펄스 레이저 증착법에 의해 제작된 Laser pulse repetition rate의 변화에 따른 $Pb(Zr_{0.48}Ti_{0.52})O_3$ (PZT) 박막의 전기적 특성
(Effect of Laser Pulse Repetition Rate on the Electrical Properties of $Pb(Zr_{0.48}Ti_{0.52})O_3$ (PZT) Thin Films grown by Pulsed Laser Deposition)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2005년도 추계학술대회 논문집 Vol.18
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- pp.11-12
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- 2005