NO와 $NH_3$ rapid thermal nitridation 공정에 따른 SiON 막질 분석
-
- 한국진공학회:학술대회논문집
- /
- 한국진공학회 2007년도 제33회 하계학술대회 초록집
- /
- pp.259-259
- /
- 2007