어 질 수 있다. 대칭 누설파 안테나의 분산 특성과 원거리 방사 패턴을 모의실험하였고 제작 및 측정하였다. 모의실험 결과는 측정결과와 대략 일치하였다.

연결된 결합 선로를 갖는 소형 브랜치 선로 결합기 (Miniaturization of Branch Line Coupler with Connected Coupled Lines)

  • 이승엽
    • 한국전자파학회논문지
    • /
    • 제22권6호
    • /
    • pp.598-604
    • /
    • 2011
  • 본 논문은 연결된 결합 선로를 이용하여 브랜치 선로 결합기를 소형화하는 방법을 제시하였다. 이 방법은 기존 마이크로스트립 브랜치 선로 결합기에 사용되는 ${\lambda}/4$ 선로를 같은 특성을 갖는 연결된 결합 선로로 대신한 방법이다. 연결된 결합 선로는 우-기 모드 해석 방법을 기반으로 Z 파라미터와 T 등가 회로로 분석하였다. 이 결과를 이용하여 연결된 결합 선로를 갖는 브랜치 선로 결합기를 중심 주파수 2.4 GHz에서 FR4 기판으로 설계하고 제작하였다. 실험 결과는 이론값과 잘 일치했다. 그리고 실험 결과, 기존 단일 마이크로스트립 선로로 구현된 결합기보다 37 % 크기가 줄어들었음을 확인할 수 있었다. 이 방법은 앞으로 이동 통신 빔 형성 안테나의 급전선인 Butler Matrix의 크기를 줄이는 방법으로 사용 가능하리라 사료된다.