• 제목/요약/키워드: Laser Vision

검색결과 334건 처리시간 0.022초

Hot Plate 신뢰성 시험.평가시스템 개발 (Reliability Evaluation System of Hot Plate for Photoresist Baking)

  • 송준엽;송창규;노승국;박화영
    • 한국정밀공학회지
    • /
    • 제19권8호
    • /
    • pp.180-186
    • /
    • 2002
  • Hot Plate is the major unit that it used to remove damp of wafer surface, to strength adhesion of photoresist (PR) and to bake coated PR in FAB process of semiconductor. The badness of Hot Plate (HP) has directly influence upon the performance of wafer, it is necessary to guarantee the performance of HP. In this study, a reliability evaluation system has been designed and developed, which is to measure and to estimate thermal uniformity and flatness of HP in range of temperature 0~$250^\circC$. This system has included the techniques which measures and analyzes thermal uniformity using infrared thermal vision, and which compensates measuring error of flatness using laser displacement sensor For measuring flatness, a measurement stage of 3 axes are developed which adapts the precision encoder. The allowable error of this system in respect of thermal uniformity is less $than\pm0.1^\circC$ and in respect of flatness is less $than\pm$1mm . It is expected that the developed system can measure from $\Phi200mm\;(wafer 8")\;to\;\Phi300mm$ (wafer 12") and also can be used in performance test of the Cool Plate and industrial heater, etc.

확장 환경에서의 위치 및 방향 정보 계산을 위한 실시간 3차원 위치 계산 (Real-time 3D Calibration for Pose Computation in Extended Environments)

  • 박준;장준호;권장우
    • 한국멀티미디어학회논문지
    • /
    • 제6권3호
    • /
    • pp.455-461
    • /
    • 2003
  • 비전을 이용한 사용자의 위치 및 방향 측정 시스템은 대부분 마커를 부착하고 그 마커들의 위치를 측정한 후, 이 마커들의 3차원 위치 정보와 이미지 상에서의 2차원 위치를 기초로 카메라(또는 사용자)의 위치 및 방향을 계산한다. 여기서 사용되는 마커들은 대부분 알고리즘 상으로 컴퓨터가 찾기 쉽도록 고안하는 경우가 많다. 그러나 환경이 확장되는 경우에 있어서는 그에 상응하는 마커를 부착하는 것이 실제적으로 어려운 경우가 많다. 이와 같은 경우에, 효과적으로 검색이 가능하다면, 마커가 아닌 환경에 이미 존재하는 물체를 이용할 수 있다. 이러한 물체들을 위치 및 방향 계산에 사용하기 위해서는 이 물체들의 3차원 위치를 미리 계산해야 한다. 본 논문에서는 확장 환경에서 카메라(또는 사용자)의 위치 및 방향의 계산이나 수정에 사용되는 물체들의 3차원 위치를 계산하는 방법을 제안하고 설명한다.

  • PDF

룩업 테이블을 이용한 물체의 3-D 형상복원 (Real 3-D Shape Restoration using Lookup Table)

  • 김국세;이정기;송기범;김충원;이준
    • 한국정보통신학회논문지
    • /
    • 제8권5호
    • /
    • pp.1096-1101
    • /
    • 2004
  • 산업현장에서의 3-D 이미지의 활용은 영화, 애니메이션, 산업 디자인, 의학, 그리고 교육과 공학분야에서 많은 영향을 미치고 있다. 90년대부터 두 개의 영상을 이용하여 영상으로부터 깊이 정보를 추출하기 위한 활발한 연구가 진행되기 시작하면서 3-D 정보 획득에 관한 연구가 진행되었다. 3-D 정보를 획득하는 방법으로, Structured Light 기법은 제어할 수 있는 점, 선, 격자, 원모양의 광원을 대상물체에 투사하며, 대상물체에 형성된 실루엣을 시각센서로 3-D 정보를 추출하는 방식이다. 또 다른 Time of flight 방식은 초음파를 이용한 방법과 레이저를 이용한 방법이 있으며, 그 외에도 쌍안비젼, Shape from Shading, Surface from Texture 그리고 Focusing 등의 원리를 이용한 기법이 있다. 이런 방범들은 여러 어려운 점들이 있어 이를 감안하여 손쉽게 3-D 영상 이미지를 얻는 방법으로 3-D 정보를 얻기 위해 본 논문에서는 삼각측량 시스템을 만들어 룩업 테이블을 만든다. 3-D 정보를 가지고 있는 룩업 테이블을 통해 시스템 위에 있는 물체의 이미지 좌표와 대칭을 통해 3-D 정보를 획득하여 영상 이미지를 복원하는 방법을 고찰 연구하였다.

인공지능형 삼차원 Foot Scanning 시스템에 관한 연구 (A Study on the Intelligent 3D Foot Scanning System)

  • 김영탁;박주원;탁한호;이상배
    • 한국지능시스템학회논문지
    • /
    • 제14권7호
    • /
    • pp.871-877
    • /
    • 2004
  • 본 논문은 맞춤형 신발제작을 위하여 신발에 필요한 화형제작용 데이터를 3차원 측정 장치를 통해 획득한 발의 형상을 인공지능 기법을 기반으로 하는 최적화된 형상을 복원하는 방법을 제시하고자 한다. 본 연구를 위해 개발된 시스템은 PC를 기반으로 하는 기존의 3차원측정 방식을 이용하여 상, 하, 좌, 우로 각각 장착된8대의 CCD 카메라와 4대의 laser를 통해 화형 및 발의 형상 데이터를 획득한다. 획득된 데이터들은 인공지능 기법을 이용한 영상처리 알고리즘으로 처리되며, 처리 결과는 기존의 지능 기법을 도입하지 않은 시스템에 비해 노이즈제거 특성이 향상되었고, 후처리과정을 간소화 할 수 있다. 따라서 본 논문에서는 3차원 측정을 위해 하드웨어적인 부분과 이를 제어하기 위한 소프트웨어 및 GUI로 전체 시스템을 구성하고, 본 논문에서는 데이터 처리용 소프트웨어에서 입력영상의 전처리 과정 중 영상의 이진화 단계에서 임계값을 결정하기 위하여 신경망을 사용하였으며, 이에 대한 결과를 제시하고자 한다.

접촉식 센서 데이터를 이용한 지질 특성 추출 및 지질 분류 (Terrain Feature Extraction and Classification using Contact Sensor Data)

  • 박병곤;김자영;이지홍
    • 로봇학회논문지
    • /
    • 제7권3호
    • /
    • pp.171-181
    • /
    • 2012
  • Outdoor mobile robots are faced with various terrain types having different characteristics. To run safely and carry out the mission, mobile robot should recognize terrain types, physical and geometric characteristics and so on. It is essential to control appropriate motion for each terrain characteristics. One way to determine the terrain types is to use non-contact sensor data such as vision and laser sensor. Another way is to use contact sensor data such as slope of body, vibration and current of motor that are reaction data from the ground to the tire. In this paper, we presented experimental results on terrain classification using contact sensor data. We made a mobile robot for collecting contact sensor data and collected data from four terrains we chose for experimental terrains. Through analysis of the collecting data, we suggested a new method of terrain feature extraction considering physical characteristics and confirmed that the proposed method can classify the four terrains that we chose for experimental terrains. We can also be confirmed that terrain feature extraction method using Fast Fourier Transform (FFT) typically used in previous studies and the proposed method have similar classification performance through back propagation learning algorithm. However, both methods differ in the amount of data including terrain feature information. So we defined an index determined by the amount of terrain feature information and classification error rate. And the index can evaluate classification efficiency. We compared the results of each method through the index. The comparison showed that our method is more efficient than the existing method.

영상정보만을 이용한 사람과 로봇간 실시간 상대위치 추정 알고리즘 (Real-Time Algorithm for Relative Position Estimation Between Person and Robot Using a Monocular Camera)

  • 이정욱;선주영;원문철
    • 대한기계학회논문집A
    • /
    • 제37권12호
    • /
    • pp.1445-1452
    • /
    • 2013
  • 본 논문에서는 단안 카메라를 이용하여 사람과 로봇(카메라)간의 상대위치를 실시간으로 추정하는 알고리즘을 제안한다. HOG(기울기 히스토그램) 특징벡터와 SVM(서포트 벡터 머신) 분류기를 이용하여 사람의 두부 및 어깨영역을 검출한다. 검출된 영역의 크기와 위치를 이용하여 사람과 로봇(카메라)간의 상대 위치 및 각도를 계산한다. 또한 알고리즘 수행속도를 향상시키기 위하여 본 논문에서는 NVIDIA의 GPU와 CUDA 라이브러리를 사용하였다. 그 결과 알고리즘 수행속도는 초당 15 프레임의 영상데이터를 처리할 수 있다. 알고리즘의 정확도 비교를 위해서 SICK 레이저 스캐너 출력과 비교하였다.

Effect of Solcoseryl in Corneal Alkali Burn Rat Model

  • Kim, Hoon;Kim, Hong-Bee;Seo, Jae-Hwi;Lee, Dong Cho;Cho, Kyong Jin
    • Medical Lasers
    • /
    • 제10권1호
    • /
    • pp.22-30
    • /
    • 2021
  • Background and Objectives Ocular alkali burns cause severe damage to the ocular tissues and vision loss. Solcoseryl is a standardized calf blood extract that normalizes the metabolic disturbance and aids in maintaining the chemical and hormonal balance and has been used to treat burns in various tissues. This study examined the effects of Solcoseryl on a rat corneal alkali burn model. Materials and Methods Twenty rats were assigned randomly to four equal groups, including alkali burn, hyaluronic acid, Solcoseryl eyedrop, and Solcoseryl gel. A corneal alkali burn was induced by a NaOH-soaked paper disc. The treatments were given twice a day, every day. The wound area was measured after 24 and 48 hours, and the degree of neovascularization and corneal opacity were scored every week. The rats were sacrificed after three weeks for immunohistochemistry (IHC) to compare the level of inflammatory cytokines, IL-1β, IL-6, and TNF-α. The thickness of the retinal layers was compared to observe any changes in the retina. Results The use of Solcoseryl on corneal alkali burn accelerated wound healing with less neovascularization, greater opacity, and less cataract. IHC showed that the inflammation of the cornea was controlled by both the hyaluronic acid and Solcoseryl treatments. On the other hand, the inflammation had spread to the retina. When the dosage forms were compared, eyedrops were more effective on corneal inflammation, while the gel-type had a greater effect on retinal inflammation. Conclusion Solcoseryl was effective in accelerating the wound healing rate on a corneal alkali burn but could not prevent the spread of inflammation from the cornea to the retina. Eyedrops were more effective on inflammation in the cornea, and the gel was more effective in the retina.

지능형 굴삭 로봇의 개발을 위한 로컬영역 3차원 모델링 센서 선정 및 현장 적용성 분석에 관한 연구 (A Study on the Selection and Applicability Analysis of 3D Terrain Modeling Sensor for Intelligent Excavation Robot)

  • 유현석;권순욱;김영석
    • 대한토목학회논문집
    • /
    • 제33권6호
    • /
    • pp.2551-2562
    • /
    • 2013
  • 2006년부터 국내에서는 운전자의 개입 없이 완전 자동화 방식으로 동작하는 지능형 굴삭 로봇을 개발하고 있다. 이러한 굴삭 로봇을 개발함에 있어 주변(로컬영역) 작업환경의 지형이나 이동 경로상의 장애물, 굴삭기에 접근하는 상차트럭 등의 객체를 정확하게 탐지하는 기술은 작업품질과 안전성 확보 측면에서 필수적으로 요구되는 핵심기술이다. 선진 외국에서는 토공 자동화 장비의 로컬영역 3차원 모델링을 위하여 광대역 3D 레이저 스캐너나 스테레오 비전 카메라와 같은 센서를 사용하여 주변 지형을 3차원으로 모델링하는 연구를 수행하였으나, 센싱 시스템 구축에 지나치게 높은 비용이 소요되거나 모델링 결과에 노이즈가 다수 발생하여 모델링 속도가 과다하게 소요되는 문제점이 있었다. 이 연구에서는 지능형 굴삭 로봇의 로컬영역 3차원 모델링을 위하여 현재까지 개발된 3차원 작업환경 모델링 센서의 기술 사양과 장단점을 분석하고, AHP 분석을 통하여 센서별 적용가능성을 분석한다. 또한 실제 토공사 작업현장의 현장실험을 통해 해당 센서의 3차원 모델링 품질과 정확성을 분석하고 지능형 굴삭 로봇의 로컬영역 3차원 모델링에 가장 적합한 센서 선정 및 현장 적용성을 검증하고자 한다.

자율 주행 UGV를 위한 정지선과 횡단보도 인식 알고리즘 설계 및 구현 (Design and Implementation of the Stop line and Crosswalk Recognition Algorithm for Autonomous UGV)

  • 이재환;윤희병
    • 한국지능시스템학회논문지
    • /
    • 제24권3호
    • /
    • pp.271-278
    • /
    • 2014
  • 정지선과 횡단보도는 자율 주행에서 가장 기본적으로 인식해야 하는 인식대상임에도 불구하고 추출할 수 있는 특징이 매우 제한적이고 영상기반의 인식기술을 제외한 레이저나 RF, GPS/INS 인식기술로는 인식이 어려운 분야다. 이러한 이유로 이 분야에 대한 연구는 매우 제한적으로 수행되어왔다. 본 논문에서는 비전센서를 통해 입력된 정지선과 횡단보도 영상을 영상기반으로 인식할 수 있는 알고리즘을 설계하고 구현한다. 제안한 알고리즘은 3개 부분으로 구성된다. 즉 특징추출에 필요한 영역을 사전에 선정하여 처리속도를 향상시키는 관심영역 설정 부분, 일정비율 이상의 백색이 검출된 영상만 인식되도록 하여 불필요한 연산을 제거하는 색상패턴 검사 부분, 에지특징을 추출하고 추출된 에지특징을 사전에 모델링한 특징모델과 비교하여 정지선과 횡단보도 여부를 식별하는 특징 추출과 인식 부분이다. 특징추출과 인식 부분에는 유형별 특징비교 알고리즘을 적용하여 정지선과 횡단보도가 병행하여 존재하거나 각각 존재하는 경우에 대해 모두 식별되도록 한다. 또한 제안한 알고리즘은 기존연구를 발전시키기 위해 카메라의 차량내부 설치의 효과, 역광 및 그림자와 같은 다양한 제약조건에 대한 인식률 변화와 거리에 따른 적정 인식률 평가를 비교 분석하였다.

Study on a Suspension of a Planetary Exploration Rover to Improve Driving Performance During Overcoming Obstacles

  • Eom, We-Sub;Kim, Youn-Kyu;Lee, Joo-Hee;Choi, Gi-Hyuk;Sim, Eun-Sup
    • Journal of Astronomy and Space Sciences
    • /
    • 제29권4호
    • /
    • pp.381-387
    • /
    • 2012
  • The planetary exploration rover executes various missions after moving to the target point in an unknown environment in the shortest distance. Such missions include the researches for geological and climatic conditions as well as the existence of water or living creatures. If there is any obstacle on the way, it is detected by such sensors as ultrasonic sensor, infrared light sensor, stereo vision, and laser ranger finder. After the obtained data is transferred to the main controller of the rover, decisions can be made to either overcome or avoid the obstacle on the way based on the operating algorithm of the rover. All the planetary exploration rovers which have been developed until now receive the information of the height or width of the obstacle from such sensors before analyzing it in order to find out whether it is possible to overcome the obstacle or not. If it is decided to be better to overcome the obstacle in terms of the operating safety and the electric consumption of the rover, it is generally made to overcome it. Therefore, for the purpose of carrying out the planetary exploration task, it is necessary to design the proper suspension system of the rover which enables it to safely overcome any obstacle on the way on the surface in any unknown environment. This study focuses on the design of the new double 4-bar linkage type of suspension system applied to the Korea Aerospace Research Institute rover (a tentatively name) that is currently in the process of development by our institute in order to develop the planetary exploration rover which absolutely requires the capacity of overcoming any obstacle. Throughout this study, the negative moment which harms the capacity of the rover for overcoming an obstacle was induced through the dynamical modeling process for the rocker-bogie applied to the Mars exploration rover of the US and the improved version of rocker-bogie as well as the suggested double 4-bar linkage type of suspension system. Also, based on the height of the obstacle, a simulation was carried out for the negative moment of the suspension system before the excellence of the suspension system suggested through the comparison of responding characteristics was proved.