Development of a Novel Fabrication Process for Multi-layered Microstructures using a Micro Milling and Deep X-ray Lithography (마이크로 밀링과 X-선 리소그래피 공정을 이용한 다층 마이크로 구조물 제작 공정 개발)
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- Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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- v.31 no.3
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- pp.269-275
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- 2014